JPS63192858A - 連続式真空蒸着装置 - Google Patents
連続式真空蒸着装置Info
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- JPS63192858A JPS63192858A JP2358487A JP2358487A JPS63192858A JP S63192858 A JPS63192858 A JP S63192858A JP 2358487 A JP2358487 A JP 2358487A JP 2358487 A JP2358487 A JP 2358487A JP S63192858 A JPS63192858 A JP S63192858A
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 33
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は連続式真空蒸着装置に関し、特に該装置の金属
蒸気の付着量制御装置、さらに詳細には、付着量分布制
御装置に関するものである。
蒸気の付着量制御装置、さらに詳細には、付着量分布制
御装置に関するものである。
帯鋼等の基板に連続的に、例えば亜鉛等の金属をメッキ
する手段として連続式真空蒸着装置が使用されている。
する手段として連続式真空蒸着装置が使用されている。
この従来の連続式真空蒸着装置の概略構成を第５図によ
って説明する。
って説明する。
第５図において、１は帯鋼（蒸着基板〕、２は複数のシ
ール室からなる真空シール装置、３は蒸着室、４は構鋼
１をガイドして通板させる巻付ロール、５は溶融し次金
属（例えば亜鉛など）、６はその金属蒸気、７は溶融金
属の浴槽、８は浴槽７で発生し次金属蒸気６を帯鋼１ま
で導くダクト（チャンネル）、９はヒータ、１゜はシャ
ッタ、１１はシャッタ１ｏの開閉装置（シリンダ〕、１
２はジャツメ１ｏの開口部、１３は金属の溶解炉、１４
はスノクール、１５は管、１６は弁、１７は真空ポンプ
である。なお２は金属蒸気６の流れ方向を示す。
ール室からなる真空シール装置、３は蒸着室、４は構鋼
１をガイドして通板させる巻付ロール、５は溶融し次金
属（例えば亜鉛など）、６はその金属蒸気、７は溶融金
属の浴槽、８は浴槽７で発生し次金属蒸気６を帯鋼１ま
で導くダクト（チャンネル）、９はヒータ、１゜はシャ
ッタ、１１はシャッタ１ｏの開閉装置（シリンダ〕、１
２はジャツメ１ｏの開口部、１３は金属の溶解炉、１４
はスノクール、１５は管、１６は弁、１７は真空ポンプ
である。なお２は金属蒸気６の流れ方向を示す。
この装置においては、溶融し几金属５の蒸気６ｔ−真空
条件下で発生させ、該蒸気６ｔ−ダクト８ｔ−介して浴
槽７から帯鋼１に導くように構成されている。
条件下で発生させ、該蒸気６ｔ−ダクト８ｔ−介して浴
槽７から帯鋼１に導くように構成されている。
帯鋼１に蒸着させるに必要な金属蒸気量〔蒸発量〕は、
浴槽７内に設置し次ヒータ９の電力と、浴槽７出口に設
置したシャッタ１０ｉ、例えば、シリンダ等の開閉装置
１１で開閉して開口部１２の面積を変えることにより制
御できるように構成されている。
浴槽７内に設置し次ヒータ９の電力と、浴槽７出口に設
置したシャッタ１０ｉ、例えば、シリンダ等の開閉装置
１１で開閉して開口部１２の面積を変えることにより制
御できるように構成されている。
また、前記浴槽７への溶融金属５は蒸着室３下部の溶解
炉１３から圧力差によシスノーケル１４を介して吸引供
給されるようになっている。
炉１３から圧力差によシスノーケル１４を介して吸引供
給されるようになっている。
蒸着室３は管１５及び弁１６ｔ−介して真空ポンプ１７
に接続し、通常、溶融金属５の飽和蒸気圧力により低い
圧力に輩素（ｋｈ ）等の不活性ガスを介して保持され
ている。
に接続し、通常、溶融金属５の飽和蒸気圧力により低い
圧力に輩素（ｋｈ ）等の不活性ガスを介して保持され
ている。
従来の連続式真空蒸着装置は以上の構成であるから、運
転に際しては、製造指令（鋼種、板幅、板厚、通板速度
、目襟蒸着量等）にもとづいて設定された蒸着速度（単
位面積、単位時間当りの蒸着量）に対応して蒸着室杢の
圧力を設定すると共に、蒸着金属の所：ｇ！蒸発量にな
るようにヒータ９の電力とシャツタ１０開度を調整する
ことにより帯鋼１表面の蒸着量、すなわち蒸着膜厚金目
標値に制御するようにし友ものである。
転に際しては、製造指令（鋼種、板幅、板厚、通板速度
、目襟蒸着量等）にもとづいて設定された蒸着速度（単
位面積、単位時間当りの蒸着量）に対応して蒸着室杢の
圧力を設定すると共に、蒸着金属の所：ｇ！蒸発量にな
るようにヒータ９の電力とシャツタ１０開度を調整する
ことにより帯鋼１表面の蒸着量、すなわち蒸着膜厚金目
標値に制御するようにし友ものである。
〔発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、前記従来装置では、シャッタ１０の開口
部１２ｔ−通過した後のダクト８内での金属蒸気６の流
れが変化する次め、帯鋼１表面の蒸着金属の膜厚分布が
いつも一定とはならず、とくに板幅方向の分布に関して
は、第３図、第４図の実機における計測データを示す図
表中、点線＆１．ａ１で示すようにばらつきが発生し、
メッキ成品の品質低下ならびに蒸着むらによる蒸着金属
の歩留りが低下するという問題かあつ九。
