JPH03146833A - 多波長分光器 - Google Patents
多波長分光器Info
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- JPH03146833A JPH03146833A JP28301889A JP28301889A JPH03146833A JP H03146833 A JPH03146833 A JP H03146833A JP 28301889 A JP28301889 A JP 28301889A JP 28301889 A JP28301889 A JP 28301889A JP H03146833 A JPH03146833 A JP H03146833A
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- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 19
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 1
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- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
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Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はマルチチャンネル検知器を使用し、多波長を同
時に測光する回折格子を用いた分光器の光学系の構成に
関する。
時に測光する回折格子を用いた分光器の光学系の構成に
関する。
従来の装置は、特開昭６０−１００６３１号に記載のよ
うに、広い波長域のスペクトルを同時に測定するために
、高次の回折光を除去する吸収フィルターを複数個マル
チチャンネル検知器の前面に配置するが、吸収フィルタ
ーの接合面での光の散乱による悪影響を少なくするため
に、フィルターの接合面をくさび状に研磨して結合する
ものであった。
うに、広い波長域のスペクトルを同時に測定するために
、高次の回折光を除去する吸収フィルターを複数個マル
チチャンネル検知器の前面に配置するが、吸収フィルタ
ーの接合面での光の散乱による悪影響を少なくするため
に、フィルターの接合面をくさび状に研磨して結合する
ものであった。
また別の方式として上記の光知例のように１回折格子で
生ずる±１次光を２個のマルチチャンネル検知器で検出
する構成となっていた。各々のマルチチャンネル検知器
は異なった波長域を検出するように配置し、各検知器前
面には各々の測定波長域に対応する高次回折光除去のた
めの吸収フィルターを配置して、広い波長域のスペクト
ルを同時に測定するようになっていた。
生ずる±１次光を２個のマルチチャンネル検知器で検出
する構成となっていた。各々のマルチチャンネル検知器
は異なった波長域を検出するように配置し、各検知器前
面には各々の測定波長域に対応する高次回折光除去のた
めの吸収フィルターを配置して、広い波長域のスペクト
ルを同時に測定するようになっていた。
回折格子の分散式は、ｍλ＝ ｄ （ｓｉｎ ａ ＋ｓ
ｉｎβ）、（ｍ：次数、λ：波長、ｄ：回折格子の格子
定数。
ｉｎβ）、（ｍ：次数、λ：波長、ｄ：回折格子の格子
定数。
α：入射角、β：回折角）で表わされる。ここで、入射
角αは一定であるため、回折角が００であるλ０ 波長λ０の１次光は、波長□の２次光、波長λ０ □の３次光、・・・等の高次回折光と重畳する。
角αは一定であるため、回折角が００であるλ０ 波長λ０の１次光は、波長□の２次光、波長λ０ □の３次光、・・・等の高次回折光と重畳する。
このために、回折格子を用いた分光器の場合、高次回折
光の影響を受けずに一度に測定することのできる１次光
の波長域は、下限が波長λ１の場合、２λｌに制限され
てしまう問題がある。
光の影響を受けずに一度に測定することのできる１次光
の波長域は、下限が波長λ１の場合、２λｌに制限され
てしまう問題がある。
特開昭６０−１００６３１号の従来技術では、高次回折
光を除去する吸収フィルターをくさび状にして接合する
ものの、接合面での光の散乱の影響が取り去れず、迷光
、フィルター切替ショックとなってデータを劣化する問
題があった。
光を除去する吸収フィルターをくさび状にして接合する
ものの、接合面での光の散乱の影響が取り去れず、迷光
、フィルター切替ショックとなってデータを劣化する問
題があった。
また上記公知例の従来技術では、±１次光の光強度が極
端に異なれば、各々で測定に要する時間が異なる不都合
を生じるため、±１次光の光強度はほぼ等しいことが望
ましいが、±１次光で異なる波長域の測定を行なうため
、片方で有効は光は他方では無効な光として捨てており
、光の効率が低下して暗い光学系となる問題があった。
端に異なれば、各々で測定に要する時間が異なる不都合
を生じるため、±１次光の光強度はほぼ等しいことが望
ましいが、±１次光で異なる波長域の測定を行なうため
、片方で有効は光は他方では無効な光として捨てており
、光の効率が低下して暗い光学系となる問題があった。
また、±１次光の光量を等しく、かつ効率良く分散させ
