JPH0255726B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0255726B2 JPH0255726B2 JP55082601A JP8260180A JPH0255726B2 JP H0255726 B2 JPH0255726 B2 JP H0255726B2 JP 55082601 A JP55082601 A JP 55082601A JP 8260180 A JP8260180 A JP 8260180A JP H0255726 B2 JPH0255726 B2 JP H0255726B2
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- JP
- Japan
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- slit
- edge
- range
- width
- luminous flux
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000002798 spectrophotometry method Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/04—Slit arrangements slit adjustment
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光源の分光分布等を測定する分光器に
関し、スリツトを構成する２つのエツジを独立し
て動かし、一方のエツジのみが動いたときの測定
値の変化分を求めることにより測定精度を向上さ
せたものである。
関し、スリツトを構成する２つのエツジを独立し
て動かし、一方のエツジのみが動いたときの測定
値の変化分を求めることにより測定精度を向上さ
せたものである。
従来の分光器は基本的には第１図に示すように
プリズムあるいは回折格子などの分散子により分
散された光をスリツトを通すことにより単一の波
長の光をとり出すもので、波長の選択はスリツト
の移動によるものと、分散子の回転によるものと
がある。第１図ａは分散子にプリズムを用いたも
ので、図中の１は入射スリツト、２はレンズ、３
はプリズム、４はレンズ、５は射出スリツトであ
る。第３図ｂは分散子に回折格子を用いたもの
で、６は入射スリツト、７は凹面鏡、８は回折格
子、９は凹面鏡、１０は射出スリツトである。
プリズムあるいは回折格子などの分散子により分
散された光をスリツトを通すことにより単一の波
長の光をとり出すもので、波長の選択はスリツト
の移動によるものと、分散子の回転によるものと
がある。第１図ａは分散子にプリズムを用いたも
ので、図中の１は入射スリツト、２はレンズ、３
はプリズム、４はレンズ、５は射出スリツトであ
る。第３図ｂは分散子に回折格子を用いたもの
で、６は入射スリツト、７は凹面鏡、８は回折格
子、９は凹面鏡、１０は射出スリツトである。
ところでスリツト幅は波長の分解能を決める要
因となり一般にはできる限り小さくして使用され
る。しかし放電灯などに含まれる輝線スペクトル
は波長幅がきわめて狭いため、記録計等に連続記
録する場合にはあまり問題ではないが、一般には
何らかの間隔、あるいは特定位置について逐点測
定する場合が多く、測定点の設定方法は重要な意
味をもつ。またそのときのスリツト位置の設定誤
差は放射パワーの測定値に大きな誤差を生じる。
因となり一般にはできる限り小さくして使用され
る。しかし放電灯などに含まれる輝線スペクトル
は波長幅がきわめて狭いため、記録計等に連続記
録する場合にはあまり問題ではないが、一般には
何らかの間隔、あるいは特定位置について逐点測
定する場合が多く、測定点の設定方法は重要な意
味をもつ。またそのときのスリツト位置の設定誤
差は放射パワーの測定値に大きな誤差を生じる。
このため測定間隔すなわちスリツトの送り幅を
第２図に示すようにスリツト幅と等しくすること
により全波長にわたつてもれなく測定する方法を
用いる場合もある。
第２図に示すようにスリツト幅と等しくすること
により全波長にわたつてもれなく測定する方法を
用いる場合もある。
この場合の問題点として第３図に示すようにス
リツト幅と送り幅の相違、あるいは両エツジの平
行度不良等による測定のもれ、重複等があげられ
る。第３図において実線１１は最初のスリツト位
置を示し、点線１２は１ステツプ動かした後のス
リツト位置を示す。なおａはスリツト幅よりも送
り幅が大きくもれを生じている場合、ｂはスリツ
ト幅よりも送り幅が小さく重複を生じている場
合、ｃはスリツトの平行度が悪い場合、ｄはスリ