部１２ｔ−通過した後のダクト８内での金属蒸気６の流
れが変化する次め、帯鋼１表面の蒸着金属の膜厚分布が
いつも一定とはならず、とくに板幅方向の分布に関して
は、第３図、第４図の実機における計測データを示す図
表中、点線＆１．ａ１で示すようにばらつきが発生し、
メッキ成品の品質低下ならびに蒸着むらによる蒸着金属
の歩留りが低下するという問題かあつ九。
とくに、シャッタ開度か大きい場合には均一に近かった
が、シャッタ開度が小さい場合には膜厚分布のばらつき
が大きかった。
が、シャッタ開度が小さい場合には膜厚分布のばらつき
が大きかった。
本発明はかかる問題に鑑み、つねに膜厚分布を均一に制
御し、メッキ成品の品質向上を図ると共に、蒸着金属の
歩留りを向上させコスト低減が可能な連続式真空蒸着装
置を提供しようとするものである。
御し、メッキ成品の品質向上を図ると共に、蒸着金属の
歩留りを向上させコスト低減が可能な連続式真空蒸着装
置を提供しようとするものである。
本発明は前記問題を解決するために、シャッタ面内に多
孔板からなる整流板を取付けて金属蒸気の流れを均一化
させ、蒸着ＩＩ［Ｊｔ分布を均一にするように真空蒸着
装置を構成させたものである。
孔板からなる整流板を取付けて金属蒸気の流れを均一化
させ、蒸着ＩＩ［Ｊｔ分布を均一にするように真空蒸着
装置を構成させたものである。
すなわち本発明は、真空条件下で溶融金属を蒸発させる
浴槽及び該金属蒸気を蒸着基板まで導くダクト及び前記
浴槽の出口にあってその開口面積を自在に制御し得るシ
ャッタを具備してなる連続式真空蒸着装置において、前
記ジャツメ面内に多孔板からなる整流板を取付けてなる
ことｔ−特徴とする連続式真空蒸着装置である。
浴槽及び該金属蒸気を蒸着基板まで導くダクト及び前記
浴槽の出口にあってその開口面積を自在に制御し得るシ
ャッタを具備してなる連続式真空蒸着装置において、前
記ジャツメ面内に多孔板からなる整流板を取付けてなる
ことｔ−特徴とする連続式真空蒸着装置である。
シャッタ面内に多孔板からなる整流板を設けることによ
ｐ１ダクト内の金属蒸気の流れが均一化し、その結果、
蒸着基板への蒸着膜厚分布を均一にすることができる。
ｐ１ダクト内の金属蒸気の流れが均一化し、その結果、
蒸着基板への蒸着膜厚分布を均一にすることができる。
以下、図面によって本発明を具体的に説明する。
第１図は本発明の一実施例に係る連続式真空蒸着装置の
蒸着室及び蒸発槽の概略構成図、第２図は第１図中入−
ム矢視による整流板の正面図を示す０図中、従来装置（
第５図）と同一部材には同一符号を付し、重複する詳細
構成説明は省略する。
蒸着室及び蒸発槽の概略構成図、第２図は第１図中入−
ム矢視による整流板の正面図を示す０図中、従来装置（
第５図）と同一部材には同一符号を付し、重複する詳細
構成説明は省略する。
第１図において、本発明装置は、従来装置菖５図〕にお
けるシャッタ面内に１枚以上（例示の場合は１枚）の、
後述する第２図に示し几ような多孔板からなる整流板２
０を取付けてダクト８内の金属蒸気６の流れを均一に整
流させることによって、蒸着膜鳳分布金均−化させよう
とするものである。
けるシャッタ面内に１枚以上（例示の場合は１枚）の、
後述する第２図に示し几ような多孔板からなる整流板２
０を取付けてダクト８内の金属蒸気６の流れを均一に整
流させることによって、蒸着膜鳳分布金均−化させよう
とするものである。
ここで、前記整流板２０の孔の配列及び数量に関しては
、本発明者らが種々実験の結果決定されたもので、ここ
では１枚の場合について述べることとする。前記整流板
２０のうち、ダクト８ｇ：面側は＠２図に示すように多
数の孔２１をほぼ等ビジチで置設し、−“方ダクト８天
井面側の孔２１の配列及びピッチ線１列おきに開孔せず
、天井側部の開口比を底面側部の開口比より小さくする
。このように開孔することによって蒸着膜厚分布が、第
３図、第４図中実線１ｒｔ 。
、本発明者らが種々実験の結果決定されたもので、ここ
では１枚の場合について述べることとする。前記整流板
２０のうち、ダクト８ｇ：面側は＠２図に示すように多
数の孔２１をほぼ等ビジチで置設し、−“方ダクト８天
井面側の孔２１の配列及びピッチ線１列おきに開孔せず
、天井側部の開口比を底面側部の開口比より小さくする
。このように開孔することによって蒸着膜厚分布が、第
３図、第４図中実線１ｒｔ 。
ｂ、で示すように、従来装置の場合の分有曲線ａｌ。
ａｌにくらべて艮好な均一度が得られることが実機にお
いて立征され友、第３図は目標蒸着膜厚が３０μ、第４
図は５０μの場合の板幅方向の膜厚分布の実測値を示す
。
いて立征され友、第３図は目標蒸着膜厚が３０μ、第４
図は５０μの場合の板幅方向の膜厚分布の実測値を示す
。
以上、整流板２０ｔ−１枚使用する場合について説明し
友が、上述した整流板ｔ−２枚以上使用してもよく、同
様に１枚の整流板の厚さｔ−２枚分の厚さにしてもよい
。
友が、上述した整流板ｔ−２枚以上使用してもよく、同
様に１枚の整流板の厚さｔ−２枚分の厚さにしてもよい
。
更に上記においては整流板の孔を不均一にあけ次場合に
ついて説明し九が、整流板全体にわ皮って均一に孔をあ
け友ものをほぼ同様な効果を奏する。
ついて説明し九が、整流板全体にわ皮って均一に孔をあ
け友ものをほぼ同様な効果を奏する。
以上詳細に説明したように本発明装置では、金属蒸気（
Ｚｎ等）６を蒸着基板（帯鋼等）の蒸着面へ導くシャッ