るためには２等辺三角形状の溝をもつ回折格子の製作が
必要であるが、通常用いられる凹面格子ではこの形状を
もつものを製作するのは困難であり、効率が低下せざる
得ない問題があった。
るためには２等辺三角形状の溝をもつ回折格子の製作が
必要であるが、通常用いられる凹面格子ではこの形状を
もつものを製作するのは困難であり、効率が低下せざる
得ない問題があった。
本発明の目的は、これらの不具合を生ずることなく、広
い波長域のスペクトルを効率良く測定することが可能な
多波長分光器を提供することにある。
い波長域のスペクトルを効率良く測定することが可能な
多波長分光器を提供することにある。
」１記目的は、特定の波長域の光を透過（または反射）
し、その波長域以外の光を反射（または透過）する特性
をもつミラーまたはフィルター、例えばダイクロイック
ミラー或いは熱線反射可視透過フィルター等を１個また
は複数個使用して入射光を、２倍の波長を含まない幾つ
かの波長域をも一 つ光束に分割し、この分割した各々の光を各光束に対し
て最適にブレーズされた回折格子とマルチチャンネル光
検知器からなる多波長分光器で分光することにより、達
成される。
し、その波長域以外の光を反射（または透過）する特性
をもつミラーまたはフィルター、例えばダイクロイック
ミラー或いは熱線反射可視透過フィルター等を１個また
は複数個使用して入射光を、２倍の波長を含まない幾つ
かの波長域をも一 つ光束に分割し、この分割した各々の光を各光束に対し
て最適にブレーズされた回折格子とマルチチャンネル光
検知器からなる多波長分光器で分光することにより、達
成される。
第１図に本発明の原理図を示す。
被測定光源上の発散光は入射光２となりミラー３に入射
する。ミラー３は特定の波長域の光を透過し、それ以外
の波長域の光は反射する特性をもつ。ここで、第２図に
示すように、例えば波長λ０〜２λ０間の光を１００％
透過し、この波長域以外の光を１００％反射するものと
する。このためミラー３により、波長λ０〜２λ０間の
光は透過されて光束４により、入射スリット５に入射す
る。
する。ミラー３は特定の波長域の光を透過し、それ以外
の波長域の光は反射する特性をもつ。ここで、第２図に
示すように、例えば波長λ０〜２λ０間の光を１００％
透過し、この波長域以外の光を１００％反射するものと
する。このためミラー３により、波長λ０〜２λ０間の
光は透過されて光束４により、入射スリット５に入射す
る。
また波長λ０〜２λ０以外の光は反射して光束６になり
、フィルター７に入射する。該フィルター７は波長２λ
０以上の光を１００％透過し、波長λ０以下の光を完全
に吸収する特性とする。該光束６は該フィルター７によ
り波長λ０以下の光が吸収され、波長２λ０以上の光束
８となって入射スリット９に入射する。
、フィルター７に入射する。該フィルター７は波長２λ
０以上の光を１００％透過し、波長λ０以下の光を完全
に吸収する特性とする。該光束６は該フィルター７によ
り波長λ０以下の光が吸収され、波長２λ０以上の光束
８となって入射スリット９に入射する。
該光束４，８は、各々該入射スリット５．９に入射した
のち１回折格子１０，１↓で分散され、マルチチャンネ
ル検出器１２．１３でスペクトルとして検出される。該
回折格子１０、該マルチチャンネル検出器↓２による分
光器では波長λ０〜２λ０のスペクトルを検出し、該回
折格子１０はこの波長域λ０〜２λ０で最も回折効率が
高くなるようにブレーズする。また該回折格子］１、マ
ルチチャンネル検出器１３による分光器では波長２λ０
〜４λ０のスペクトルを検出し、該回折格子１１はこの
波長域で最も回折効率が高くなるようにブレーズする。
のち１回折格子１０，１↓で分散され、マルチチャンネ
ル検出器１２．１３でスペクトルとして検出される。該
回折格子１０、該マルチチャンネル検出器↓２による分
光器では波長λ０〜２λ０のスペクトルを検出し、該回
折格子１０はこの波長域λ０〜２λ０で最も回折効率が
高くなるようにブレーズする。また該回折格子］１、マ
ルチチャンネル検出器１３による分光器では波長２λ０
〜４λ０のスペクトルを検出し、該回折格子１１はこの
波長域で最も回折効率が高くなるようにブレーズする。
駆動回路１．４．１５は該マルチチャンネル検出器１２
．１３を制御する。該回折格子１０．１１で分散された
光（スペクトル）は該マルチチャンネル検出器１２．ｉ
、３で光電変換され、アンプ１６．１７で増幅されたの
ち、データ処理部１８でデータの処理をされる。
．１３を制御する。該回折格子１０．１１で分散された
光（スペクトル）は該マルチチャンネル検出器１２．ｉ
、３で光電変換され、アンプ１６．１７で増幅されたの
ち、データ処理部１８でデータの処理をされる。
これによって、該入射光束２の波長域λＯ−／１λ０を
同時に、効率良く測光することができる。
同時に、効率良く測光することができる。
第１図ではミラーを１枚使用したが、複数個使用して入
射光束を更に細分割すれば、更に広い範囲のスペクトル
を測定することができる。
射光束を更に細分割すれば、更に広い範囲のスペクトル
を測定することができる。
また第１図では入射光束をミラーで分割したのちに各分
光器の入射スリットに入射しているが、先に入射スリッ
トがあり、入射スリットを通過した後の光束をミラーで
分割し、回折格子に導いても同等である。
