JPS6317156Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6317156Y2 JPS6317156Y2 JP1982087495U JP8749582U JPS6317156Y2 JP S6317156 Y2 JPS6317156 Y2 JP S6317156Y2 JP 1982087495 U JP1982087495 U JP 1982087495U JP 8749582 U JP8749582 U JP 8749582U JP S6317156 Y2 JPS6317156 Y2 JP S6317156Y2
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- JP
- Japan
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- electrodes
- center electrode
- external electrodes
- voltage
- electrode
- Prior art date
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- Expired
Links
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Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(a) 考案の技術分野
本考案は静電型電子レンズに係り、特にユニポ
テンシヤル型静電レンズの改良に関する。
テンシヤル型静電レンズの改良に関する。
(b) 従来技術と問題点
イオンビーム等荷電粒子を集束させるために使
用されるユニポテンシヤル型静電レンズは、第１
図に見られるように３枚の電極から構成されてい
る。即ち、外部電極１，１′及び中心電極２は軸
対称な形状を有する。外部電極１，１′は同一電
位とされ、外部電極１，１′と中心電極２とは絶
縁体３により互いに絶縁され、両者の間には所定
の電圧が印加されている。この印加電圧の極性は
荷電ビームの用途によつて決定される。レンズ作
用は上記両者の間に印加された電位差によつて得
られる。
用されるユニポテンシヤル型静電レンズは、第１
図に見られるように３枚の電極から構成されてい
る。即ち、外部電極１，１′及び中心電極２は軸
対称な形状を有する。外部電極１，１′は同一電
位とされ、外部電極１，１′と中心電極２とは絶
縁体３により互いに絶縁され、両者の間には所定
の電圧が印加されている。この印加電圧の極性は
荷電ビームの用途によつて決定される。レンズ作
用は上記両者の間に印加された電位差によつて得
られる。
有効なレンズ作用を得るためには、この電位差
を、集束せしめるべき荷電ビームの加速電圧に近
い値とすることが必要である。
を、集束せしめるべき荷電ビームの加速電圧に近
い値とすることが必要である。
従つて荷電ビームの加速電圧が高い場合には、
中心電極２に印加する電圧を上げる必要がある。
しかながら、中心電極２に印加出来る電圧は、通
常20〔kV〕から50〔kV〕の範囲にある。その理由
は、これ以上の電圧を印加すると中心電極２と外
部電極１，１′の間で異常放電が発生するためで
ある。従つて加速電圧の高い荷電ビームの集束に
対してはこの構造の電子レンズは使用出来なかつ
た。
中心電極２に印加する電圧を上げる必要がある。
しかながら、中心電極２に印加出来る電圧は、通
常20〔kV〕から50〔kV〕の範囲にある。その理由
は、これ以上の電圧を印加すると中心電極２と外
部電極１，１′の間で異常放電が発生するためで
ある。従つて加速電圧の高い荷電ビームの集束に
対してはこの構造の電子レンズは使用出来なかつ
た。
(c) 考案の目的
本考案の目的は上記欠点を解消して、より高い
加速電圧の荷電ビームを集束するために使用し得
るユニポテンシヤル型の静電型電子レンズを提供
することにある。
加速電圧の荷電ビームを集束するために使用し得
るユニポテンシヤル型の静電型電子レンズを提供
することにある。
(d) 考案の構成
この目的は本考案において、一対の外部電極
と、該一対の外部電極の間に該一対の外部電極と
互いに絶縁されて配設された中心電極とからなる
ユニポテンシヤル型静電レンズにおいて、前記一
対の外部電極と中心電極との間にそれぞれ対応す
る前記外部電極とほぼ同一形状の中間電極を付設
し、該中間電極の電位を前記外部電極及び中心電
極の電位の中間の電位に保持することにより達成
される。
と、該一対の外部電極の間に該一対の外部電極と
互いに絶縁されて配設された中心電極とからなる
ユニポテンシヤル型静電レンズにおいて、前記一
対の外部電極と中心電極との間にそれぞれ対応す
る前記外部電極とほぼ同一形状の中間電極を付設
し、該中間電極の電位を前記外部電極及び中心電
極の電位の中間の電位に保持することにより達成
される。
(e) 考案の実施例
第２図に本考案の一実施例の静電型電子レンズ
の要部を示す。
の要部を示す。
本実施例では外部電極１，１′と中心電極２と
の間に新たに中間電極４，４′を設けた。中間電
極４に対応する外部電極１と、中間電極４′に対
応する外部電極１′とはほぼ同一形状であつて、
各電極共に同じ厚みで荷電ビームの軸に等距離且
つ等間隔に配置されている。これら各電極間には
それぞれ絶縁体３を挿入して、各電極間を電気的
に絶縁しておく。
の間に新たに中間電極４，４′を設けた。中間電
極４に対応する外部電極１と、中間電極４′に対
応する外部電極１′とはほぼ同一形状であつて、
各電極共に同じ厚みで荷電ビームの軸に等距離且
つ等間隔に配置されている。これら各電極間には
それぞれ絶縁体３を挿入して、各電極間を電気的
に絶縁しておく。
各電極の電位は、外部電極１，１′は接地電位
とし、中心電極２は集束せしめるべき荷電ビーム
の加速電圧に近い高電圧を印加し、これを抵抗Ｒ
により分割した中間電位を新たに設けた中間電極
４，４′に印加する。
とし、中心電極２は集束せしめるべき荷電ビーム
の加速電圧に近い高電圧を印加し、これを抵抗Ｒ
により分割した中間電位を新たに設けた中間電極
４，４′に印加する。
