JP2002090220A

JP2002090220A - マルチチャンネル分光器

Info

Publication number: JP2002090220A
Application number: JP2000282744A
Authority: JP
Inventors: Koji Masutani; 浩二増谷
Original assignee: MICRO SCIENCE KK; SOMA KOUGAKU KK
Current assignee: MICRO SCIENCE KK; SOMA KOUGAKU KK
Priority date: 2000-09-18
Filing date: 2000-09-18
Publication date: 2002-03-27

Abstract

(57)【要約】【課題】検出素子の数を増やすことなく測定波長領域
を広くすることができる実用的なマルチチャンネル分光
器を提供する。【解決手段】入射スリット１からの光が分散素子２に
より各波長毎に分散し、複数の検出素子３１を分散素子
２の分散方向に並べたアレイ型検出器３０に入射して各
波長毎の光の強さが検出される。入射スリット１は、分
散素子２への入射角がほぼ等しい角度ずつ異なる互いに
異なるようにして複数設けられている。各入射スリット
１には、出射端が分岐した光ファイバ９により光が導か
れて入射するとともに、各シャッタ８１〜８５が光の入
射を独立して制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願の発明は、光の強度を各
波長毎に分けて測定する分光器に関するものであり、特
に、異なる波長を同時に測定できるマルチチャンネルタ
イプの分光器に関するものである。尚、正確には、各波
長域毎の測定であるが、本明細書では単に「各波長」と
表現する。

【０００２】

【従来の技術】光の強度を各波長毎に分けて測定する分
光測定は、産業の各分野で盛んに行われている。例え
ば、材料分析の分野では、吸光度や光透過率等の光学特
性の分析に分光測定が盛んに利用されているし、新光源
の開発においては、光源の発光スペクトルを測定するこ
とが必須となっている。

【０００３】図５を使用して、このような分光測定を行
う従来の分光器の構成について説明する。図５は、従来
の分光器の概略構成を示す図である。図５に示す分光器
は、測定される光が入射する入射スリット１と、入射ス
リット１からの光を各波長毎に分散させる回折格子等の
分散素子２と、入射スリット１からの光を平行光にして
分散素子２に入射させる平行光用光学素子４１と、分散
素子２で分散された光を出射スリット１０に結像させる
結像用光学素子４２と、分散素子２で分散された光が出
射スリット１０を通って入射する検出器３と、検出器３
が検出した光の強度の信号を処理する不図示の信号処理
部と、不図示の信号処理部が処理した結果に基づいて測
定結果を表示する不図示の表示部等から主に構成されて
いる。

【０００４】被測定光は、入射スリット１を経て分散素
子２で各波長毎の光に分散し、これが出射スリット１０
を通って検出器３に入射する。検出器３は、各波長毎の
光の強度を電気信号に変換し、これが信号処理部で処理
され、その結果が表示部で表示される。

【０００５】前述した分光器は、単一チャンネルの分光
器（単色計）であり、一回の測定では特定の限られた波
長の光の強度が分かるのみである。異なる波長の光の強
度を同時に測定することはできない。例えば対象物の刻
々と変化する分光特性を調べたい場合や、フラッシュラ
ンプ等の非連続光源の発光スペクトルを調べたい場合等
では、複数波長の光強度測定を同時に行うことが好まし
いが、前述した分光器ではできない。

【０００６】一方、ダイオードアレイ等の検出素子を並
べたアレイ型受光器の開発により、一回の測定で異なる
波長の光強度測定が同時に行える分光器（本明細書では
マルチチャンネル分光器と呼ぶ）の開発が可能となって
きた。マルチチャンネル分光器は、出射スリット１０を
配置せず、出射スリット１０の位置（又はこれと光学的
に等価な位置）にアレイ型検出器を配置する。アレイ型
受光器の検出素子の配列方向は分散素子２が光を分散さ
せる方向と一致させる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述したマルチチャン
ネル分光器において、より広範な波長領域において１つ
の分光器で測定できることが望ましいが、検出素子のコ
スト等の問題から、測定波長領域を広げることには限界
がある。即ち、分解能を低下させずに測定波長領域を広
くするには、アレイを構成する検出素子の数を多くする
必要がある。しかしながら、検出素子には、ＰｂＳやＩ
ｎＧａＡｓといった高価な半導体材料を使用する場合が
多く、検出素子の数を多くすることは、検出器の価格を
上昇させ、最終的には、分光器のコストを大きく上昇さ
せる要因となる。特に、赤外域の測定用の場合、その傾
向が強い。

