JPS63211518A - 超電導導体 - Google Patents
超電導導体Info
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- JPS63211518A JPS63211518A JP62044266A JP4426687A JPS63211518A JP S63211518 A JPS63211518 A JP S63211518A JP 62044266 A JP62044266 A JP 62044266A JP 4426687 A JP4426687 A JP 4426687A JP S63211518 A JPS63211518 A JP S63211518A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明は、たとえば超電導マグネット等に用いられる
超電導導体に関するものである。
超電導導体に関するものである。
なお、この明細書において「超電導導体」というときは
、超電導性を示す超電導物質とこのような超電導物質の
超電導状態を安定にするための安定化材との複合した構
造を指すものとする。
、超電導性を示す超電導物質とこのような超電導物質の
超電導状態を安定にするための安定化材との複合した構
造を指すものとする。
［従来の技術］
従来、超電導物質として、金属系、セラミック系、有機
物系のものがあるが、このうち、セラミック系のもので
、層状ペロブスカイト型（Ｋ２ＮｉＦ４型）の結晶構造
をもつ超電導物質が、より高い臨界温度をもつことが判
明してきた。たとえば、［ＬａＳ ｒｌ ２ Ｃｕｂ、
または［ＬａＢａ１２ＣｕＯ，のような酸化物セラミッ
ク系超電導物質では、３０に以上の臨界温度を示してい
る。
物系のものがあるが、このうち、セラミック系のもので
、層状ペロブスカイト型（Ｋ２ＮｉＦ４型）の結晶構造
をもつ超電導物質が、より高い臨界温度をもつことが判
明してきた。たとえば、［ＬａＳ ｒｌ ２ Ｃｕｂ、
または［ＬａＢａ１２ＣｕＯ，のような酸化物セラミッ
ク系超電導物質では、３０に以上の臨界温度を示してい
る。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、上述したようなセラミック系の超電導物
質は、たとえば金属系の超電導物質に比べると、機械的
に脆く、金属のような加工を行なうことができないとい
う難点がある。
質は、たとえば金属系の超電導物質に比べると、機械的
に脆く、金属のような加工を行なうことができないとい
う難点がある。
そこで、この発明は、臨界温度を高くできるという、層
状ペロブスカイト型の結晶構造を持つ超電導物質の優れ
た性質を生かしつつ、安定化材をも含めた超電導導体と
しての加工性を向上させ、安定度の高い超電導導体を提
供しようとするものである。
状ペロブスカイト型の結晶構造を持つ超電導物質の優れ
た性質を生かしつつ、安定化材をも含めた超電導導体と
しての加工性を向上させ、安定度の高い超電導導体を提
供しようとするものである。
［問題点を解決するための手段］
この発明は、上述した技術的課題を解決するため、層状
ペロブスカイト型の結晶構造をもつ超電導物質と安定化
材とを、交互に積層してなる多層構造を少なくとも一部
に備えるともに、安定化材が金属の気相法によって形成
されたものとすることが特徴である。
ペロブスカイト型の結晶構造をもつ超電導物質と安定化
材とを、交互に積層してなる多層構造を少なくとも一部
に備えるともに、安定化材が金属の気相法によって形成
されたものとすることが特徴である。
なお、好ましい実施例では、超電導物質は、スパッタリ
ングやＣＶＤのような気相法により形成されたり、金属
アルコキシドの脱水縮合反応により形成されたりするこ
とができる。
ングやＣＶＤのような気相法により形成されたり、金属
アルコキシドの脱水縮合反応により形成されたりするこ
とができる。
また、超電導物質としては、上述したような（Ｌａｘ−
、Ｓ ｒ、） ２Ｃｕｂ４または（Ｌ ａ Ｘ−。
、Ｓ ｒ、） ２Ｃｕｂ４または（Ｌ ａ Ｘ−。
Ｂａｙ）２Ｃｕ０４で表わされるような組成をもつもの
も含めて、一般式（ＡＸ 、 ＢＸ ） ２ ＣＤ４゜
［Ｑ＜ｘ＜１、Ｏ≦ｙく４］で表わされる組成を有する
ものが用いられ得る。ここで、Ａはランタン系列の元素
の少なくとも一種、ＢはＩａ、ｎａ。
も含めて、一般式（ＡＸ 、 ＢＸ ） ２ ＣＤ４゜
［Ｑ＜ｘ＜１、Ｏ≦ｙく４］で表わされる組成を有する
ものが用いられ得る。ここで、Ａはランタン系列の元素
の少なくとも一種、ＢはＩａ、ｎａ。
およびＩＩＩａ族元素の少なくとも一種、ＣはＩｂ。
ＩＩｂおよびＩＩＩｂ族元素ならびに遷移元素の少なく
とも一種、およびＤは酸素、硼素、炭素、窒素、フッ素
およびイオウからなるグループから選ばれた少なくとも
一種である。
とも一種、およびＤは酸素、硼素、炭素、窒素、フッ素
およびイオウからなるグループから選ばれた少なくとも
一種である。
［発明の作用および効果コ
この発明によれば、安定化材となる金属の層を、たとえ
ばスパッタリングやプラズマＣＶＤ等の気相法によって
形成するため、機械的に脆い層状ペロブスカイト型の結
晶構造をもつ超電導物質に、加工歪等を加えることなく
安定化材を付加することができ、また、安定化材が超電
導物質の機械的強度を補うことになる。したがって、安
定度の高い超電導導体が得られる。
ばスパッタリングやプラズマＣＶＤ等の気相法によって
形成するため、機械的に脆い層状ペロブスカイト型の結
晶構造をもつ超電導物質に、加工歪等を加えることなく
安定化材を付加することができ、また、安定化材が超電
導物質の機械的強度を補うことになる。したがって、安
定度の高い超電導導体が得られる。
［実施例］
第１図は、この発明の第１実施例の超電導導体の拡大断
面図である。
面図である。
まず、第１図に示した積層構造の厚み方向の中心部をな
すものとして、純度の高いたとえば銅からなるテープ１
が用意される。テープ１は、板に置き換えられてもよい
