JPS63201968A - 浮上型磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、浮上型磁気ヘッドに関し、スライダの浮上面
を、揚力発生用テーパ面を持たない平面状とすることに
より、０．２μｍ以下の浮上量でも安定な浮上特性が得
られ、しかも、耐摩耗性、耐久性に優れた浮上型磁気ヘ
ッドが得られるようにしたものである。

従来の技術 浮上型磁気ヘッドは、磁気ディスクに対して相対的に移
動する時に空気の粘性によって発生する動圧を利用して
、磁気ディスク面との間に微小な浮上量を発生させるよ
うにしたもので、最新のものは、第７図に示すように、
セラミック構造体でなるスライダ１の端面に、薄膜ヘッ
ドでなる読み書き素子２を付着させた構造となっている
。

スライダ１は磁気ディスクとの対向面側に間隔をおいて
突設したレール部１０１．１０２の表面に、浮上面１０
３．１０４を形成すると共に、浮上面１０３．１０４の
先端部に、揚力発生部となるテーバ面１０３ａ、　１０
４ａを設けた、いわゆるテーパ、フラット型となってい
る。レール部１０１　、１０２は左右方向への振れを防
止して浮上安定性を確保するために間隔をおいて形成し
である。

読み書き素子２はＩＣ製造テクノロジと同様のプロセス
にしたがって形成された薄膜素子でなる。

磁気ディスク装置においては、浮上型磁気ヘッドは支持
バネ（ジンバル）の先端部に装着し、スライダ１の浮上
面１０３．１０４を磁気ディスクの面に対向させて配置
する。磁気ディスクが静止しているときは、支持バネの
バネ圧により浮上面１０３．１０４が磁気ディスクの面
に押付けられているが、磁気ディスクが回転すると、ス
ライダ１のテーバ面１０３ａ、　１０４ａを含む浮上面
ＬＧ３　、１０４に揚力動圧が発生し、この動圧と支持
バネのバネ圧と釣り合う浮上量で浮上する。

浮上磁気ディスクに発生する動圧は、スライダ１のレー
ル部１０１　、１０２の間隔、浮上面１０３．１０４の
寸法、テーバ面１０３ａ、　１０４ａのテーバ角度、面
積、更には磁気ディスクとの間の相対穆動スピード等に
よって定まり、浮上量は動圧と支持バネのバネ圧によっ
て定まる。そこで、従来は、スライダ１のレール部１０
１％１０２の間隔、浮上面１０３．１０４の面積、テー
バ面１０３ａ、　１０４ａのテーパ角度、面積及び支持
バネのバネ圧を適当に設計して、所定の浮上量を得るよ
うにしてあった。

発明が解決しようとする問題点 上述のテーバ、フラット型スライダを使用した浮上型磁
気ヘッドは、浮上量０．２５〜１μｍ程度の領域では、
安定な浮上特性が得られるため、現在広く実用化されて
いる。

ところが、磁気ディスク装置の高密度化等の要請から、
浮上量を０．２μｍ以下に低く抑えようとすると、動圧
と支持バネバネ圧との間の適正なバランスを保つことが
困難になり、フライト姿勢が崩れ、安定な浮上特性が得
られなくなるという問題点があフた。

また、スライダの浮上面幅を浮上量０．２μｍ以下に設
定しようとして、支持バネのバネ圧を強くすると、静止
状態でスライダの浮上面１０３．１０４が磁気ディスク
表面に強く押付けられるため、始動時の摩擦摩耗が大き
くなり、耐久性が低下するという問題点もあった。

スライダ１のレール部１０１　、１０２の間隔、浮上面
１０３．１０４の寸法、テーパ面１０３ａ％１０４ａの
テーパ角度、面積等を小さくして、動圧を低下させ、浮
上量を０．２μｍ以下に設定しようとした場合も、耐久
性が低下する。

問題点を解決するための手段 上述する従来の問題点を解決するため、本発明は、磁気
記録媒体と対向する面側に浮上面を有するスライダに、
読み書き素子を付着させた浮上型磁気ヘッドにおいて、
前記スライダの前記浮上面は、揚力発生用テーパ面を持
たない平面状としたことを特徴とする。

作用 スライダの浮上面を、揚力発生用テーパ面を持たない平
面状にすると、浮上量０．２μｍ以下の領域でも、動圧
と支持バネ圧との間のバランスを適当に保ち、フライト
姿勢の崩れをなくし、安定した浮上特性を確保すること
ができる。

また、揚力発生用テーパ面を持たない平面状の浮上面と
なっているので、揚力動圧が低くなり、それに伴って、
支持バネ圧も低くできるので、静止時における浮上面と
磁気ディスクとの間の押圧力が低下し、摩擦摩耗が少な
くなり、耐久性が向上する。