ツトのエツジの直線が出ていない場合を示す。
リツト幅と送り幅の相違、あるいは両エツジの平
行度不良等による測定のもれ、重複等があげられ
る。第３図において実線１１は最初のスリツト位
置を示し、点線１２は１ステツプ動かした後のス
リツト位置を示す。なおａはスリツト幅よりも送
り幅が大きくもれを生じている場合、ｂはスリツ
ト幅よりも送り幅が小さく重複を生じている場
合、ｃはスリツトの平行度が悪い場合、ｄはスリ
ツトのエツジの直線が出ていない場合を示す。
一般にスリツト幅は大きいものでも１mm以下
で、小さいものでは0.01mm程度の場合もあり、送
り幅をスリツト幅と完全に一致させることは因難
である。
で、小さいものでは0.01mm程度の場合もあり、送
り幅をスリツト幅と完全に一致させることは因難
である。
両エツジの平行度についてもスリツト幅が小さ
いもの程もれ、重複の影響が大きく、スリツトに
高い精度が要求される結果となる。
いもの程もれ、重複の影響が大きく、スリツトに
高い精度が要求される結果となる。
本発明はこのような問題に対し、たとえ精度の
悪いスリツトを用いても前述のような測定のも
れ、重複をおこすことなく正確に分光測光を行な
うことができるものである。
悪いスリツトを用いても前述のような測定のも
れ、重複をおこすことなく正確に分光測光を行な
うことができるものである。
以下、本発明の原理について説明する。
波長を選択するスリツト、すなわちシングルモ
ノクロメータにおいては射出スリツト、零分散型
ダブルモノクロメータにおいては中間スリツトを
構成する両エツジが独立して動く構造とし、第４
図に示すようにまずt1の状態で分光器出力光束を
測定し、次にスリツトの片側エツジ１３を固定し
たままもう一方のエツジ１４を適当な距離Δl1だ
け動かしたt2の状態で分光器出力光束を測定す
る。
ノクロメータにおいては射出スリツト、零分散型
ダブルモノクロメータにおいては中間スリツトを
構成する両エツジが独立して動く構造とし、第４
図に示すようにまずt1の状態で分光器出力光束を
測定し、次にスリツトの片側エツジ１３を固定し
たままもう一方のエツジ１４を適当な距離Δl1だ
け動かしたt2の状態で分光器出力光束を測定す
る。
t1とt2における測定値の差はエツジ１４が動い
た範囲１５を通過した光束に相当する。
た範囲１５を通過した光束に相当する。
次にエツジ１４を固定したままエツジ１３のみ
をΔl1′だけ動かしt3の状態にして測定する。
をΔl1′だけ動かしt3の状態にして測定する。
次に再度エツジ１３を固定してエツジ１４のみ
をΔl2だけ動かしてt4の状態で測定し、t3とt4の差
を求めればエツジ１４が動いた範囲１６を通過し
た光束が求まる。
をΔl2だけ動かしてt4の状態で測定し、t3とt4の差
を求めればエツジ１４が動いた範囲１６を通過し
た光束が求まる。
同様の動作をくり返し行なうことにより全波長
域にわたつてもれなく測定することができる。
域にわたつてもれなく測定することができる。
このとき、両エツジの平行度が悪い場合でも常
にエツジ１４が動いた範囲の光束を求める方式で
あるためもれや、重複は全く生じない。
にエツジ１４が動いた範囲の光束を求める方式で
あるためもれや、重複は全く生じない。
波長の分解能はΔlにより定まり、このΔlは理
論的にはスリツト幅には関係なくいくらでも小さ
くすることが可能であるので測定の分解能を高め
ることは容易である。
論的にはスリツト幅には関係なくいくらでも小さ
くすることが可能であるので測定の分解能を高め
ることは容易である。
第５図に本発明を応用した分光器の１例を示
す。
す。
図において１７は入射スリツトで、１８は入射
スリツトを通つた光を平行光にしてプリズム１９
に入射させるためのレンズで、２０はプリズム１
９から出た光を集光して中間スリツト面上に結像
させるためのレンズである。
スリツトを通つた光を平行光にしてプリズム１９
に入射させるためのレンズで、２０はプリズム１
９から出た光を集光して中間スリツト面上に結像
させるためのレンズである。
中間スリツトは独立して動くエツジ２１、およ
び２２で構成されておりそれぞれのエツジは駆動
部２３，２４により動かされる。
び２２で構成されておりそれぞれのエツジは駆動
部２３，２４により動かされる。
中間スリツトを通過した光は前記の光学系、す
なわち入射スリツト１７、レンズ１８、プリズム
１９、レンズ２０と対称に配置された光学系、レ
ンズ２５、プリズム２６、レンズ２７、射出スリ
ツト２８を通すことにより迷光を感じている。
なわち入射スリツト１７、レンズ１８、プリズム
１９、レンズ２０と対称に配置された光学系、レ
ンズ２５、プリズム２６、レンズ２７、射出スリ
ツト２８を通すことにより迷光を感じている。
