JPS63193842U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63193842U JPS63193842U JP8441287U JP8441287U JPS63193842U JP S63193842 U JPS63193842 U JP S63193842U JP 8441287 U JP8441287 U JP 8441287U JP 8441287 U JP8441287 U JP 8441287U JP S63193842 U JPS63193842 U JP S63193842U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- sample
- light beam
- sample stage
- branching device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成を示すブロツ
ク図であり、第２図は本考案による判別実験結果
の線図である。 １……半導体素子試料、２……試料台、３……
フレーム台、４……投射光ビーム、５……投射光
通路、６……反射光ビーム、７……反射光通路、
８……光源、９……光分岐装置、１０，１１……
導光管、１３……受光素子、１４……比較器、１
５……制御器。
ク図であり、第２図は本考案による判別実験結果
の線図である。 １……半導体素子試料、２……試料台、３……
フレーム台、４……投射光ビーム、５……投射光
通路、６……反射光ビーム、７……反射光通路、
８……光源、９……光分岐装置、１０，１１……
導光管、１３……受光素子、１４……比較器、１
５……制御器。
Claims (1)
- 半導体素子試料を保持する試料台と；該試料台
を固定し、また試料の表面及び裏面にそれぞれ等
角度で光ビームを投射できるような２つの投射光
通路と、試料の表面及び裏面で反射された光ビー
ムを通す反射光通路とをもつフレーム台と；光ビ
ームを発生する光源と；該光源から発せられた光
ビームを等量に２分する光分岐装置と；前記光源
から発せられた光ビームを前記光分岐装置に導く
導光管及び前記光分岐装置で２分された光ビーム
を前記フレーム台の２つの投射光通路入口に導く
導光管と；前記２つの反射光通路を通過した反射
光ビームをそれぞれ集光するレンズと；この集光
された反射光ビームの光量をそれぞれ電気量に変
換する受光素子と；該２つの受光素子の電気出力
を比較して大小を判定する比較器と；該比較器の
判定信号により前記試料台から移動される試料を
表裏別に区分けする制御器とを備えたことを特徴
とする非接触方式の半導体素子表裏面判別装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8441287U JPS63193842U (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8441287U JPS63193842U (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63193842U true JPS63193842U (ja) | 1988-12-14 |
Family
ID=30938888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8441287U Pending JPS63193842U (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63193842U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130005227A (ko) * | 2011-07-05 | 2013-01-15 | 가부시기가이샤 디스코 | 사파이어 기판의 가공 방법 |
-
1987
- 1987-05-30 JP JP8441287U patent/JPS63193842U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130005227A (ko) * | 2011-07-05 | 2013-01-15 | 가부시기가이샤 디스코 | 사파이어 기판의 가공 방법 |
| KR101876578B1 (ko) * | 2011-07-05 | 2018-07-09 | 가부시기가이샤 디스코 | 사파이어 기판의 가공 방법 |
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