上記各電極１，１′，２，４，４′の材料として
は、放電開始電位の高い金属、例えばステンレス
を用いる。絶縁体３の材料は、加工性が良く、耐
圧が高く、且つ真空中においてガス放出の少ない
材料、例えばガラスセラミツクを用いる。
は、放電開始電位の高い金属、例えばステンレス
を用いる。絶縁体３の材料は、加工性が良く、耐
圧が高く、且つ真空中においてガス放出の少ない
材料、例えばガラスセラミツクを用いる。
上記各電極１，１′，２，４，４′と絶縁体３と
の結合は、エポキシ樹脂，粉末ガラス、及び鑞付
け等を用いて接着するか、或いは絶縁体３にネジ
止めをする等の方法により固定する。
の結合は、エポキシ樹脂，粉末ガラス、及び鑞付
け等を用いて接着するか、或いは絶縁体３にネジ
止めをする等の方法により固定する。
第３図は上記一実施例のユニポテンシヤル静電
型電子レンズを使用した荷電ビーム装置の要部を
示す断面図で、１１はエミツタ、１２は引き出し
電極、１３は陽極、１４は前記第２図に示したユ
ニポテンシヤル静電型の電子レンズ、１５は試
料、１６はコラム外筒である。中心電極２の外周
は絶縁体（図示せず）で被覆し、コラム外筒１６
等との間に放電が生じるのを防止する。
型電子レンズを使用した荷電ビーム装置の要部を
示す断面図で、１１はエミツタ、１２は引き出し
電極、１３は陽極、１４は前記第２図に示したユ
ニポテンシヤル静電型の電子レンズ、１５は試
料、１６はコラム外筒である。中心電極２の外周
は絶縁体（図示せず）で被覆し、コラム外筒１６
等との間に放電が生じるのを防止する。
本考案の静電型電子レンズは上述の如く、外部
電型１，１′と中心電極２との間に中間電極４，
４′を設け、これに中間電位を印加することによ
り内部の電界強度を緩和し、放電を生じにくくし
た。その結果本考案の静電型電子レンスでは、荷
電ビームの収束特性は実用上問題なく、従来の静
電型電子レンズより中心電極２の電圧を高く出来
る（凡そ２倍）ので、前記エミツタ１１及び陽極
１３間に印加する電圧即ち加速電圧を高く出来
る。従つてより細い荷電ビームが得られ、色収差
が減少するので、半導体微細加工用の微小イオン
ビームの形成等に用いて有効である。
電型１，１′と中心電極２との間に中間電極４，
４′を設け、これに中間電位を印加することによ
り内部の電界強度を緩和し、放電を生じにくくし
た。その結果本考案の静電型電子レンスでは、荷
電ビームの収束特性は実用上問題なく、従来の静
電型電子レンズより中心電極２の電圧を高く出来
る（凡そ２倍）ので、前記エミツタ１１及び陽極
１３間に印加する電圧即ち加速電圧を高く出来
る。従つてより細い荷電ビームが得られ、色収差
が減少するので、半導体微細加工用の微小イオン
ビームの形成等に用いて有効である。
(f) 考案の効果
以上説明した如く本考案のユニポテンシヤル型
の静電型電子レンズを使用すれば、荷電ビームの
加速電圧を高くすることが可能となり、色収差の
少ない微小ビームを形成することが出来る。
の静電型電子レンズを使用すれば、荷電ビームの
加速電圧を高くすることが可能となり、色収差の
少ない微小ビームを形成することが出来る。
第１図は従来の静電型電子レンズを説明するた
めの要部断面図、第２図及び第３図は本考案の一
実施例を示す要部断面図である。 図において、１，１′は外部電極、２は中心電
極、４，４′は中間電極を示す。
めの要部断面図、第２図及び第３図は本考案の一
実施例を示す要部断面図である。 図において、１，１′は外部電極、２は中心電
極、４，４′は中間電極を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 一対の外部電極と、該一対の外部電極の間に該
一対の外部電極と互いに絶縁されて配設された中
心電極とからなるユニポテンシヤル型静電レンズ
において、 前記一対の外部電極と中心電極との間にそれぞ
れ対応する前記外部電極とほぼ同一形状の中間電
極を付設し、該中間電極の電位が前記外部電極及
び中心電極の電位の中間の電位に保持されたこと
を特徴とする静電型電子レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8749582U JPS58188958U (ja) | 1982-06-11 | 1982-06-11 | 静電型電子レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8749582U JPS58188958U (ja) | 1982-06-11 | 1982-06-11 | 静電型電子レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58188958U JPS58188958U (ja) | 1983-12-15 |
| JPS6317156Y2 true JPS6317156Y2 (ja) | 1988-05-16 |
Family
ID=30096205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8749582U Granted JPS58188958U (ja) | 1982-06-11 | 1982-06-11 | 静電型電子レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58188958U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50106558A (ja) * | 1974-01-22 | 1975-08-22 |
-
1982
- 1982-06-11 JP JP8749582U patent/JPS58188958U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50106558A (ja) * | 1974-01-22 | 1975-08-22 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58188958U (ja) | 1983-12-15 |
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