【０００８】検出素子の数を増やさずに測定波長領域を
広くする方法としては、幾つかの波長毎に分けて測定す
る方法がある。例えば、４００ｎｍ〜８００ｎｍの波長
の光を分光測定する場合、最初に４００〜６００ｎｍの
波長を測定した後、回折格子等の分散素子の角度を変
え、同じ検出器で次に６００〜８００ｎｍの波長の光の
分光測定を行うようにする。このようにすれば、検出素
子を増やさなくても、測定波長領域を広くすることはで
きる。

【０００９】しかしながら、上記方法では、分散素子の
角度を変えながら測定しているので、その点では従来の
分光器と同じである。つまり、純粋なマルチチャンネル
分光器とはいえない。すべての波長の光を同時にリアル
タイムで測定することは、この方法ではできない。ま
た、分散素子の角度を変える構成では、高精度の分散素
子の姿勢制御機構を必要とするし、また、毎回同じ条件
で測定ができているかという測定条件の再現性の点でも
問題が生じやすい。本願の発明は、かかる課題を解決す
るためになされたものであり、検出素子の数を増やすこ
となく測定波長領域を広くすることができる実用的な構
成を提供するという技術的意義を有する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本願の請求項１記載の発明は、測定される光が入射
する入射スリットと、分散素子で分散された光を入射さ
せて各波長毎の光の強さを検出する検出器とより成り、
検出器は、複数の検出素子を分散素子の分散方向に並べ
たアレイ型検出器であり、複数の波長の光の測定が同時
に行えるマルチチャンネル分光器であって、前記入射ス
リットは、前記分散素子への入射角が互いに異なるよう
にして複数設けられているという構成を有する。また、
上記課題を解決するため、請求項２記載の発明は、前記
請求項１の構成において、前記複数の入射スリットに
は、各々独立して開閉されるシャッタが設けられている
という構成を有する。また、上記課題を解決するため、
請求項３記載の発明は、前記請求項１の構成において、
前記複数の入射スリットには、出射端が前記入射スリッ
トの数だけ分岐した光ファイバが設けられており、この
光ファイバは、測定する光を導いて各入射スリットに入
射させるものであるという構成を有する。また、上記課
題を解決するため、請求項４記載の発明は、前記請求項
１の構成において、前記複数の入射スリットから光の前
記分散素子への入射角は、ほぼ等しい角度ずつ異なると
いう構成を有する。また、上記課題を解決するため、請
求項５記載の発明は、前記請求項１の構成において、前
記複数の入射スリットは前記分散素子による分散方向の
面である主平面を挟んで一方の側に配置され、前記アレ
イ型検出器は主平面を挟んで他方の側に配置されたファ
スティー・エバート形であって、前記複数の入射スリッ
トは、主平面に対して平行な方向に並べて配置されてい
るという構成を有する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態につ
いて説明する。図１は、本願発明の第一の実施形態のマ
ルチチャンネル分光器の概略構成を示す図である。図１
に示すマルチチャンネル分光器は、測定される光が入射
する入射スリット１と、入射スリット１からの光を各波
長毎に分散させる回折格子等の分散素子２と、入射スリ
ット１からの光を平行光にして分散素子２に入射させる
平行光用光学素子と、分散素子２で分散された光が入射
する検出器３０と、分散素子２で分散された光を検出器
３０の入射面に結像させる結像用光学素子と、検出器３
０が検出した光の強度の信号を処理する信号処理部５
と、信号処理部５が処理した結果に基づいて測定結果を
表示する表示部６等から構成されている。尚、図１で
は、見易さのため、エバート形の配置となっているが、
これに限られるものではない。