光器の入射スリットに入射しているが、先に入射スリッ
トがあり、入射スリットを通過した後の光束をミラーで
分割し、回折格子に導いても同等である。
また第１図では連続する波長域を測定する場合について
説明したが、複数個の分光器で分光する波長域は連続し
ていなくても、または−都電なり合っていても同様であ
る。但しこの場合は該ミラー３及びフィルター７は第１
図で説明した特性とは異なる。
説明したが、複数個の分光器で分光する波長域は連続し
ていなくても、または−都電なり合っていても同様であ
る。但しこの場合は該ミラー３及びフィルター７は第１
図で説明した特性とは異なる。
第３図に本発明の光学系を用いた、多波長分光器の実施
例を示す。
例を示す。
光源２０の光束２１は、被測定サンプルを封入したセル
２２を通過したのち、本発明の光学系３０に入射する該
光学系３０を用いるミラー３は第２図のように理想的な
特性は得にくいため、該ミラー３の透過側にも測定波長
域に応じたフィルター１９を入れる。該光学系３０の直
前にはシャッタ２３があり、モータ２４により全開また
は全開に駆動される。制御回路２５は光源２０．モータ
２４．マルチチャンネル検出器１２．１３を制御する。
２２を通過したのち、本発明の光学系３０に入射する該
光学系３０を用いるミラー３は第２図のように理想的な
特性は得にくいため、該ミラー３の透過側にも測定波長
域に応じたフィルター１９を入れる。該光学系３０の直
前にはシャッタ２３があり、モータ２４により全開また
は全開に駆動される。制御回路２５は光源２０．モータ
２４．マルチチャンネル検出器１２．１３を制御する。
マルチチャンネル検出器１２．１３で検知されたスペク
トルの信号は、アンプ１６．１７で増幅されたのちにデ
ータ処理部１８に取込まれる。
トルの信号は、アンプ１６．１７で増幅されたのちにデ
ータ処理部１８に取込まれる。
ここで該マルチチャンネル検出器１２．１３には暗電流
があるため、測定の直前に該シャッタ２３を閉じて入射
光束を遮り、該マルチヤンネル検出器１２．１３の暗電
流を測定しておく。
があるため、測定の直前に該シャッタ２３を閉じて入射
光束を遮り、該マルチヤンネル検出器１２．１３の暗電
流を測定しておく。
本光学系はシングルビーム分光器であり、該セル２２を
取り除いてレファレンスの測定を行なったのち、サンプ
ルを封入した該セル２３を光路に入れ、測定を行なう。
取り除いてレファレンスの測定を行なったのち、サンプ
ルを封入した該セル２３を光路に入れ、測定を行なう。
レファレンス及びサンプルのデータには暗電流が重畳し
ているため、予め測定した暗電流のデータを差引き、正
しいレファレンス及びサンプルのデータから、透過、吸
光度等のスペクトルデータを得る。
ているため、予め測定した暗電流のデータを差引き、正
しいレファレンス及びサンプルのデータから、透過、吸
光度等のスペクトルデータを得る。
第４図に光ファイバを用いた実施例を示す。
７字形の光ファイバ４０により、光源２０の光を被測定
試料４１に導き、該被測定試料４１から生じた被測定光
４２（反射光、蛍光等）を再び該光ファイバ４０を通じ
て本発明の光学系３０に導く。また光ファイバ４３によ
り、被測定試料４２の発光等を測定することが可能であ
る。
試料４１に導き、該被測定試料４１から生じた被測定光
４２（反射光、蛍光等）を再び該光ファイバ４０を通じ
て本発明の光学系３０に導く。また光ファイバ４３によ
り、被測定試料４２の発光等を測定することが可能であ
る。
第５図は本発明の光学系を顕微鏡と組合わせた顕微分光
光度計の実施例である。反射測定の場合、光源５１の光
はハーフミラ−５２で反射されたのち、対物レンズ５３
で試料５４の表面上に集光される。該試料５４の反射光
または蛍光は再び該対物レンズ５３に取込まれ、該ハー
フミラ−５２を通じて、顕微鏡５０の鏡筒部から出射す
る。透過測定の場合、光源５５の光はミラー５６に９０
’に反射されたのち、コンデンサレンズ５７で試料５４
を照射する。該試料５４の透過光は該対物レンズ５３に
取込まれ、該ハーフミラ−５２を通じて顕微鏡５０の鏡
筒部から出射する。本発明の光学系は該顕微鏡５０の鏡
筒部上に配置され、上記反射光、蛍光及び透過光の分光
を行なう。本光学系は入射スリット５８後の光束をミラ
ー３（またはフィルター）を用いて分割して測定するタ
イプであり、該入射スリット５８は分光器への入射スリ
ットの役割と同時に、該入射スリット５８を。
光度計の実施例である。反射測定の場合、光源５１の光
はハーフミラ−５２で反射されたのち、対物レンズ５３
で試料５４の表面上に集光される。該試料５４の反射光
または蛍光は再び該対物レンズ５３に取込まれ、該ハー
フミラ−５２を通じて、顕微鏡５０の鏡筒部から出射す
る。透過測定の場合、光源５５の光はミラー５６に９０
’に反射されたのち、コンデンサレンズ５７で試料５４
を照射する。該試料５４の透過光は該対物レンズ５３に
取込まれ、該ハーフミラ−５２を通じて顕微鏡５０の鏡
筒部から出射する。本発明の光学系は該顕微鏡５０の鏡
筒部上に配置され、上記反射光、蛍光及び透過光の分光
を行なう。本光学系は入射スリット５８後の光束をミラ
ー３（またはフィルター）を用いて分割して測定するタ
イプであり、該入射スリット５８は分光器への入射スリ
ットの役割と同時に、該入射スリット５８を。
