JPS63285735A - 電子線ディスク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 電子線ディスクの記録容量を増すために電子線ディスク
の回転装置を中央処理装置からの信号により直線移動さ
せ、情報処理位置を電子ビーム照射位置に位置合わせす
る構成をとる電子線ディスク装置。

〔産業上の利用分野〕

本発明は電子線ディスク装置の構成に係り、特に大容量
化のための駆動装置の構成に関する。

大量の情報記録を行うファイルメモリとして、磁気ディ
スクや光ディスクが知られている。

こ＼で、記録密度について比較すると、１ビツトの情報
記録に要する面積として磁気ディスクが数１０〜数１０
０μｍ　ｇの面積を要するのに対し、光ディスクは約１
μ僧２の面積で済むため高密度記録が可能となる。

一方、光の代わりに電子線を用いる場合は、電子レンズ
によりビーム径を０．１　μｍ以下にまで集束できるの
で１ビツトの面積が一段と少なくて済み、従って高密度
記録が可能となる。

〔従来の技術〕

発明者は電子線記録装置およびこれに使用する記録媒体
について数件の出願を行っている。

例えば記録装置については特願昭６ｌ−１００１０５（
昭和６１年４月３０日出願）、記録媒体に就いては特願
昭６１−２８８０５７　（昭和６１年１２月２日）など
。

発明者が提案している記録装置の特徴はディスク基板上
に形成されている記録媒体に集束した電子線を情報に応
じて照射し、光メモリと同様に穴開けを行い、穴の有無
により情報を記録するものである。

こ＼で、電子線記録は集束した電子線の照射により、被
照射部の記録媒体が局部的に蒸発することにより基板面
が現れ、これにより二次電子発生効率に差を生ずるか、
或いは局部的に溶融して変形し、分厚いリム（Ｒｉｍ）
を形成するか、或いは相変化を生ずることなどにより、
電子線照射部と非照射部との間の二次電子発生効率に差
を生ずることを利用して情報の検出を行うものである。

第２図は従来の電子線記録装置の構成を示すもので、電
子銃１とビーム電流制御系２を備えた電子銃室３と、電
子ビーム集束系４と偏向器５を備えた電磁光学系室６と
モータ７により回転する電子線ディスク８と二次電子検
出器９を備えたディ′スク室１０とから構成されており
、それぞれ独立した排気系をもち、特に電子銃室３は高
真空排気ができるように構成されている。

そしてビーム電流制御系２により電子銃１から引き出さ
れた電子は電子ビーム集束系４により約０．１μｍ程度
にまで集束された後、偏向器５に加える信号により直線
状或いは同心円状に走査させ、電子線ディスク８を照射
している。

第２図は電子線ディスク８をモータ７により回転させる
場合で、この場合は電子ｖＡ１１を電子線ディスク８の
中央より外周に向は直線状に走査することにより同心円
状に情報を記録することができる。

また、電子線ディスク８を固定し、偏向器５により電子
線１１を同心円状に走査させても同様に情報を記録する
ことができる。

然しながら、か−る電子線記録装置の問題は電子線の走
査範囲が狭いことである。

例えば加速電圧３０　ＫＶで径０．１μｍに集束させた
電子線の走査可能領域は径５００μｍ程度と狭く、その
ため記録容量を増すことができない。

一方、ビーム径を大きくすれば、走査可能領域は増すが
、それでは記録密度を増大させる目的には逆行すること
になる。

これらのことから光ディスクと同程度或いはこれ以上に
記録容量を増すためには何等かの対策が必要であった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

電子線は電子レンズによりビーム径を０．１　μｍ以下
にまで集束できるので、１ビツトの情報記録に要する面
積は０．０１８ｍ　２程度で足り、記録密度の高い光デ
ィスクの１ビツトの所要面積が約１μｍ２であるのに較
べて塩かに高密度記録が可能となる。

然し、電子線の走査可能領域が狭く、そのため大容量記
録ができないことが問題で、これを打開することが課題
である。

〔問題点を解決するための手段〕

′上記の問題は電子線ディスクの回転装置を中央処理装
置からの信号により直線移動させ、情報処理位置を電子
ビーム照射位置に位置合わせする構成をとる電子線ディ
スク装置により解決することができる。

〔作用〕

本発明はモータにより回転する電子線ディスクを電子線
照射部に直線状に移動させることにより大容量化を実現
するものである。

すなわち°、先に記したように電子線ディスクへの情報
の記録方法として回転している電子線ディスクの中央よ
り外周に向けて直線状に走査することにより同心円状に
情報記録を行うことができるが、本発明はこれを更に拡
張して回転装置（この場合はモータ）を記録情報に同期
させて直線状に移動させることにより光ディスクや磁気
ディスクと同様に大面積のディスク基板に情報記録を行
うことができ、これにより大容量記録を可能とするもの
である。

〔実施例〕

第１図は本発明に係る電子線ディスク駆動回路のブロッ
ク図であって中央処理装置１３からの信号により処理情
報に同期させてビーム偏向器１４゜ディスク回転装置１
５を駆動し、また電子線ディスク１６の回転速度を制御
するものである。

すなわち、ビーム偏向器制御回路１７によりビーム偏向
器１４は径０．１　μｍに集束した電子線１１を径５０
０μｍの範囲で走査し、電子線ディスク１６へ情報の書
込みを行う。

この際、電子線ディスク１６から二次電子線が発生する
が、これを二次電子検出器１Ｂを用いて検出し、四分割
ディテクタなどの信号検出回路１９で得た信号をトラッ
ク位置信号読み出し回路２０でトラックからの位置ずれ
を検出し、自動焦点サーボを行う。

なお、記録情報の読み出しは二次電子検出器１８で検出
した信号を用いて行われている。

次に電子線ディスク１６の回転はディスク回転制御回路
２１からの信号によりディスク回転装置１５が駆動する
ことにより行われているが、このディスク回転装置１５
はディスク駆動制御回路２２がらの信号によりディスク
駆動装置２３が動作して直線状に伸縮することにより行
われている。

このような方法をとることにより、電子線１１は径約５
００μｍの走査可能範囲を保持しながら直線状に移動す
ることができ、これにより電子線ディスク１６の上に同
心円状に形成されている多数のトラックに沿って広範囲
に情報の書込みを行うことができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、広い面積をもつ電子線ディスクに対し
ても同心円状に電子線照射をすることが可能となり、こ
れにより記録密度が大きく且つ大容量の電子線ディスク
装置を実用化することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る電子扉ディスク駆動回路のブロッ
ク図、 第２図は電子線記録装置の構成図、 である。 図において、 １は電子銃、　　　　　８．１６は電子線ディスク、１
１は電子線、　　　　　１３は中央処理装置、１４はビ
ーム偏向器、　　１５はディスク回転装置、１８は二次
電子検出器、 ２１はディスク回転制御回路、 ２３はディスク駆動装置、 である。 代理人　弁理士　井桁　貞−１］。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ディスク基板上に形成した記録媒体に情報に応じて電子
   線を照射し、該記録媒体を物理的或いは化学的に変化せ
   しめて記録を行う記録装置において、 電子線ディスク（１６）を駆動するディスク回転装置（
   １５）を中央処理装置（１３）からの信号により直線移
   動させ、情報処理位置を電子線照射位置に位置合わせす
   る構成をとることを特徴とする電子線ディスク装置。