。テープ１は安定化材として機能するもので、その両面
にスパッタングにより、Ｌ ａ＋、６ Ｓ ｒｏ、１４
Ｃｕ ０４の超電導物質層２，２が厚さ０．０１ｍｍ
をもって形成され、さらに、これら超電導物質層２，２
の外面に、スパッタリングにより、たとえば銅からなる
安定化材層３゜３が厚さ０．０２ｍｍをもって形成され
る。
すものとして、純度の高いたとえば銅からなるテープ１
が用意される。テープ１は、板に置き換えられてもよい
。テープ１は安定化材として機能するもので、その両面
にスパッタングにより、Ｌ ａ＋、６ Ｓ ｒｏ、１４
Ｃｕ ０４の超電導物質層２，２が厚さ０．０１ｍｍ
をもって形成され、さらに、これら超電導物質層２，２
の外面に、スパッタリングにより、たとえば銅からなる
安定化材層３゜３が厚さ０．０２ｍｍをもって形成され
る。
第２図は、この発明の第２実施例の超電導導体を示す拡
大断面図である。
大断面図である。
第２図では、中心には安定化材として働くたとえば９９
．９９９９％以上の純度のアルミララムからなる線４が
配置される。線４の外周には、金属アルコキシドを脱水
縮合させる方法（ゾルゲル法）を用いて、厚さ０．０１
ｍｍのＬａ１６ ＢａＯ，ｐＣｕｂ４の超電導物質層５
が形成される。超電導物質層５に対して、好ましくは、
たとえば電子線描画装置を用いたビームエツチング等を
適用して、螺旋状に延びる溝切り加工を施し、磁気安定
性を向上させるための細分割が行なわれる。さらに、こ
の超電導物質層５の外周には、前述した純度と同じ純度
をもつアルミニウムをもって、厚さ０゜０２ｍｍの安定
化材層６が形成される。以下、同様の方法を二度繰返し
、超電導物質層７、安定化材層８、超電導物質層９およ
び安定化材層１０を順次形成した。
．９９９９％以上の純度のアルミララムからなる線４が
配置される。線４の外周には、金属アルコキシドを脱水
縮合させる方法（ゾルゲル法）を用いて、厚さ０．０１
ｍｍのＬａ１６ ＢａＯ，ｐＣｕｂ４の超電導物質層５
が形成される。超電導物質層５に対して、好ましくは、
たとえば電子線描画装置を用いたビームエツチング等を
適用して、螺旋状に延びる溝切り加工を施し、磁気安定
性を向上させるための細分割が行なわれる。さらに、こ
の超電導物質層５の外周には、前述した純度と同じ純度
をもつアルミニウムをもって、厚さ０゜０２ｍｍの安定
化材層６が形成される。以下、同様の方法を二度繰返し
、超電導物質層７、安定化材層８、超電導物質層９およ
び安定化材層１０を順次形成した。
上述のように第１および第２実施例で得られた超電導導
体は、いずれも、約３６にで、安定した超電導特性を示
した。
体は、いずれも、約３６にで、安定した超電導特性を示
した。
なお、上述した図示の実施例かられかるように、この発
明の特徴となる、超電導物質と安定化材とを交互に積層
してなる多層構造は、たとえば第１図のテープ１および
第２図の線４に見られるように、気相法やゾルゲル法に
よらない形成方法によって得られたものを含んでいても
よい。図示の実施例では、多層構造の中での１つの安定
化材からなる層１または４が、気相法やゾルゲル法を用
いずに形成されたものであったが、このことは、超電導
物質からなる層についても言えることで、超電導物質か
らなる層の１つは、気相法やゾルゲル法によらない加工
法によって得られたものであってもよい。
明の特徴となる、超電導物質と安定化材とを交互に積層
してなる多層構造は、たとえば第１図のテープ１および
第２図の線４に見られるように、気相法やゾルゲル法に
よらない形成方法によって得られたものを含んでいても
よい。図示の実施例では、多層構造の中での１つの安定
化材からなる層１または４が、気相法やゾルゲル法を用
いずに形成されたものであったが、このことは、超電導
物質からなる層についても言えることで、超電導物質か
らなる層の１つは、気相法やゾルゲル法によらない加工
法によって得られたものであってもよい。
また、超電導物質層における超電導状態のより一層の安
定化を図るため、第２図の場合と同様第１図に示した超
電導物質層２に対しても、たとえば電子線描画装置を用
いたビームエツチングを適用して、溝切り加工を施し、
各超電導物質層を形成する超電導物質をフィラメント状
に細く延びるようにしてもよい。
定化を図るため、第２図の場合と同様第１図に示した超
電導物質層２に対しても、たとえば電子線描画装置を用
いたビームエツチングを適用して、溝切り加工を施し、
各超電導物質層を形成する超電導物質をフィラメント状
に細く延びるようにしてもよい。
第１図はおよび第２図は、それぞれ、この発明の第１お
よび第２実施例の超電導導体を示す拡大断面図である。 図において、１は銅からなるテープ、２，５゜７．９は
超電導物質層、３，６．Ｌ １０は安定化材層、４は
アルミニウムからなる線である。
よび第２実施例の超電導導体を示す拡大断面図である。 図において、１は銅からなるテープ、２，５゜７．９は
超電導物質層、３，６．Ｌ １０は安定化材層、４は
アルミニウムからなる線である。
Claims (6)
- （１）層状ペロブスカイト型の結晶構造を持つ超電導物
質と安定化材とを、交互に積層してなる多層構造を少な
くとも一部に備え、前記安定化材が金属の気相法によっ
て形成されたものであることを特徴とする、超電導導体
。 - （２）前記超電導物質は、気相法により形成されたもの
である、特許請求の範囲第１項記載の超電導導体。 - （３）前記超電導物質は、金属アルコキシドの脱水縮合
反応により形成されたものである、特許請求の範囲第１
項記載の超電導導体。 - （４）前記超電導物質は、一般式（Ａ＿１＿−＿ｘＢ＿
ｘ）＿２ＣＤ＿４＿−＿ｙ［０＜ｘ＜１、０≦ｙ＜４］
で表わされる組成を有するものであり、ここに、Ａはラ
ンタン系列の元素の少なくとも一種、ＢはＩａ、IIａお
よびIIIａ族元素の少なくとも一種、ＣはＩｂ、IIｂお
よびIIIｂ族元素ならびに遷移元素の少なくとも一種、
およびＤは酸素、硼素、炭素、窒素、フッ素およびイオ