【００１２】本実施形態では、図１から分かる通り、平
行用光学素子と結像用光学素子には、一つの球面鏡７が
兼用されている。平行用光学素子は、球面鏡７の紙面内
上側部分（以下、コリメータ部）７１で構成されてい
る。入射スリットからの光は、コリメータ部７１で反射
し、平行光となるよう構成されている。即ち、入射スリ
ット１からコリメータ部７１までの光軸の長さが、コリ
メータ部７１の曲率半径のほぼ１／２に等しくなるよう
構成されている。

【００１３】結像用光学素子は、球面鏡７の紙面内下側
部分（以下、コンデンサ部）７２で構成されている。即
ち、球面鏡７からアレイ型検出器３０の受光面に達する
光軸の長さは、球面鏡７の曲率半径のほぼ１／２に等し
くなっている。結像用光学素子として機能するコンデン
サ部７２に入射する分散光は同様に平行光であるから、
コンデンサ部７２から反射した被測定光は、アレイ型検
出器３０の受光面に結ぶようになっている。

【００１４】分散素子２としては、反射型の回折格子２
１が使用されている。回折格子２１は、溝の長さ方向が
紙面に対して垂直に向くように配置されている。光を分
散させる回折格子２１の表面（以下、回折面）の中心
は、球面鏡７の中心軸（球面鏡７の反射面の中心と曲率
中心とを結んだ軸）上にほぼ位置している。尚、本実施
形態では、図１に示すように、紙面内の斜め上方から被
測定光が回折格子２１に入射し、斜め下方に分散しなが
ら出射する。回折格子２１による分散作用は紙面内に働
いているから、主平面（分散素子２の光分散作用が働く
方向の面）は紙面内である。

【００１５】検出器３０は、複数の検出素子を配列した
アレイ型（以下、アレイ型検出器と言い換える）となっ
ている。図２を用いてアレイ型検出器３０の検出素子の
構成について説明する。図２は、図１のマルチチャンネ
ル分光器におけるアレイ型検出器３０の検出素子の構成
について説明する平面概略図である。アレイ型検出器３
０は、細長い箱状の部材である。図２に示すように、ア
レイ型検出器３０は、多数の検出素子３１を横に並べた
構成である。個々の検出素子３１はアレイ型検出器３０
の幅方向に長い長方形の入射面を有し、アレイ型検出器
３０の長さ方向に並べられている。検出素子３１は、具
体的にはＩｎＧａＡｓフォトダイオード等が使用されて
いる。

【００１６】図１から分かるように、回折格子２１によ
って分散した各波長の光は、その波長に応じてアレイ型
検出器３０の特定の検出素子３１に入射するようになっ
ている。より具体的には、アレイ型検出器３０の各検出
素子３１は、入射スリット１に対して平行で入射スリッ
ト１と同じ向きに長い形状の方形である。そして、前述
したように、コンデンサ部７２は、分散する各波長の光
により入射スリット１の像を各検出素子３１に結像さ
せ、各波長の光が光電変換されるようになっている。

【００１７】さて、本実施形態のマルチチャンネル分光
器の大きな特徴点は、検出素子の数を増やすことなく測
定波長領域が広げられるように複数の入射スリット１を
設けている点である。以下、この点について説明する。
複数の入射スリット１は、図１に示すように、主平面２
０内の上側に配置されている。複数の入射スリット１
は、その長さ方向が主平面２０に垂直な方向に沿って一
列に配列されている。この配列方向は、回折格子２１の
拡散面の中心を通り、主平面内にある。そして、図１か
ら解るように、複数の入射スリット１は、各入射スリッ
ト１から出た光が分散素子２に入射する際、互いに異な
る角度で入射するようになっている。即ち、各入射スリ
ット１からの光の入射角をα_１、α_２、α_３、α_４、α
_５とすると、α_１≠α_２≠α_３≠α_４≠α_５である。

【００１８】また、各入射スリット１には、図１に示す
ように、シャッタ８１〜８５が設けられている。各シャ
ッタ８１〜８５は、不図示の駆動部により各々独立して
駆動されるようになっている。そして、シャッタ８１〜
８５を介して各入射スリット１に被測定光を入射させる
光ファイバ９が設けられている。光ファイバ９は、被測
定光を導く光ファイバ９である。光ファイバ９は、図１
に示すように、出射側が入射スリット１の数だけ分岐し
ている。分岐した各出射端は、入射スリット１を臨む位
置にそれぞれ配置されている。光ファイバ９は、本実施
形態ではライトガイドファイバであるが、イメージファ
イバ等の特別のものを使用しても良い。また、複数のビ
ームスプリッタにより入射光を分割するようにしても良
い。

