JPS63183639A - 電子線記録再生方法 - Google Patents

電子線記録再生方法

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JPS63183639A
JPS63183639A JP1416287A JP1416287A JPS63183639A JP S63183639 A JPS63183639 A JP S63183639A JP 1416287 A JP1416287 A JP 1416287A JP 1416287 A JP1416287 A JP 1416287A JP S63183639 A JPS63183639 A JP S63183639A
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JP
Japan
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electron beam
disk
recording
cathode
rotating disk
Prior art date
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Pending
Application number
JP1416287A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiyuki Aida
会田 敏之
Hitoshi Ikeda
池田 整
Tomio Yaguchi
富雄 矢口
Shigeyuki Hosoki
茂行 細木
Keiji Takada
啓二 高田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP1416287A priority Critical patent/JPS63183639A/ja
Publication of JPS63183639A publication Critical patent/JPS63183639A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B9/00Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/16Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
    • G11B21/20Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
    • G11B21/21Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider

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  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、超高密度の記録が可能な電子線記録再生方法
に関するものである。
〔従来の技術〕
電気パルスの情報を記録再生する装置として。
磁気ディスクと光ディスクの装置が知られている。
これらの記録媒体は高密度化が進められているが、いず
れの場合でも、単位ピット当りの所要面積はIg”前後
が限界といわれている一記録密度で表示すると約101
ビツト/alである。しかしながら、情報化社会の進展
に伴いますます増大する情報量に対して、近年の記憶装
置では多量の情報記録を行うために、さらに高密度の記
録装置が必要とされている。この点、電子線記録は電子
線の径を0、IIImまで絞ることが可能であり、1ビ
ツトの所要面積を0.01.”前後、記録密度にすると
tolaピット/dまで高めることが本質的に可能であ
る。
上記の点から、 1970年代の後半には、電子線を用
いたファイルの研究が米国のGE社によって精力的に行
われた。GE社はアール・アンド・ディ・レビュ(R&
 D  Reviev )の1977年、第12頁から
第15頁に見られるようにlMOSメモリーを電子線で
書き込み、読み出し、消去する方法を開発した。その構
成は一種のブラウン管で、平面の熱陰極から発した電子
線を磁場と電場とで偏向して、フライ・アイ・レンズに
よる電子線の微小位置決めを利用して、ディスクに照射
する構成から成り立っている。しかし上記方法では、1
ビツトの所要面積が0.4X0.44”であり、ディス
クの大きさも1インチに限られた。そのため、アクセス
速度や転送速度が速い特長をもっているにもかかわらず
、記録容量が少ないため、実用化までには到らなかった
したがって、記録媒体搭載のディスクを回転する円盤形
とし、読み出しと書き込み用の電子線源がディスク上を
移動する方法にすれば、原理的に高密度で大容量の記録
が可能である。この方法は、磁気ディスクや光ディスク
