JPS63178432A - イオン・ビ−ム銃 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はイオン・ビーム露光用の大面積平行イオン・ビ
ーム銃の構造に関する。

〔従来の技術〕

従来、イオン・ビーム銃は、極めて細いＷ線先端から細
いイオン・ビームを放射する構造をとるのが通例であっ
た。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、上記従来技術によると、大面積で大イオン電流
かつ平行性の良いイオン・ビームを得るのが困蝋であり
、イオン・ビーム露光をステップ・アンド・リピートで
行なう際に、生産性が劣るという問題点があった。

本発明は、かかる従来技術の問題点をなくし、大面積で
大イオン電流が得られ、且つ平行性の良いイオン・ビー
ム銃の構造を提供する事を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点を解決するために、本発明は、イオン・ビー
ム銃に関し、少くともガス・プラズマ室からの平行イオ
ン・ビーム引出し口には単結晶材料膜を設ける手段をと
る。

〔実施例〕

以下、実施例により本発明を詳述する。

第１図は本発明の実施例を示す大口径イオン・ビーム銃
構造を示す模式図である。すなわち、石英又はアルミナ
から成るプラズマ容器１には、高周波をプラズマ容器内
ガスに印加するＲＩＦ電極２がａ　ｙ　電６１５と連結
されて投首されると共に、ガス導入口４と内部圧力を低
下させる真空引きのための真空引口５に設置され、更に
、プラズマ容器１内には、プラズマ中のイオンを加速す
るためのアルミニウム等から成るｉＩＯ速電極電極６Ｊ
Ｏ速電源７と連結して設けられ、該加速電極に対向して
、例えば１μｍ厚程度の８１単結晶暎等から成る単結晶
膜８が貼付けられて成り、該単結晶膜８からは、プラズ
マ容器内からのカロ速されたイオンが単結晶格子により
、一方向に整列されて、いわゆるチャンネリング現象に
より引出されて成る。尚引出されたイオンを更に加速す
る事も可能である。

〔発明の効果〕

本発明の如く、単結晶材料膜からのイオン・ビーム引出
し方式を用いることにより、方向が整列されたイオンが
大電流で且つ大口径で引出すことが出来る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す大口径イオン・ビーム
銃構造の模式図である。 １・・・・・・・・・プラズマ容器 ２・・・・・・・・・ＲＦ電極 ３・・・・・・・・・Ｒ７電源 ４・・・・・・・・・ガス導入口 ５・・・・・・・・・真空引口 ６・・・・・・・・・加速′電極 ７・・・・・・・・・加速′は源 ８・・・・・・・・・単結晶膜 以　　上 出願人　セイコーエプソン株式会社 代理人　弁理士最上務（他１名）パ ・、Ｌ′シ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 少くともガス、プラズマ室からの平行イオン・ビーム引
   出し口には単結晶材料膜が設けられている事を特徴とす
   るイオン・ビーム銃。