JPS6053834A - レ−ザラマンマイクロプロ−ブ - Google Patents
レ−ザラマンマイクロプロ−ブInfo
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- JPS6053834A JPS6053834A JP16039083A JP16039083A JPS6053834A JP S6053834 A JPS6053834 A JP S6053834A JP 16039083 A JP16039083 A JP 16039083A JP 16039083 A JP16039083 A JP 16039083A JP S6053834 A JPS6053834 A JP S6053834A
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- JP
- Japan
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- light
- laser
- raman
- sample
- scattered light
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- Pending
Links
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/44—Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
-
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/65—Raman scattering
- G01N2021/653—Coherent methods [CARS]
- G01N2021/656—Raman microprobe
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、レーザラマンマイクロプローブに関り、特に
試料のラマンスペクトルを短時間で測定することができ
る１／−ザラマンマイクロプローブに関する。
試料のラマンスペクトルを短時間で測定することができ
る１／−ザラマンマイクロプローブに関する。
一般に、ラマン効果を利用して試料のラマンスペクトル
を測定するレーザラマンマイクロプローブは、試料から
反射されるｔノ−ザ反射光に起因する迷光によるラマン
散乱光測定障害を防止するため、分光を行なって単色光
を取り出すためのモノクロメータ分光度組を複数並設し
、波長走査を行ないながら光電子増倍管でラマン散乱光
を検出している。このため、ラマン散乱光の測定に長時
間、例えば１時間以上を費すと共に、複数のモノクロメ
ータ分光計の走査波長を精密に同期する必要があるため
、その調整に手間取ると言う問題点を有ｊ〜ていた。更
に前記測定に長時間を費すため、時間的経過により励起
レーザ光の強度変動が変動して測定ラマン散乱強度も変
動し、精密な測定が困難であると言う問題点も招いてい
た。
を測定するレーザラマンマイクロプローブは、試料から
反射されるｔノ−ザ反射光に起因する迷光によるラマン
散乱光測定障害を防止するため、分光を行なって単色光
を取り出すためのモノクロメータ分光度組を複数並設し
、波長走査を行ないながら光電子増倍管でラマン散乱光
を検出している。このため、ラマン散乱光の測定に長時
間、例えば１時間以上を費すと共に、複数のモノクロメ
ータ分光計の走査波長を精密に同期する必要があるため
、その調整に手間取ると言う問題点を有ｊ〜ていた。更
に前記測定に長時間を費すため、時間的経過により励起
レーザ光の強度変動が変動して測定ラマン散乱強度も変
動し、精密な測定が困難であると言う問題点も招いてい
た。
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を除去すること
であり、短時間で精密なラマンスペクトルを測定できる
レーザラマンマイクロプローブを提供することである。
であり、短時間で精密なラマンスペクトルを測定できる
レーザラマンマイクロプローブを提供することである。
前記目的を達成するために本発明によるレーザラマンマ
イクロプローブは、レーザ光を照射した試料から得られ
るレーザ反射光及びラマン散乱光の内、レーザ反射光を
減衰させた後にラマン散乱光を測定してう・マンスペク
トルを得ることを特徴とする。
イクロプローブは、レーザ光を照射した試料から得られ
るレーザ反射光及びラマン散乱光の内、レーザ反射光を
減衰させた後にラマン散乱光を測定してう・マンスペク
トルを得ることを特徴とする。
以下本発明の一実施例を図面を用いて詳細に説明する。
図は、本実施例によるレーザラマンマイクロプローブを
示す図である。
示す図である。
本実施例によるレーザラマンマイクロプローブは、大別
すると、試料７にレーザ光２を照射してラマン散光８を
得込と共に試料７をモニタスルレーザ照射モニタブロッ
ク１１］０と、該モニタブロック１００から得られたラ
マン散光８及びレーザ反射光９の内、主にレーザ反射光
９を減衰させる減衰ブロック２００と、該減衰ブロック
２００により入射されたラマン散光８を集光して回折格
子により波長分散することによりラマンスペクトルを測
定する測定ブロック６００とから構成される。前記レー
ザ照射モニタブロック１００は、励起用レーザ光源１と
、該光源１から照射されたｔ／−ザ光２全集光１／ンズ
４に反射する反射＠６と、該集光レンズ４にＪ：り集光
されたレーザ光２を対物ｌ／ンズ６を介して試料７に照
射すると共に、試ｆ４．７から反射された１／−ザ反射
光９及びラマン散乱光８を−に方へ透過する半Ｚ％鏡５
と、該レーザ反射光９ｆ：′Ａ過［〜て減光フィルタ１
１及び集光Ｌ／ンズ１２を介１７て試料モニタ１３ ＋
ｃ供給すると共にラマン散乱光８及び一部のレーザ反射
光７に反射して減衰ブロック２００に入射するパンドパ
スフ・ｒルタ１０とを備える。
すると、試料７にレーザ光２を照射してラマン散光８を
得込と共に試料７をモニタスルレーザ照射モニタブロッ
ク１１］０と、該モニタブロック１００から得られたラ
マン散光８及びレーザ反射光９の内、主にレーザ反射光