とほぼ同様な構成である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記のように、従来技術により磁気ディスクや光ディス
クとほぼ同様な構成とした場合には、真空中でディスク
を回転しようとすると、板のぶれが大きく、電子銃とデ
ィスクの距離を一定に保ち、電界放出電流を一定に保つ
ことが大きな難問であった・ 本発明の目的は、記録媒体搭載のディスクと電子線発生
源の距離を一定に保たせ、放出電流の一定化を計り、微
細な電子線による書き込みや読み出しを安定して行うこ
とにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記目的は1回転するディスク面上にセクター部を配置
し、電界放出電流が一定になるように。
陰極に固着したピエゾ素子に伸縮駆動電圧を印加するこ
とにより達成される。
〔作  用〕
回転ディスクに対向して点状の電子線源を配置し、ディ
スクの回転に伴って生じる回転ディスクと陰極チップと
の距離変化を、上記陰極に固定したピエゾ素子の伸縮に
より補正させる。このため、ディスク面に配置したセク
ター部における電界放出電流が一定になるように、上記
ピエゾ索子に伸縮駆動電圧を印加して、回転ディスクと
陰極間の距離を一定に保つようにし、微細電子線をディ
スク上に安定して照射できるようにする。
〔実施例〕
つぎに本発明の実施例を図面とともに説明する。
第1図は本発明による電子線記録再生方法の一実施例を
示す概略図である。
実施例 1 書き込み方式 第1図において、ディスク1は6インチの舷板で、深さ
60n■、幅200nmのトラック溝2が加工してあり
、上記ディスク1の板上には0.1.のニトロセルロー
スと20rrn+のAu膜との2層からなる記録媒体が
被膜されている。上記記録媒体に、加速電圧5kV、放
出電流50n A、ビーム径o、t、φ、照射時間1μ
sのパルス電流を照射し0.27mφのピット4を設け
ることができた。これはビーム照射によって、上記ニト
ロセルロース層が200℃近くに熱せられて、爆発的に
消失したためである。
電子線の発生源としては、電界放出電流を引き出す総重
量的500gの小型電子銃5を用いた。上記小型電子銃
5には通常の引き出し電極と収束レンズとが内蔵されて
いる。上記小型電子銃5は、ディスク1上を機械的に平
行移動させ、所定のトラック溝2の所にアクセスできる
ようになっている。
上記小型電子銃5とディスク1との距離は5膓とした。
なお、電子線のトラッキングを行う必要上、パルス電流
3の照射以外にも、絶えず2nAの放出電流をトラック
溝2のところに照射した。ここで、ディスク1を真空中
で180Orpmの周波数で回転すると、大気中と異な
り板ぶれを生じ易く1円板の周辺部で最大157mの板
ぶれを生じた。しかし、上記板ぶれは小型電子銃5とデ
ィスク1との距離に比べて非常に小さいため、放射電流
に与える影響はほとんどなかった。
読み出し方式 読み出しの場合はアクセスを数十msの短時間にする必
要上、総重量が数十gの軽量電子銃6を使用する必要が
あるため、上記軽量電子銃6には電極やレンズを用いる
ことができない、上記の点から、陰極チップとディスク
との距離を0.5膓1m程度の短距離にしたことによっ
て、100vの低電圧印加で2X10’V/Qlの高電
界を発生することができ、特に引き出し電極を設けなく
ても、電界放出電流を得ることができる。読み出しの電
子線の照射条件は100V、2nAとした。この照射エ
ネルギーでは記録媒体に熱損傷を与えることはなかった
。記録媒体中に記録ピット4があると、陰極12とディ
スク1との距離は0,6−とニトロセルロース層の厚さ
0.1pだけ拡がり、その分だけ電界強度が弱まって放
出電流も低下した。上記放出電流の変化は、抵抗7を通
して読み取ることができた。
すなわち、ピットの有無が検知できる。しかし、上記方
法では、ディスク1を回転させることにより、陰極12
がディスク1の板ぶれによって直ちにディスク1に衝突
してしまうという問題があった。
そのため、上記回転ディスク1上にセクター部11を設
け、上記セクター部11における放出電流を一定にする
ことによって、ディスク1と陰極12との距離を一定に
保つようにした。上記セクター部11には情報ピット4
がなく、情報に関係がないマーカが設置してあり、回転
ディスク1と陰極12との距離をより安定に保持するた
め、通常は複数個所に設けるが、本実施例では6ケ所に
設置した。ここで、放出電流を2nAに抑えるため、抵
抗7の出力電圧が一定になるように、基準電圧に対する
差動電圧を増幅器8を通してピエゾ素子9に印加した0
本実施例では抵抗7の値をIOMΩとしたため基準電圧
を20+m Vとした。この場合、ピエゾ素子9は陰極
12に固着されており、抵抗7の出力電圧が一定になる
ように陰極12を持ち上げたり持ち下げたりして、陰極
12と回転ディスク1との距離を一定に保たせる役目を
する。上記ピエゾ素子9に対する印加電圧は、ピエゾの
伸び率が入力しであるサーボ回路10を通して行った。
このようにすることにより、ディスク1の板ぶれが15