【００１９】次に、図３を使用して、上記実施形態のマ
ルチチャンネル分光器の原理について説明する。図３
は、図１に示すマルチチャンネル分光器の原理を説明す
る図である。周知のように、回折格子を利用した分光測
定は、光の波長をλ、格子定数をｄ、回折格子の傾き角
をθ、回折格子２１への光の入射角をα、分散角（回折
格子なので以下、回折角と呼ぶ）をβとしたとき、以下
の関係が成立することを利用している。ｍλ＝ｄｃｏｓθ（ｓｉｎα＋ｓｉｎβ）…式（１） θ＝（α＋β）／２…式（２）

【００２０】式（１）において、ｍは次数である。回折
格子による分光測定は、次数ｍを特定して、異なった角
度でピークが現れる各波長の回折光の強度を測定するも
のである。通常の分光器では、θを変化させる（即ち、
回折格子の角度を変える）ことで、各波長毎の強さを測
定する。マルチチャンネル分光器では、θを固定し、各
βの光を受光する位置にそれぞれ受光素子が位置するよ
うアレイ型検出器を配置する。

【００２１】本実施形態のマルチチャンネル分光器で
は、図１から解るように、複数の入射スリット１からの
光は、各々異なった入射角αで入射する。このため、こ
の分だけ、測定波長領域を変えることができる。より具
体的に説明すると、本実施形態では、５つの入射スリッ
ト１が設けられている。５つの入射スリット１からの光
の入射角α_１、α_２、α_３、α_４、α_５のそれぞれにつ
いて、固定されたβにおいて、異なる波長λの光が得ら
れることを意味する。つまり、回折格子２１の角度を固
定した状態でも、アレイ型検出器３０の特定の１つの検
出素子には、５つ分の異なる波長の光が入射する。

【００２２】次に、レーザ光の分光強度を測定する場合
を例にして上記構成に係るマルチチャンネル分光器の動
作について、以下に説明する。例えば、新規なレーザー
光源の開発を行っており、そのレーザー光源の発光特性
を調べたい場合を想定する。レーザー光を、図１に示す
光ファイバ９の入射端に入射させ、分岐させた出射端か
ら出射させて各入射スリット１に入射させる。各入射ス
リット１を経た光は、コリメータ部７１により平行光に
なって回折格子２１に入射する。そして、回折格子２１
により、各波長毎に異なる角度で分散した後、アレイ型
検出器３０に入射する。そして、アレイ型検出器３０で
の光電変換により得られた信号が信号処理部５で処理さ
れ、その結果が表示部６で表示される。

【００２３】まず、最初は、全てのシャッタ８１〜８５
を開けて測定を行う。この場合、前述した説明から解る
ように、各検出素子からの信号には、各入射スリットか
らの光による信号が混ざっている。しかしながら、すべ
ての検出素子からの信号を見ることで、レーザーの発振
を確認することができる。次に、シャッタ８１のみを開
けた測定、シャッタ８２のみを開けた測定、…シャッタ
８５のみを開けた測定を順次行う。そして、表示部６に
おいて出力が確認された場合、その際に開であるシャッ
タ８１〜８５がどれであるかにより、測定波長領域が特
定される。従って、スリットアレイ型検出器３０からの
信号にその測定波長領域を当てはめることで、最終的に
レーザーの分光分布を得ることができる。このような分
光測定は、励起用レーザーでラマン散乱光を誘導放出さ
せる誘導ラマンレーザーの分光測定にも効果的である。

【００２４】上記構成及び動作に係る本実施形態のマル
チチャンネル分光器によれば、回折格子２１への入射角
が異なるよう複数の入射スリット１が設けられているの
で、検出素子３１の数を増やすことなく、測定波長領域
のより広い分光測定が行える。従って、用途が広く且つ
安価な分光器が提供される。また、回折格子２１の角度
を変えることなく測定が行えるので、高精度の角度制御
機構を用いることによるコスト上昇や、角度精度の低下
による測定の再現性の低下の問題からは無縁である。
尚、回折格子２１を、刻線数（溝の数）の多い別のもの
に変えることで、分解能を上げることも可能である。