９を減衰させる減衰ブロック２００と、該減衰ブロック
２００により入射されたラマン散光８を集光して回折格
子により波長分散することによりラマンスペクトルを測
定する測定ブロック６００とから構成される。前記レー
ザ照射モニタブロック１００は、励起用レーザ光源１と
、該光源１から照射されたｔ／−ザ光２全集光１／ンズ
４に反射する反射＠６と、該集光レンズ４にＪ：り集光
されたレーザ光２を対物ｌ／ンズ６を介して試料７に照
射すると共に、試ｆ４．７から反射された１／−ザ反射
光９及びラマン散乱光８を−に方へ透過する半Ｚ％鏡５
と、該レーザ反射光９ｆ：′Ａ過［〜て減光フィルタ１
１及び集光Ｌ／ンズ１２を介１７て試料モニタ１３ ＋
ｃ供給すると共にラマン散乱光８及び一部のレーザ反射
光７に反射して減衰ブロック２００に入射するパンドパ
スフ・ｒルタ１０とを備える。
また、該減衰ブロック２００は、入射［７たラマン散乱
光８及びレーザ反射光９を反射しながら、その特性に従
ってレーザ反射光９を透過することにより、レーザ反射
光９を入射光陽゛に比して０８チまで減衰するバンドパ
スフィルタ１４及び１５とを持つ。更にｍ記測定ブロッ
ク３００は、入射したラマン散乱光８全集光１〜でシン
グルモノク０分光光度計１７の入射スリット１８上に結
像する集光レンズ１６と、入射したラマン散乱光８をコ
リメータミラ−１９により反射して回折格子２０により
波長分散し、コリメータミラー２１によってマルチチャ
ンネル検出器２２に結像するシングルモノクロメータ分
光計１７と、該マルチチャンネル検出器２２により検出
されたラマン散乱光をラマンスペクトルとして表示する
表示装置２３とを備えている。
光８及びレーザ反射光９を反射しながら、その特性に従
ってレーザ反射光９を透過することにより、レーザ反射
光９を入射光陽゛に比して０８チまで減衰するバンドパ
スフィルタ１４及び１５とを持つ。更にｍ記測定ブロッ
ク３００は、入射したラマン散乱光８全集光１〜でシン
グルモノク０分光光度計１７の入射スリット１８上に結
像する集光レンズ１６と、入射したラマン散乱光８をコ
リメータミラ−１９により反射して回折格子２０により
波長分散し、コリメータミラー２１によってマルチチャ
ンネル検出器２２に結像するシングルモノクロメータ分
光計１７と、該マルチチャンネル検出器２２により検出
されたラマン散乱光をラマンスペクトルとして表示する
表示装置２３とを備えている。
この様に構成されたレーザラマンマイクロプローブは、
レーザ照射モニタブロック１００カラ出力されるラマン
散乱光８及びレーザ反射光９の内、レーザ反射光９を減
衰ブロック２００により減衰後、ラマン散乱光８のみを
測定ブロック３００に入射してラマンスペクトルを測定
する。
レーザ照射モニタブロック１００カラ出力されるラマン
散乱光８及びレーザ反射光９の内、レーザ反射光９を減
衰ブロック２００により減衰後、ラマン散乱光８のみを
測定ブロック３００に入射してラマンスペクトルを測定
する。
この様に本実施例によるレーザラマンマイクロプローブ
は、試料７より反射されるレーザ反射光９を減衰させた
後、ラマン散乱光８を測定するため、モノクロメータ分
光計が１つで済み、従って、調整が容易のため測定時間
の大幅な短縮を行なうことができる。具体的には、従来
技術に比紋して、１／’ｌの測定時間にすることができ
る。寸だ、１つのモノクロメータ分光計で測定回１１ヒ
なため、装置の小型軽量化を計ることができる。更に、
短時間で測定できるため、励起レーザ光の強度が変化１
−ないうちに測定ができるため、：１′ｕ密なラマンス
ペクトル全測定することができる。測定中の試料７の状
態全試料モニタ１３で常時透視できるため、試料７の変
化等を迅速に知ることができる。
は、試料７より反射されるレーザ反射光９を減衰させた
後、ラマン散乱光８を測定するため、モノクロメータ分
光計が１つで済み、従って、調整が容易のため測定時間
の大幅な短縮を行なうことができる。具体的には、従来
技術に比紋して、１／’ｌの測定時間にすることができ
る。寸だ、１つのモノクロメータ分光計で測定回１１ヒ
なため、装置の小型軽量化を計ることができる。更に、
短時間で測定できるため、励起レーザ光の強度が変化１
−ないうちに測定ができるため、：１′ｕ密なラマンス
ペクトル全測定することができる。測定中の試料７の状
態全試料モニタ１３で常時透視できるため、試料７の変
化等を迅速に知ることができる。
以上述べた如く本発明によれば、試料より反射されるラ
マンｆｆ＋乱光及びレーザ反射光の内、レーザ反射光を
減衰後にラマン散乱光を測定するため、１つのラマン分
光光度計で短時間にラマンスペクトルの測定を行なうこ
とができる。
マンｆｆ＋乱光及びレーザ反射光の内、レーザ反射光を
減衰後にラマン散乱光を測定するため、１つのラマン分
光光度計で短時間にラマンスペクトルの測定を行なうこ
とができる。
添付図、ば、本発明によるレーザラマンマイクロプロー
ブの一実施例を示す図である。 １・・・励起用レーザ光源 ２・・・レーリ′光３・・
・反射鏡 ４・・・レーザ光集光レンズ ５・・・半Ｍ’Ｓ ６・・・対物レンズ７・・試料 ８
・・・ラマン散乱光 ９・・・レーザ反射光 １０・・・バンドパスフィルタ １１・・・減光フィルタ −２・・・集光レンズ１３・
・・試料モニタ １４・・・バンドパスフィルタ １５・・・バンドパスフィルタ １６・・・集光レンズ −１７・・・シングルモノクロメータ分光計１８・・・
入射スリット １９・・・ユリメータミラー２０・・・
回折格子 ２１・・・ユリメータミラー２２・・・マル
チチャンネル検出器 ２ろ・・・表示装置
ブの一実施例を示す図である。 １・・・励起用レーザ光源 ２・・・レーリ′光３・・
・反射鏡 ４・・・レーザ光集光レンズ ５・・・半Ｍ’Ｓ ６・・・対物レンズ７・・試料 ８
・・・ラマン散乱光 ９・・・レーザ反射光 １０・・・バンドパスフィルタ １１・・・減光フィルタ −２・・・集光レンズ１３・
・・試料モニタ １４・・・バンドパスフィルタ １５・・・バンドパスフィルタ １６・・・集光レンズ −１７・・・シングルモノクロメータ分光計１８・・・
入射スリット １９・・・ユリメータミラー２０・・・
回折格子 ２１・・・ユリメータミラー２２・・・マル
チチャンネル検出器 ２ろ・・・表示装置