実施例 第１図は本発明に係る浮上型磁気ヘッドの斜視図、第２
図は同じく要部の拡大断面図である。図において、第７
図と同一の参照符号は同一性ある構成部分を示している
。スライダ１の浮上面１０３．１０４は、揚力発生用テ
ーパ面を持たない平面状となっている。浮上面１０３．
１０４の走行方向で見た端部（イ）、（ロ）は、始動時
における磁気ディスクの表面との引掛りをなくすため、
弧状に形成しである。他の端部（ハ）、（ニ）も弧状に
形成できる。

第３図は本発明に係る浮上型磁気ヘッドの別の実施例に
おける斜視図を示している。この実施例では、スライダ
１の浮上面１０５は、レール部を持たない平面状に形成
すると共に、その端、ｉｉ（イ）〜（ニ）を弧状に形成
しである。

第４図は３４７図に示した従来の浮上型磁気ヘッドのア
コースチック、エミッション、センサ゛（以下ＡＥセン
サと称する）による浮上安定性測定データを示す図、第
５図は第１図に示した本発明に係る浮上型磁気ヘッドの
ＡＥセンサによる浮上安定性測定データを示す図である
。第４図及び第５図の測定データは、第６図に示すよう
な測定システムによって得られたものである。

第６図において、３は磁気ディスク、４は磁気ディスク
３を回転駆動するスピンドル、Ｓは浮上型磁気ヘッド、
６は浮上型磁気ヘッド５を支持する支持バネ、７はＡＥ
センサ、８はフィルタ、９は増幅器、１０はオシロスコ
ープである。第６図における測定条件は次の通りである
。

浮上型磁気ヘッド５の浮上量；Ｏ，ｔａμｌ測定周波数
；１５０　にＨｚ〜４００　にＨｚ増幅率；６０ｄＢ 磁気ディスク３の表面平滑性ＨＲｍａｘ＜１００λオシ
ロスコープ１０；Ｘ軸　５　ｇ６ｃ／ｄｉｖＹ軸５０　
ｍｖ／ｄｌｖ 第４図の測定データに示すように、従来の浮上型磁気ヘ
ッドは、浮上量０．１８μｍでは、最大１００ｍｖにも
達する大きなＡＥセンサ出力が生じている。このことか
ら、テーバ、フラット型スライダを用いた従来の浮上型
磁気ヘッドは、浮上量が０．１８μｌのように低い値に
なると、フライト姿勢が崩れて、浮上面が磁気ディスク
の表面に衝突してしまうことが解る。

これに対して、本発明に係る浮上型磁気ヘッドは第５図
に示す通り、殆ど、ＡＥセンサ出力が生じていない、こ
のことから、本発明に係る浮上型磁気ヘッドは、浮上量
が０．１８μＩのように低い値になっても、フライト姿
勢が崩れず、安定な浮上特性が得られることが解る。

発明の効果 以上述べたように、本発明は、磁気記録媒体と対向する
面側に浮上面を有するスライダに、読み書き素子を付着
させた浮上型磁気ヘッドにおいて、前記スライダの前記
浮上面は、揚力発生用テーバ面を持たない平面状とした
ことを特徴とするから、次のような効果が得られる。

（ａ）浮上量０．２μ−以下の領域でも、安定した浮上
特性を確保することが可能で、磁気ディスク装置の高密
度化に適合する浮上型磁気ヘッドを提供できる。

（ｂ）静止時における浮上面と磁気ディスクとの間の押
圧力が低く、始動時の摩擦摩耗が少なく、耐摩耗性及び
耐久性に優れた浮上型磁気ヘッドを提供できる。

（ｃ）浮上量０．２μｍ以下の領域でも、安定した浮上
特性を確保することができるので、表面性の高い磁気デ
ィスク、例えばガラス基板に磁性薄膜を形成した磁気デ
ィスクｌ用として好適な浮上型磁気ヘッドを提供できる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る浮上型磁気ヘッドの斜視図、第２
図は同じく要部の拡大断面図、第３図は本発明に係る浮
上型磁気ヘッドの別の実施例における斜視図、第４図は
第７図に示した従来の浮上型磁気ヘッドのＡＥセンナに
よる浮上安定性測定データを示す図、第５図は第１図に
示した本発明に係る浮上型磁気ヘッドのＡＥセンサによ
る浮上安定性測定データを示す図、第６図は第４図及び
第５図の測定データを得るための測定システムを示す図
、第７図は従来の浮上型磁気ヘッドの斜視図である。 １・・・スライダ　　２・・・読み書き素子１０３．１
０４．１０５　・・・浮上面第１図 第２図 第３図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気記録媒体と対向する面側に浮上面を有するス
   ライダに、読み書き素子を付着させた浮上型磁気ヘッド
   において、前記スライダの前記浮上面は、揚力発生用テ
   ーパ面を持たない平面状としたことを特徴とする浮上型
   磁気ヘッド。
2. （２）前記浮上面は、端縁の少なくとも一部が弧状であ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の浮上
   型磁気ヘッド。