JPS63191035A - 分光分析装置 - Google Patents

分光分析装置

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JPS63191035A
JPS63191035A JP2311187A JP2311187A JPS63191035A JP S63191035 A JPS63191035 A JP S63191035A JP 2311187 A JP2311187 A JP 2311187A JP 2311187 A JP2311187 A JP 2311187A JP S63191035 A JPS63191035 A JP S63191035A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wavelength
analyzed
light source
lens
spectrometer
Prior art date
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Pending
Application number
JP2311187A
Other languages
English (en)
Inventor
Fumikazu Ogishi
大岸 史和
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS63191035A publication Critical patent/JPS63191035A/ja
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  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は、発光分光分析装置等の分光分析装置に関する
(0)従来技術とその問題点 一般に、分光分析装置、たとえば発光分光分析装置では
試料を発光させ、その発光源からの光を分光器で分光し
、分光した各スペクトルの光を検出器で検出することに
より、試料に含まれる各元素の定性、定量分析を行なう
このような、分光分析装置では、従来、分光器の光人力
部の前段に集光レンズを設けたものがある。集光レンズ
を設けた場合には、光源からの光を集光して分光器内部
に効率良く導くことができろという利点があるものの、
一方において、波長による屈折率の違いにより色収差を
生じ、その結果、結像位置が変動して測光強度のS/N
比か劣化する等の不都合を生じる。これを改善するため
、色消レンズを用いて色収差を無くすことも考えられる
。しかし、現在のところ紫外領域のような短波長の光に
対して宵効に色収差を無くず色消レンズ作成用の材料が
揃っていない。特に発光分光分析装置では、可視光領域
から紫外領域までの広い波長範囲を分析対象としている
ので、紫外領域の波長の光を分光する際には、いわゆる
ピントずれを起こしたまま分析を行なわざるを得なかっ
た。
また、集光レンズの代わりに凹面鏡を組み合わせて集光
するようにしたものも提供されているが、凹面鏡を用い
た場合には球面収差を生じるので、像の歪みが生じる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、可視光領域から紫外領域までの広い波長範囲に渡っ
て確実にピント合わせができるようにして、像を歪ませ
ることなく適切な分光測定が行なえるようにすることを
目的とする。
(ハ)問題点を解決するための手段 本発明は、上記の目的を達成するために、光源からの光
を集光する集光レンズを設けた分光器を有する分光分析
装置おいて、集光レンズを光源に対して進退させろレン
ズ駆動機構を設けるとともに、分光器による分析対象波
長を設定する波長設定部と、この波長設定部で設定され
た分析対象波長の値に基づいて集光レンズを位置決めす
る制御信号をレンズ駆動機構に出力する制御部とを備え
た構成とした。
(ニ)作用 本発明の分光分析装置では、波長設定部によって予め分
光器による各元素の分析対象波長を設定する。すると、
制御部がこの分析対象波長の値に基づく制御信号をレン
ズ駆動機構に出力する。レンズ駆動機構は、この制御信
号に応じて集光レンズを光源に対して進退させるので、
光源と集光レンズ間の距離が分析対象波長に適応した位
置に調整される。
(ホ)実施例 図は本発明の実施例を示す分光分析装置の構成図である
。同図において、符号lは分光分析装置の全体を示し、
2は波長走査形の分光器、4は試料等の光源である。上
記の分光器2は、本例の場合、ツエルニターナ形のもの
であり、光入力部の前段に集光レンズ6が設けられると
ともに、ハウジング8の内部には回折格子10.2つの
凹面鏡+2、+4、人口スリット16、出口スリット1
8およびフォトマルチプライヤ等の検出器20を配置し
て構成されている。
22は波長走査を行なうために回折格子IOを回転させ
る波長走査機構で、歯車とパルスモータ等を組み合わせ
て構成される周知の機構である。
24は集光レンズ6を光源4に対して進退させるレンズ
駆動機構であり、たとえば、ラック・ピニオン歯車とパ
ルスモータを組み合わせて構成される。26は分光器2
による分析対象波長を設定する波長設定部、28は波長
設定部26で設定された分析対象波長の値に基づいて集
光レンズ6を位置決めする制御信号をレンズ駆動機構2
4に出力する制御部であり、CPtJで構成される。
次に、本発明の分光分析装置の作用について説明する。
本発明の分光分析装置lでは、波長設定部26によって
予め分光器2による各元素の分析対象波長を設定する。
すると、制御部28がこの分析対象波長の値に基づいて
集光レンズ6の最適の焦点距離を算出する。すなわち、
いま、光源4から入口スリット16までの距離をQ、光
源4から集光レンズ6までの距離を31人ロスリット1
6から集光レンズ6までの距離をb、現在測定中の波長
をλ、集光レンズI6の焦点距離をr(λ)(f(λ)
はλの関数である)とすると、次式が成立する。
1 #(λ)−17a+l /b −I /a+ 1/(Q−a)        (L)
上式から、 a−(N−9Q7=T了7vス〕) / 2     
 (2)となる。
制御部28には、f(λ)の関数式が記憶されているの
で、制御部28は分析対象波長λが設定されると、(2
)式より集光レンズ6の光源4からの距離aを求める。
また、制御部28は波長走査機構22を制御しており、
波長走査機構22により回折格子lOが回転されて分光
波長が波長設定部26で設定した波長範囲に近付くと、
このタイミングに合わ仕て(2)式より求めた集光レン
ズ6の距離aの値に基づく制御信号をレンズ駆動機構2
4に出力する。
レンズ駆動機構24は、この制御信号に応じて集光レン
ズ6を光源4に対して進退させる。これにより、光源4
と集光レンズ6間の距離が分析対象波長に適応した位置
に調整される。このため、集光レンズ6で集光された光
は、波長が異なる場合でも常に入口スリット16の位置
に結像することになる。
なお、この実施例では波長走査形の分光器について説明
したが、ポリクロメータ式分光器の場合でも、分析対象
波長が測定のたびに変わるような場合には、本発明を適
用する利点がある。また、分光分析装置としては、発光
分光分析装置、rcP発光分光分析装置、蛍光分光分析
装置、原子吸光分光分析装置等の各種の分光分析装置に
本発明を広く適用することができる。
(へ)効果 以上のように本発明によれば、可視光領域から紫外領域
までの広い波長範囲に渡る測定が必要な場合でも、各波
長に応じて確実にピント合わせができるので、像を歪ま
せることなく適切な分光測定か行なえるようになる等の
優れた効果が発揮されろ。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示す発光分光分析装置の構成図
である。 l・・・分光分析装置、2・・・分光器、4・・・光源
、6・・集光レンズ、24・・・レンズ駆動機構、26
・・・波長設定部、28・・・制御部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光源からの光を集光する集光レンズを設けた分光
    器を有する分光分析装置において、 前記集光レンズを光源に対して進退させるレンズ駆動機
    構を設けるとともに、 前記分光器による分析対象波長を設定する波長設定部と
    、 この波長設定部で設定された前記分析対象波長の値に基
    づいて集光レンズを位置決めする制御信号を前記レンズ
    駆動機構に出力する制御部と、を備えることを特徴とす
    る分光分析装置。
JP2311187A 1987-02-02 1987-02-02 分光分析装置 Pending JPS63191035A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0377048A (ja) * 1989-08-21 1991-04-02 Intaadetsuku:Kk 分光顕微鏡
CN104949962A (zh) * 2014-03-25 2015-09-30 日本株式会社日立高新技术科学 Icp发光分光分析装置

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JPS6366424A (ja) * 1986-09-09 1988-03-25 Atago Bussan Kk ルミネセンス分光測定装置

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