【００２５】次に、本願発明の第二の実施形態について
説明する。図４は、第二の実施形態のマルチチェンネル
分光器の斜視概略図である。図４に示す第二の実施形態
は、光学系の構成が第一の実施形態と異なる。図１に示
すマルチチャンネル分光器の光学系は、エバート（Ｅｂ
ｅｒｔ）形と呼ばれる光学系の一種である。即ち、図１
において、主平面（分散素子による分散方向に沿った面
で回折格子２１の中心を通る面）は、紙面上である。そ
して、主平面上の回折格子２１の一方の側に入射スリッ
ト１があり、他方の側にアレイ型検出器３０が配置され
ており、一つの球面鏡７によって平行光用光学素子と結
像用光学素子が構成されている。

【００２６】一方、図４に示すマルチチャンネル分光器
は、ファスティー−エバート（Ｆａｓｔｉｅ−Ｅｂｅｒ
ｔ）形と呼ばれる光学系を使用しており、請求項５の発
明の実施形態に相当している。即ち、入射スリット及び
アレイ型検出素子３０は主平面２０上にはなく、主平面
２０を挟んで一方の側に入射スリット１が配置され、他
方の側にアレイ型検出素子３０が配置されている。この
ような構成によると、特開平１２−５５７３３号公報に
開示されているように、コマ収差の影響が少なくなるの
で、分解能や明るさの点でより優れた測定が行える。

【００２７】さらに、図４に示すように、ファスティー
−エバート形の場合、各入射スリット１を主平面２０に
平行な方向に並べて配置することができる。従って、球
面鏡７をそれほど大きくする必要がない等、光学系全体
をコンパクトにできるメリットがある。図４に示すよう
に、この実施形態では、各入射スリット１と球面鏡７の
間、及び、球面鏡７とアレイ型検出器３０の間に、反射
ミラー１００を設けている。この構成は、球面鏡７の焦
点距離を長くして収差の影響を少なくした場合でも、分
光器全体をコンパクトにできる技術的意義がある。

【００２８】尚、本願発明のマルチチャンネル分光器
は、前述したエバート形やファスティー−エバート形の
他、ツェルニー−ターナー（Ｃｚｅｒｎｙ−Ｔｕｒｎｅ
ｒ）形等の他の光学系を採用することもできる。また、
前述した各実施形態では、平面型の回折格子２１を使用
したため、平行光用光学素子及び結像用光学素子を使用
したが、凹面型の回折格子２１等を使用する場合、これ
らの光学素子は不要な場合がある。

【００２９】さらに、上記実施形態では、複数の入射ス
リット１の各々に独立開閉のシャッタ８１〜８５が設け
られたが、これは必ずしも必須の要件ではない。各入射
スリット１に選択的に光を入射させることができれば良
い。例えば、出射端が分岐していない通常の光ファイバ
９で被測定光を導き、出射端を各入射スリット１の付近
に順次配置するようにしても良い。但し、このような構
成に比べると、各シャッタ８１〜８５を独立して開閉す
る機構は、操作が簡単である。尚、シャッタ８１〜８５
は、入射スリット１の手前の光路上に設けられることは
必要はなく、入射スリット１から出た光を遮断するよう
にして設けても良い。

【００３０】また、出射端が入射スリット１の数だけ分
岐した光ファイバ９を用いることは、各入射スリット１
に光を入射させる光学系が簡略化できるメリットがあ
る。そして、任意の場所に光ファイバ９の入射端を持っ
ていって測定ができるので、操作性も高い。尚、上記実
施形態では、入射スリット１の数は５つであったが、６
つ又はそれ以上でもよい。また、２つ以上あれば、１つ
の場合に比べて測定波長領域が広くなる効果が得られ
る。また、入射スリット１の位置は、平行光用光学素子
の物点の位置であるが、これと光学的に等価な別の位置
に入射スリット１が配置されることが当然にあり得る。
さらに、分散素子２としては、前述した回折格子２１の
他、プリズム等でも良い。