タ面内に開孔ピッチが均一あるいは不均一な多孔板から
なる１枚以上の整流板２０を取付けて金属蒸気６のダク
ト８内の流れの乱れを均一に整流することによって、蒸
着膜厚を均一化することが可能となり、メッキ成品の品
質向上ならびに蒸気金属（Ｚｎ等）５の歩留りを向上さ
せコスト低減を図ることがで１！友。
Ｚｎ等）６を蒸着基板（帯鋼等）の蒸着面へ導くシャッ
タ面内に開孔ピッチが均一あるいは不均一な多孔板から
なる１枚以上の整流板２０を取付けて金属蒸気６のダク
ト８内の流れの乱れを均一に整流することによって、蒸
着膜厚を均一化することが可能となり、メッキ成品の品
質向上ならびに蒸気金属（Ｚｎ等）５の歩留りを向上さ
せコスト低減を図ることがで１！友。
第１図は本発明の一実施例に係る連続式真空蒸着装置の
概略構成図、第２図は、第１図中人−人矢視による整流
板の正面図、第３図、第４図は実機における板幅方向の
蒸着膜厚分布曲線の計測データを示す図表、第５図は従
来の連続式真空蒸着装置の概略構成図上水す。
概略構成図、第２図は、第１図中人−人矢視による整流
板の正面図、第３図、第４図は実機における板幅方向の
蒸着膜厚分布曲線の計測データを示す図表、第５図は従
来の連続式真空蒸着装置の概略構成図上水す。
Claims (1)
- 真空条件下で溶融金属を蒸発させる浴槽及び該金属蒸気
を蒸着基板まで導くダクト及び前記浴槽の出口にあつて
その開口面積を自在に制御し得るシャッタを具備してな
る連続式真空蒸着装置において、前記シヤツタ面内に多
孔板からなる整流板を取付けてなることを特徴とする連
続式真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62023584A JPH0735566B2 (ja) | 1987-02-05 | 1987-02-05 | 連続式真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62023584A JPH0735566B2 (ja) | 1987-02-05 | 1987-02-05 | 連続式真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63192858A true JPS63192858A (ja) | 1988-08-10 |
| JPH0735566B2 JPH0735566B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=12114625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62023584A Expired - Lifetime JPH0735566B2 (ja) | 1987-02-05 | 1987-02-05 | 連続式真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735566B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63192859A (ja) * | 1987-02-05 | 1988-08-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 連続式真空蒸着装置 |
| CN114639797A (zh) * | 2021-06-26 | 2022-06-17 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 负极极片的处理方法、钠金属负极极片及相关装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63192859A (ja) * | 1987-02-05 | 1988-08-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 連続式真空蒸着装置 |
-
1987
- 1987-02-05 JP JP62023584A patent/JPH0735566B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63192859A (ja) * | 1987-02-05 | 1988-08-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 連続式真空蒸着装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63192859A (ja) * | 1987-02-05 | 1988-08-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 連続式真空蒸着装置 |
| CN114639797A (zh) * | 2021-06-26 | 2022-06-17 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 负极极片的处理方法、钠金属负极极片及相关装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0735566B2 (ja) | 1995-04-19 |
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