JPS6317260A - 均質なド−プ剤含有窒化珪素物品を製造する方法 - Google Patents

均質なド−プ剤含有窒化珪素物品を製造する方法

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JPS6317260A JP61172916A JP17291686A JPS6317260A JP S6317260 A JPS6317260 A JP S6317260A JP 61172916 A JP61172916 A JP 61172916A JP 17291686 A JP17291686 A JP 17291686A JP S6317260 A JPS6317260 A JP S6317260A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は、セラミック物品を製造する方法に関するもの
であり、特には焼結用添加剤を均質に分散せしめた窒化
珪素物品を製造する方法に関する。
セラミック処理における主たる問題は、ハイテク用途に
好適な所要の性質を有するセラミック物品を再現性良く
且つ高い信頼性の下で作製しうることである。材料性質
の再現性の欠如は特定ミクロ組織の発現を管理しえない
ことにある。ミクロ組織は、焼結材料に対しては、出発
粉末の特性、生の圧粉体ミクロ組織並びに焼結及び粗化
プロセスに依存する。焼成中起るプロセスについて多く
の意義ある研究が為されてきたけれども、多くの研究者
は、焼結中発現するミクロ組織は粉末特性及び生のミク
ロ組織によりおおよそ決定されるものと信じている。従
って、一層強力なそして一層信頼性のあるセラミックを
得る為の錦となる因子は、破損につながる傷や空洞をほ
とんど生じないような新たな処理技術の開発にある。
発明の概要 本発明に従えば、焼結用添加剤を均質に分散せしめた窒
化珪素物品を製造する為の新たな方法が提供され、これ
は次の段階を包含する:段階1−窒化珪素粒子を焼結用
添加剤の溶液中に分散せしめて窒化珪素、焼結用添加剤
スラリを形成すること、 段階2−水酸化アンモニウム溶液を窒化珪素、焼結用添
加剤スラリに添加してゲルを形成すること、 段階3一段階2からの生成物をろ過すること、段階4一
段Fa3からの生成物を水洗すること、段カ5一段階4
からの生成物を乾燥すること、段N6一段階5からの生
成物を焼結添加剤を焼結添加剤酸化物に変換するに充分
な温度で焼成すること、 段階7一段階6からの生成物を窒化珪素物品に成形する
こと、 段階8一段階7からの生成物を理論密度の99%を越え
る密度を有する高密化窒化珪素物品を形成するに充分な
温度で無加圧焼結すること。
本発明を、PY6と表示される6 wlo Y203を
配合した5isN4基セラミツク及びAY6と表示され
る6 wlo Y2O3及び2w10A120gを配合
したSi3N4基セラミックの2種類を例にとって説明
する。しかし、本発明処理技術は酸化物が焼結用添加剤
として使用される他の系にも応用しうる。
粉末処理 コロイド分散系 本方法は、分散したSi3N4粒子上へ水酸化アルミニ
ウム及び水酸化イツトリウムを羊の対応する硝酸塩溶液
から析出させることを基本原理としている。
予備粉砕処理(ミリング)された窒化珪素粉末5CL8
9りを99.6 mgの脱イオン水及び14gのくえん
酸アンモニウム中に分散せしめてスラリを形成した。2
5−の硝酸イツトリウム原液と25−の硝酸アルミニウ
ム原液を上記スラリに添加した。原液は、硝酸塩として
五319gのy、 o、そして硝酸塩として1106g
のA1.Osを与えるよう調製された。総容量が説イオ
ン水を使用して200−まで増加されそしてスラリは超
音波セルディスラブターを使用して30分間均質化され
た。
I N  NHa OHをイツトリウム及びアルミニウ
ムの水酸化物を析出せしめる為滴下状態で添加した。
最終pHは9.0であった。最終スラリをろ過しそして
可溶性硝酸塩を除去する為脱イオン水で洗浄した。洗浄
フィルタケーキを110’Cで一晩乾燥した。乾燥ケー
キをS i 3 N4粉砕媒体を使用して24時間ボー
ルミル処理した。生成粉末を400〜500℃で仮焼し
て水酸化物をそれらの相当する酸化物に分解した。粉末
の形態特性をSTEM化学的像映技術により解析した。
その結果、各S1.N、粒は焼結用添加剤酸化物により
均一に被覆されていた。酸化物被覆は全般的に5lsN
4粒子の縁に局在していた◇同様の粉末形態特性がSi
3N4分散体のpHをz5〜8.0に調整することによ
りAI(OH)s及びY(OH)sをそれらの相当硝酸
塩溶液から部分析出せしめ、続いて450℃で4時間仮
焼することによって得られた。
1009の予備粉砕窒化珪素粉末(ロツ)SN66)を
IN  NH4OH250−中に分散せしめ、混合物を
15分間超音波処理した。6.389のY、 osを与
える硝酸イツトリウム原液4 tL4dを5laN4分
散体に添加しそして均質な混合を保証するようもう15
分追加超音波処理した。ゼラチン状スラリのpHは95
であった。噴霧乾燥工程に先立って粘度を減する為スラ
リを脱イオン水で800ゴに希釈した。希釈スラリを2
00 d/hrの供給量において190〜200℃で噴
霧乾燥した。その後、粉末を450℃において3時間焼
成した。イオンカップリングプラズマ技術による粉末の
化学分析は5.97 vloのY2O3を示した。
成形 焼成粉末をWC製ダイにおいて210 MN/m”(3
o、ooopatg)において125箇直径の小さなペ
レットにプレスした。また、17 oMN/m(25,
0OOpair)における等圧プレスによっても作製し
た。プレス物品は、理論値の約65〜67%の生の密度
を有した。
焼結 Ar1及びPN2のプレス物品はその後、200psi
N2過剰圧を使用してAr1に対しては約1760℃そ
してPN2に対しては1860℃で焼結した。これとは
対照的に、従来処理粉末は、Ar1に対しては1850
℃でそしてPN2に対しては1900〜1950℃で焼
結せねばならなかった。焼結手順は、先ず1400℃に
加熱しそしてその温度で1時間保持することから始め、
続いて1760℃に追加加熱しそしてその温度に2時間
保持し、その後室温に冷却した。生成物品は理論値の9
8%を越える密度を有した。
以上、具体例を説明したが、本発明の範囲内で多くの改
変を為しうろことを銘記されたい。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)高密化窒化珪素物品を製造する方法であつて、段階
    1−窒化珪素粒子を焼結用添加剤の溶液中に分散せしめ
    て窒化珪素、焼結用添加剤ス ラリを形成すること、 段階2−水酸化アンモニウム溶液を窒化珪素、焼結用添
    加剤スラリに添加してゲルを形成 すること、 段階3−段階2からの生成物をろ過すること、段階4−
    段階3からの生成物を水洗すること、段階5−段階4か
    らの生成物を乾燥すること、段階6−段階5からの生成
    物を焼結添加剤を焼結添加剤酸化物に変換するに充分な
    温度で 焼成すること、 段階7−段階6からの生成物を窒化珪素物品に成形する
    こと、 段階8−段階7からの生成物を理論密度の99%を越え
    る密度を有する高密化窒化珪素物 品を形成するに充分な温度で無加圧焼結 すること を包含する方法。
JP61172916A 1985-08-01 1986-07-24 均質なド−プ剤含有窒化珪素物品を製造する方法 Pending JPS6317260A (ja)

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