【００３１】

【発明の効果】以上説明した通り、本願の請求項１記載
の発明によれば、入射スリットが、分散素子への光の入
射角が互いに異なるようにして複数設けられているの
で、検出素子の数を増やすことなく、測定波長領域のよ
り広い分光測定が行える。従って、用途が広く且つ安価
な分光器が提供される。また、分散素子の角度を変える
ことなく測定が行えるので、高精度の角度制御機構を用
いることによるコスト上昇や、角度精度の低下による測
定の再現性の低下の問題からは無縁である。また、請求
項２記載の発明によれば、上記効果に加え、複数の入射
スリットに各々独立して開閉されるシャッタが設けられ
ているので、操作が容易であるという効果がある。ま
た、請求項３記載の発明によれば、上記効果に加え、出
射端が入射スリットの数だけ分岐した光ファイバが設け
られているので、各入射スリットに光を入射させる光学
系が簡略化できるメリットがある。そして、任意の場所
に光ファイバの入射端を持っていって測定ができるの
で、操作性も高い。また、請求項４記載の発明によれ
ば、上記効果に加え、複数の入射スリットから光の分散
素子への入射角はほぼ等しい角度ずつ異なるので、波長
が均等に分割される。このため、信号処理が容易であ
り、精度の高い測定が行える。また、請求項５記載の発
明によれば、上記効果に加え、コマ収差の影響が少なく
なるので、分解能や明るさの点でより優れた測定が行え
る。また、各入射スリットを主平面に平行な別の平面に
並べて配置することができるので、光学系全体をコンパ
クトにできるメリットがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の第一の実施形態のマルチチャンネル
分光器の概略構成を示す図である。

【図２】図１のマルチチャンネル分光器におけるアレイ
型検出器３０の検出素子の構成について説明する平面概
略図である。

【図３】図１に示すマルチチャンネル分光器の原理を説
明する図である。

【図４】第二の実施形態のマルチチェンネル分光器の斜
視概略図である。

【図５】従来の分光器の概略構成を示す図である。

【符号の説明】

１入射スリット２分散素子２１回折格子３０アレイ型検出器３１検出素子５信号処理部６表示部７球面鏡７１コリメータ部７２コンデンサ部８１〜８５シャッタ９光ファイバ

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１２年１０月２日（２０００．１０．
２）

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

【手続補正４】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４】

【手続補正５】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2G020 BA02 BA03 BA05 CA02 CA04 CB04 CB42 CB43 CC04 CC43 CC44 CC48 CC49 CC63 CD06 CD13 CD14 CD24

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定される光が入射する入射スリット
と、入射スリットからの光を各波長毎に分散させる分散
素子と、分散素子で分散された光を入射させて各波長毎
の光の強さを検出する検出器とより成り、検出器は、複
数の検出素子を分散素子の分散方向に並べたアレイ型検
出器であり、複数の波長の光の測定が同時に行えるマル
チチャンネル分光器であって、前記入射スリットは、前記分散素子への入射角が互いに
異なるようにして複数設けられていることを特徴とする
マルチチャンネル分光器。
【請求項２】前記複数の入射スリットには、各々独立
して開閉されるシャッタが設けられていることを特徴と
する請求項１記載のマルチチャンネル分光器。
【請求項３】前記複数の入射スリットには、出射端が
前記入射スリットの数だけ分岐した光ファイバが設けら
れており、この光ファイバは、測定する光を導いて各入
射スリットに入射させるものであることを特徴とする請
求項１記載のマルチチャンネル分光器。
【請求項４】前記複数の入射スリットから光の前記分
散素子への入射角は、ほぼ等しい角度ずつ異なることを
特徴する請求項１記載のマルチチャンネル分光器。
【請求項５】前記複数の入射スリットは前記分散素子
による分散方向の面である主平面を挟んで一方の側に配
置され、前記アレイ型検出器は主平面を挟んで他方の側
に配置されたファスティー・エバート形であって、前記
複数の入射スリットは、主平面に対して平行な方向に並
べて配置されていることを特徴とする請求項１記載のマ
ルチチャンネル分光器。