Claims (1)
- レーザ光を試料に照射し、試料から得られるラマン散乱
光のラマンスペクトルを測定するレーザラマンマイクロ
プローブ〈おいて、レーザ光を照射した試料から得られ
るレーザ反射光及びラマン散乱光を入力とし、レーザ反
射光を減衰してラマン散乱光を出力する減衰手段と、該
減衰手段から出力されるラマン散乱光を測定する手段と
を備えることを特徴とするレーザラマンマイクロプロー
ブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16039083A JPS6053834A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | レ−ザラマンマイクロプロ−ブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16039083A JPS6053834A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | レ−ザラマンマイクロプロ−ブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6053834A true JPS6053834A (ja) | 1985-03-27 |
Family
ID=15713920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16039083A Pending JPS6053834A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | レ−ザラマンマイクロプロ−ブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6053834A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05223637A (ja) * | 1991-11-16 | 1993-08-31 | Renishaw Transducer Syst Ltd | 分光装置およびその操作方法 |
| US5689333A (en) * | 1988-12-22 | 1997-11-18 | Renishaw Plc | Spectroscopic apparatus and methods |
| WO2008097700A3 (en) * | 2007-01-29 | 2008-11-20 | Cambrius Inc | Chemical analyzer for industrial process control |
| US8179526B2 (en) | 2007-01-25 | 2012-05-15 | Renishaw Plc | Spectroscopic apparatus with dispersive device for collecting sample data in synchronism with relative movement of a focus |
| US8305571B2 (en) | 2007-05-03 | 2012-11-06 | Renishaw Plc | Spectroscopic apparatus and methods |
| JP2014524581A (ja) * | 2011-08-19 | 2014-09-22 | マルバーン インストゥルメンツ リミテッド | 微粒子のデュアルモード特徴付け |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5031007U (ja) * | 1973-07-12 | 1975-04-07 |
-
1983
- 1983-09-02 JP JP16039083A patent/JPS6053834A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5031007U (ja) * | 1973-07-12 | 1975-04-07 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5689333A (en) * | 1988-12-22 | 1997-11-18 | Renishaw Plc | Spectroscopic apparatus and methods |
| JPH05223637A (ja) * | 1991-11-16 | 1993-08-31 | Renishaw Transducer Syst Ltd | 分光装置およびその操作方法 |
| US8179526B2 (en) | 2007-01-25 | 2012-05-15 | Renishaw Plc | Spectroscopic apparatus with dispersive device for collecting sample data in synchronism with relative movement of a focus |
| WO2008097700A3 (en) * | 2007-01-29 | 2008-11-20 | Cambrius Inc | Chemical analyzer for industrial process control |
| US8077309B2 (en) | 2007-01-29 | 2011-12-13 | Applied Instrument Technologies, Inc. | Chemical analyzer for industrial process control |
| US8305571B2 (en) | 2007-05-03 | 2012-11-06 | Renishaw Plc | Spectroscopic apparatus and methods |
| JP2014524581A (ja) * | 2011-08-19 | 2014-09-22 | マルバーン インストゥルメンツ リミテッド | 微粒子のデュアルモード特徴付け |
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