−あっても、陰極12とディスク1との衝突を回避する
ことができた。セクター部11の間にあるピット4の読
み出しはμSの僅少時間で変化する電界放出電流を読み
とるか、 o、i−の距離変化にも追従する高速駆動の
ピエゾ素子をさらに設けて、上記ピエゾ素子に印加され
る電圧を読み取ってもよい。
実施例 2 上記実施例1では情報のピット4として、ニトロセルロ
ーズ膜に設けたピットを用いたが、下地のディスク1と
仕事関数が異なる物質の膜に設けられたピットでもよい
。この場合においても、陰極12と回転ディスク1との
間の電界強度が変化して、放出電流に変化を与えること
ができるためである。例えば、仕事関数が3.7eVの
All板の上に、仕事関数が5.2eVと高いAs膜を
10nmと薄く蒸着しておき、上記蒸着膜を書き込みパ
ルスで蒸発させて記録ピットを形成し、実施例1に記載
した読み出し方式で測定したところ、 10nmの高さ
以上に、AnとAsとの仕事関数の差に基づく放出電流
の変化が実測された。
実施例 3 上記実施例1では、書き込み方式に、引き出し電極と収
束レンズとを内蔵した小型電子銃5を使用したが、上記
小型電子銃5の代りに、読み出し方式について記載した
、陰極12にピエゾ素子9を固着させた軽量電子銃6を
用いても、轟然のことながら、情報信号に基づく記録ピ
ットの形成は可能であった。
〔発明の効果〕
上記のように本発明による電子線記録再生方法は、回転
ディスクに搭載した記録媒体面に対向して電子線発生源
を配置し、情報の書き込みまたは読み出しを行う電子線
記録再生方法において、上記回転ディスク面に配置した
セクター部の電界放出電流が一定になるように、上記電
子線発生源の陰極に固着したピエゾ素子に伸縮駆動電圧
を印加することにより、上記回転ディスクと陰極間の距
離を一定に保つことが可能となり、微細な電子線を回転
ディスク上に安定して照射することができるため、従来
のディスクを固定した電子線偏向の電子線ファイルと異
なり、1010ビツト/jの高密度で、1013ビツト
/6インチディスクの大容量記録を行い、または読み出
すことが可能である6
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による電子線記録再生方法の一実施例を
示す概略図である。 1・・・回転ディスク   5・・・小型電子銃6・・
・軽量電子銃    9・・・ピエゾ素子11・・・セ
クター部    12・・・陰極矛1 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、回転ディスクに搭載した記録媒体面に対向して電子
    線発生源を配置し、情報の書き込みを行う電子線記録再
    生方法において、上記回転ディスク面に配置したセクタ
    ー部の電界放出電流が所定の値になるように、上記電子
    線発生源の陰極に固着したピエゾ素子に伸縮駆動電圧を
    印加し、上記回転ディスクと陰極間の距離を一定に保つ
    ことを特徴とする電子線記録再生方法。 2、上記情報の書き込みは、一定の電界放出電流に、情
    報信号に基づく高圧パルスを印加しパルス電流を重ねる
    ことにより、上記記録媒体に物理的または化学的に相変
    化したピットを形成することを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の電子線記録再生方法。 3、回転ディスクに搭載した記録媒体面に対向して電子
    線発生源を配置し、情報の読み出しを行う電子線記録再
    生方法において、上記回転ディスク面に配置したセクタ
    ー部の電界放出電流が所定の値になるように、上記電子
    線発生源の陰極に固着したピエゾ素子に伸縮駆動電圧を
    印加し、上記回転ディスクと陰極間の距離を一定に保つ
    ことを特徴とする電子線記録再生方法。 4、上記情報の読み出しは、上記記録媒体における情報
    ピットの凹凸あるいは仕事関数の変化を、電界放出電流
    の変化により検知することを特徴とする特許請求の範囲
    第3項記載の電子線記録再生方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002059880A3 (en) * 2001-01-25 2002-12-19 Seagate Technology Llc Integrated electrostatic slider fly height control

Cited By (2)

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WO2002059880A3 (en) * 2001-01-25 2002-12-19 Seagate Technology Llc Integrated electrostatic slider fly height control
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