該試料５４の実像面上に置いて測定領域を絞る役割を兼
ねている。
ねている。
これにより、該試料５４の微小領域の反射、透過光、蛍
光のスペクトルを多波長同時に、効率良く測定すること
が可能である。
光のスペクトルを多波長同時に、効率良く測定すること
が可能である。
本発明によれば、回折格子の高次の回折光の影響のため
に制限される波長域よりも広い波長域のスペクトルを同
時に、しかも効率良く測定することができる。光学系の
効率が良く、明るい光学系であるために、より高速な測
定が可能になり、短時間のうちに激しく変化する発光現
象等にも測定が可能となる効果もある。
に制限される波長域よりも広い波長域のスペクトルを同
時に、しかも効率良く測定することができる。光学系の
効率が良く、明るい光学系であるために、より高速な測
定が可能になり、短時間のうちに激しく変化する発光現
象等にも測定が可能となる効果もある。
第１図は本発明の光学系の原理図、第２図は第１図内で
使用しているミラーの特性図、第３図は本発明の光学系
を用いた多波長分光器の実施例を示す図、第４図は光フ
ァイバを用いた多波長分光器の実施例を示す図、第５図
は顕微鏡と組合わせた多波長分光器の実施例を示す図で
ある。 １・・・被測定光源、３・・ミラー、７，１９・・・フ
ィルター、５，９．５８・・入射スリット、１０．１１
・回折格子、１２．１３・・・マルチチャンネル検出器
、１４．１５・・駆動回路、］、６．１７・・・アンプ
、１
使用しているミラーの特性図、第３図は本発明の光学系
を用いた多波長分光器の実施例を示す図、第４図は光フ
ァイバを用いた多波長分光器の実施例を示す図、第５図
は顕微鏡と組合わせた多波長分光器の実施例を示す図で
ある。 １・・・被測定光源、３・・ミラー、７，１９・・・フ
ィルター、５，９．５８・・入射スリット、１０．１１
・回折格子、１２．１３・・・マルチチャンネル検出器
、１４．１５・・駆動回路、］、６．１７・・・アンプ
、１
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、回折格子と入射スリットとマルチチャンネル検知器
からなる分光器において、特定の波長域の光を透過（ま
たは反射）し、その波長域以外の光を反射（または透過
）する特性をもつミラー（またはフィルター）を１個ま
たは複数個用いて入射光束を波長域の異なる多数の光束
に分割し、その分割した光束の各々に対して１個ずつ前
記分光器を配置し、個々の前記分光器の相異なる波長域
のスペクトルを測定することを特徴とする多波長分光器
。 ２、請求項１記載の多波長分光器において、回折格子の
ブレーズ波長を、各々の測定波長領域に応じて最適化し
たことを特徴とする多波長分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28301889A JPH03146833A (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 | 多波長分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28301889A JPH03146833A (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 | 多波長分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03146833A true JPH03146833A (ja) | 1991-06-21 |
Family
ID=17660162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28301889A Pending JPH03146833A (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 | 多波長分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03146833A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001060336A (ja) * | 1998-10-28 | 2001-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学ヘッド |
| WO2002007227A1 (fr) * | 2000-07-18 | 2002-01-24 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Dispositif recepteur de lumiere et photodetecteur comprenant ce dispositif |
| JP2004523764A (ja) * | 2001-03-27 | 2004-08-05 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 高いスペクトル解像度を有している集積型分光器および特に高速通信と高速測定とのための集積型分光器ならびにその製造方法 |
| DE19543729B4 (de) * | 1995-11-23 | 2008-08-21 | Berthold Gmbh & Co. Kg | Spektrometer |