ウからなるグループから選ばれた少なくとも一種である
、特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載
の超電導導体。 - （５）前記Ａはランタン、前記Ｂはバリウムおよび／ま
たはストロンチウム、前記Ｃは銅、前記Ｄは酸素である
、特許請求の範囲第４項記載の超電導導体。 - （６）前記安定化材は銅からなる、特許請求の範囲第１
項ないし第５項のいずれかに記載の超電導導体。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62044266A JP2567386B2 (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | 超電導導体 |
| US07/160,115 US5151406A (en) | 1987-02-26 | 1988-02-25 | Laminated superconductor |
| EP19880102899 EP0280322A3 (en) | 1987-02-26 | 1988-02-26 | Laminated ceramic superconductor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62044266A JP2567386B2 (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | 超電導導体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63211518A true JPS63211518A (ja) | 1988-09-02 |
| JP2567386B2 JP2567386B2 (ja) | 1996-12-25 |
Family
ID=12686708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62044266A Expired - Lifetime JP2567386B2 (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | 超電導導体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2567386B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63237313A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-10-03 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | 超伝導構造体およびその製造方法 |
| JPS643908A (en) * | 1987-06-26 | 1989-01-09 | Hitachi Ltd | Composite conductor |
| JPS6454612A (en) * | 1987-08-24 | 1989-03-02 | Sumitomo Electric Industries | Superconductive structure |
| JPH04130015A (ja) * | 1989-01-13 | 1992-05-01 | Hitachi Ltd | ハロゲンを含む銅酸化物超伝導体 |
| JPH04298913A (ja) * | 1991-04-01 | 1992-10-22 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 超電導線 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61267207A (ja) * | 1985-05-21 | 1986-11-26 | 株式会社東芝 | 化合物超電導線 |
-
1987
- 1987-02-26 JP JP62044266A patent/JP2567386B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61267207A (ja) * | 1985-05-21 | 1986-11-26 | 株式会社東芝 | 化合物超電導線 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63237313A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-10-03 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | 超伝導構造体およびその製造方法 |
| JPS643908A (en) * | 1987-06-26 | 1989-01-09 | Hitachi Ltd | Composite conductor |
| JPS6454612A (en) * | 1987-08-24 | 1989-03-02 | Sumitomo Electric Industries | Superconductive structure |
| JPH04130015A (ja) * | 1989-01-13 | 1992-05-01 | Hitachi Ltd | ハロゲンを含む銅酸化物超伝導体 |
| JPH04298913A (ja) * | 1991-04-01 | 1992-10-22 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 超電導線 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2567386B2 (ja) | 1996-12-25 |
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