測定は前述のように中間スリツトを構成してい
る２つのエツジ２１、および２２を交互に移動さ
せてゆき、どちらか一方のエツジが移動する前後
における出力光束の差を求めていくことにより行
なう。
る２つのエツジ２１、および２２を交互に移動さ
せてゆき、どちらか一方のエツジが移動する前後
における出力光束の差を求めていくことにより行
なう。
このように本発明は従来の分光器のスリツト部
をわずかに変更することにより測定精度を向上さ
せるとともに、測定の波長分解能を容易に高める
ことができるものである。
をわずかに変更することにより測定精度を向上さ
せるとともに、測定の波長分解能を容易に高める
ことができるものである。
第１図は従来の分光器の基本的な構成を表わす
図、第２図は光源の分光分布を測定する場合のス
リツト幅と送り幅の関係を示す図、第３図はスリ
ツト幅と送り幅が正しく一致していない状態の例
を示す図、第４図は本発明におけるスリツトの動
作を１ステツプずつ表わした図で、第５図は本発
明を応用した分光器の基本的構成を示す図であ
る。 １７……入射スリツト、１８……レンズ、１９
……プリズム、２０……レンズ、２１，２２……
エツジ、２３，２４……駆動部、２５……レン
ズ、２６……プリズム、２７……レンズ、２８…
…射出スリツト。
図、第２図は光源の分光分布を測定する場合のス
リツト幅と送り幅の関係を示す図、第３図はスリ
ツト幅と送り幅が正しく一致していない状態の例
を示す図、第４図は本発明におけるスリツトの動
作を１ステツプずつ表わした図で、第５図は本発
明を応用した分光器の基本的構成を示す図であ
る。 １７……入射スリツト、１８……レンズ、１９
……プリズム、２０……レンズ、２１，２２……
エツジ、２３，２４……駆動部、２５……レン
ズ、２６……プリズム、２７……レンズ、２８…
…射出スリツト。
Claims (1)
- １ 波長を選択するスリツトを構成する２つのエ
ツジＡおよびＢが独立して動く構造を有し、まず
一方のエツジＢのみを動かし、エツジＢが動く前
と後の分光器出力光束の差を求めることによりエ
ツジＢが動いた範囲内に含まれる光束を測定し、
次にエツジＢは固定したままで他方のエツジＡの
みを適当な距離だけ動かした後、再びエツジＢの
みを動かし、前回と同様に、エツジＢが動く前と
後の分光器出力光束の差を求めることによりエツ
ジＢが動いた範囲（前回の範囲に隣接）内に含ま
れる光束を測定するという動作を繰り返し行うこ
とを特徴とする分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8260180A JPS577523A (en) | 1980-06-17 | 1980-06-17 | Spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8260180A JPS577523A (en) | 1980-06-17 | 1980-06-17 | Spectrometer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS577523A JPS577523A (en) | 1982-01-14 |
| JPH0255726B2 true JPH0255726B2 (ja) | 1990-11-28 |
Family
ID=13778996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8260180A Granted JPS577523A (en) | 1980-06-17 | 1980-06-17 | Spectrometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS577523A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60135828A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-19 | Shimadzu Corp | 分光式測定装置 |
| US7170595B2 (en) | 2001-04-06 | 2007-01-30 | Renishaw, Plc | Optical slit |
-
1980
- 1980-06-17 JP JP8260180A patent/JPS577523A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS577523A (en) | 1982-01-14 |
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