| WO2010084957A1 (ja) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 分光放射計 |
| JP2013242260A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Olympus Corp | 蛍光検出装置および蛍光検出方法 |
| JP2014066732A (ja) * | 2009-03-30 | 2014-04-17 | Ricoh Co Ltd | 分光特性取得装置 |
| JP2015087185A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | 株式会社東芝 | 自動分析装置 |
| US9068893B2 (en) | 2009-03-30 | 2015-06-30 | Ricoh Company, Ltd. | Spectral characteristic obtaining apparatus, image evaluation apparatus and image forming apparatus |
| JP2018072279A (ja) * | 2016-11-04 | 2018-05-10 | ジオテクノス株式会社 | 分光装置および反射スペクトルの接合処理方法 |
-
1989
- 1989-11-01 JP JP28301889A patent/JPH03146833A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19543729B4 (de) * | 1995-11-23 | 2008-08-21 | Berthold Gmbh & Co. Kg | Spektrometer |
| JP2001060336A (ja) * | 1998-10-28 | 2001-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学ヘッド |
| WO2002007227A1 (fr) * | 2000-07-18 | 2002-01-24 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Dispositif recepteur de lumiere et photodetecteur comprenant ce dispositif |
| US7372124B2 (en) | 2000-07-18 | 2008-05-13 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | Light-receiving element and photodetector using the same |
| JP2004523764A (ja) * | 2001-03-27 | 2004-08-05 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 高いスペクトル解像度を有している集積型分光器および特に高速通信と高速測定とのための集積型分光器ならびにその製造方法 |
| JP2010169493A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 分光放射計 |
| WO2010084957A1 (ja) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 分光放射計 |
| JP2014066732A (ja) * | 2009-03-30 | 2014-04-17 | Ricoh Co Ltd | 分光特性取得装置 |
| US9068893B2 (en) | 2009-03-30 | 2015-06-30 | Ricoh Company, Ltd. | Spectral characteristic obtaining apparatus, image evaluation apparatus and image forming apparatus |
| US9222833B2 (en) | 2009-03-30 | 2015-12-29 | Ricoh Company, Ltd. | Spectral characteristic obtaining apparatus, image evaluation apparatus and image forming apparatus |
| JP2013242260A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Olympus Corp | 蛍光検出装置および蛍光検出方法 |
| JP2015087185A (ja) * | 2013-10-29 | 2015-05-07 | 株式会社東芝 | 自動分析装置 |
| JP2018072279A (ja) * | 2016-11-04 | 2018-05-10 | ジオテクノス株式会社 | 分光装置および反射スペクトルの接合処理方法 |
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