JPH02310434A - 分光光度計 - Google Patents

分光光度計

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Publication number
JPH02310434A
JPH02310434A JP13323589A JP13323589A JPH02310434A JP H02310434 A JPH02310434 A JP H02310434A JP 13323589 A JP13323589 A JP 13323589A JP 13323589 A JP13323589 A JP 13323589A JP H02310434 A JPH02310434 A JP H02310434A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diffraction grating
mirror
measured
spectrometer
light
Prior art date
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Pending
Application number
JP13323589A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahito Koike
雅人 小池
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP13323589A priority Critical patent/JPH02310434A/ja
Publication of JPH02310434A publication Critical patent/JPH02310434A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は回折格子の絶対回折効率測定が可能な分光光度
計に関する。
(従来の技術) 回折格子で分光を行う場合、光のエネルギーは0次、1
次、2次等の各次数の回折光に分配され、O次回折光は
分光上無用なものであるので、エネルギーがなるべ(特
定の次数通常1次回折光に集中するように、反射回折格
子で格子溝の断面を鋸歯状にしたブレーズ反射回折格子
が用いられている。このような回折格子では、ブレーズ
回折を起す波長において最高の回折効率を示し、その波
長の両側で漸次回折効率が低下している。従って回折格
子の回折効率の波長特性とか回折効率の大きさ等は回折
格子の性能を表わす重要な因子である。
従来回折格子の絶対回折効率は、被測定回折格子と鏡と
を置き換えできる装置を用い、被測定回折格子に単色光
を入射させたときの回折光強度と、被回折格子の位置に
、被測定回折格子と同じ物質をコートした鏡を置いて同
じ光を入射させたときの反射光の強度との比により相対
回折効率を求め、それに上記鏡自身の反射率を掛けて絶
対回折効率を求めていた。つまり被測定回折格子への入
射光強度をi被測定しようとすると、回折光を測定する
ときとは異る光学系を使わねばならないから、回折格子
の所に鏡を用いて回折格子への入射光を回折光測定光学
系に導くことにより、入射光強度の測定を行っていた。
(発明が解決しようとする課題) 上述した鏡を用いる相対回折効率の測定法では銅の反射
特性が経時的に変化するため正確な回折効率の測定のた
めには測定の度毎に鏡の反射率測定を行う必要があるが
、鏡の反射率を測定する操作は甚だ繁雑である。従って
本発明は鏡を用いないで直接絶対回折効率が測定できる
装置を提供しようとするものである。
(課題を解決するための手段) 前置分光器と、同分光器の出射光が入射される主分光器
から構成され、主分光器において回折格子を着脱自在に
すると共に、回折格子位置から、主分光器の出射スリッ
トに至る光学系を、回折光が通る光学系と、それと鏡映
関係にある光学系の二つにより構成した。
(作用) 主分光器の回折格子が着脱自在であるから、そこに被測
定回折格子を置くことができる。そこで被回折格子を主
分光器に設置したときは各波長の光について回折光強度
が測定できる。次に主分光器から回折格子を取除いてし
まうと、主分光器への入射光は回折光の通る光学系と鏡
映関係にある光学系を通って出射スリットに至り測光さ
れるので、被測定回折格子への入射光の測光がなされる
。このときの光学系は被測定回折格子による回折光の光
路と鏡映関係にあって光学的に同等であるから、被測定
回折格子への入射光を同じ光学系で測定しているのと同
じであり、被測定回折格子を置いたときの測光出力を同
回折格子を取除いたときの測光出力で割れば直ちに絶対
回折効率が求まる。
(実施例) 図は本発明の一実施例装置を示す。図でMlは前置分光
器、M2は主分光器で、1は光源である。2は前置分光
器の入射スリット、3は前面分光器の回折格子、5.5
’は前置分光器の光路を構成する凹面鏡、2“は前置分
光器の出射スリットであると共に主分光器の入射スリッ
トでもある。4は主分光器の分散素子である回折格子で
着脱自在になっており、こ\に被測定回折格子を置くこ
とができる。6,6゛は主分光器の光路を構成する凹面
鏡で、回折格子4で回折された光を主分光器の出射スリ
ット20に導く光学系となっている。主分光器M2にお
いて、回折格子4の中心と出射スリット20の中心を結
ぶ線に関して上記凹面鏡6゛と鏡映関係の位置に凹面R
6’と同じ凹面鏡60が直かれ、この凹面鏡によって回
折格子4により回折された光を出射スリット20に導く
光学系と鏡映関係にある光学系が構成されている。7は
前面分光器Ml内に霞かれた偏光子である。8は主分光
器M2の出射スリット20の前面に置かれた回転ミラー
で0点を中心に図の紙面に垂直な軸により回転可能であ
り、凹面R6゛からの光を出射スリット20に導(かく
固点線位置)、60からの光を出射スリット20に導(
か(図実線位e)の切換えを行う。出射スリット20の
後方で9は測光素子である。
回折格子の絶対回折効率を測定するには、図の回折格子
4を取外し、ミラー8を図実線位置にして、前置分光器
M1の出射光波長をλ1.λ2・・・と変えながら、測
光素子9の出力PL、P2・・・を記録し、次に図の4
の所に被測定回折格子を面き、ミラー8を固点線位置に
し、前置分光器および主分光器の出射光を同じ波長λl
、λ2・・・に設定しながら測光素子9の出力D1.D
2・・・を記録し、その後、D1/P1.D2/P2・
・・を算出すれば波長λ1.λ2・・・における被測定
回折格子の絶対回折効率が求まる。この操作では波長を
λ1、λ2・・・ととびとびに変えているがもちろん連
続的に変えながら測定することも可能である。また凹面
鏡6゛と60とは位置を交換できるようにして、回折格
子を置かないとき、置いたとき、夫々において、凹面鏡
6°と60の位置を交換して二面ずつ測定した結果の平
均をとるようにすれば、凹面鏡6′と60の違いが消去
されて、測定精度は更に向上する。
この発明の装置は、凹面鏡60をなしにすると、通常の
ダブルモノクロメータと同じであり、従ってダブルモノ
クロメータとして用いることができることは云うまでも
ない。その他、回折格子4の所に反射率を測定したい試
料を置いて、主分光器を波長Oの位置にし、前置分光器
の出射光波長を変えながら上記試料の反射光を測定し、
次に試料を取除いて(ミラー8を実線位置にして)、同
じように各波長の光を測定して両側光データの比をとる
ことにより試料の絶対分光反射率を測定することもでき
る。更にこの実施例では凹面鏡6はスリット2゛の出射
光を平行にして回折格子4に入射させ、凹面鏡6oは平
行光束を出射スリット20に集光させるものであるが、
これらの鏡を、6の代りにスリット2°の出射光を回折
格子4の所に集光させる鏡に、また60の代りに回折格
子4の所に集光した光束を再びスリット20に集光させ
る鏡に代えて、回折格子4の所に試料を置けば試料の透
過率測定ができる。このような多様な用法は、回折格子
4が着脱自在で、そこに他の色々な物が置けることと、
主分光器内に回折光の光路と鏡映関係にある光路を構成
する光学系が設けられていることによる。
(発明の効果) 本発明分光光度計は上述したような構成で、簡単に回折
格子の絶対回折効率が測定できる他、色・うな測定が可
能になり、用途の広い分光光度計である。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例の平面図である。 Ml・・・前置分光器、M2・・・主分光器、1・・・
光源、4・・・着脱自在な回折格子、60・・・6゛と
鏡映関係にある凹面鏡、8・・・光路切換え用の回転ミ
ラー、9・・・測光素子。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 前置分光器と、同分光器の出射光が入射される主分光器
    とを備え、主分光器において、回折格子を着脱自在とす
    ると共に、同回折格子位置から主分光器の出射スリット
    に至る光学系を、回折光が通る光学系と、それと鏡映関
    係にある光学系の二つにより構成したことを特徴とする
    分光光度計。
JP13323589A 1989-05-26 1989-05-26 分光光度計 Pending JPH02310434A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13323589A JPH02310434A (ja) 1989-05-26 1989-05-26 分光光度計

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JP13323589A JPH02310434A (ja) 1989-05-26 1989-05-26 分光光度計

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Publication Number Publication Date
JPH02310434A true JPH02310434A (ja) 1990-12-26

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ID=15099870

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JP13323589A Pending JPH02310434A (ja) 1989-05-26 1989-05-26 分光光度計

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JP (1) JPH02310434A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010014538A (ja) * 2008-07-03 2010-01-21 Nikon Corp 回折性能測定装置
JP2010190621A (ja) * 2009-02-16 2010-09-02 Shimadzu Corp 回折効率測定器及び回折効率測定方法
CN103245487A (zh) * 2012-02-07 2013-08-14 中国科学院微电子研究所 一种测试透射光栅绝对衍射效率的方法

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010014538A (ja) * 2008-07-03 2010-01-21 Nikon Corp 回折性能測定装置
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