JPS6355744B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6355744B2 JPS6355744B2 JP14076882A JP14076882A JPS6355744B2 JP S6355744 B2 JPS6355744 B2 JP S6355744B2 JP 14076882 A JP14076882 A JP 14076882A JP 14076882 A JP14076882 A JP 14076882A JP S6355744 B2 JPS6355744 B2 JP S6355744B2
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- JP
- Japan
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- electrode
- insulator
- deflection
- electric field
- multipole
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- Expired
Links
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- 230000005405 multipole Effects 0.000 claims description 9
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 4
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- 238000003754 machining Methods 0.000 claims 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 14
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/12—Lenses electrostatic
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、荷電粒子ビームの静電偏向装置に使
用する多重極電極構造体に関する。
用する多重極電極構造体に関する。
一般に電子ビーム露光装置、電子顕微鏡、高精
度ブラウン管、撮像管等においては、ビーム偏向
収差を軽減できる余弦分布の偏向電界を得るため
多重極電極が使用されている。
度ブラウン管、撮像管等においては、ビーム偏向
収差を軽減できる余弦分布の偏向電界を得るため
多重極電極が使用されている。
電子光学的収差および電子間の相互作用に起因
する収差を軽減するため、ビーム軌道をできるだ
け短かくすることが有利である。このため使用す
る多重極電極の形状は出来るだけ小さく製作して
集束レンズ内部に配置することが必要となる。
又、各電極は絶縁体に支持されているが、作動中
この絶縁体が帯電してそれによる電界が生じる。
この帯電電界が偏向電界中にしみ出すと精確な偏
向制御が不可能となるからそのような望ましくな
い帯電電界が偏向電界中にしみ出さないような手
段を講ずる必要がある。
する収差を軽減するため、ビーム軌道をできるだ
け短かくすることが有利である。このため使用す
る多重極電極の形状は出来るだけ小さく製作して
集束レンズ内部に配置することが必要となる。
又、各電極は絶縁体に支持されているが、作動中
この絶縁体が帯電してそれによる電界が生じる。
この帯電電界が偏向電界中にしみ出すと精確な偏
向制御が不可能となるからそのような望ましくな
い帯電電界が偏向電界中にしみ出さないような手
段を講ずる必要がある。
ビームの偏向収差を軽減できる電位の余弦分布
を得るための従来の多重電極の偏向装置の構造を
第１図に示す。この様な従来の電極構造において
電極片D1〜D12を精度よく保持し、かつ望ましく
ない帯電電界の滲出を防止することは解決困難な
問題であつた。
を得るための従来の多重電極の偏向装置の構造を
第１図に示す。この様な従来の電極構造において
電極片D1〜D12を精度よく保持し、かつ望ましく
ない帯電電界の滲出を防止することは解決困難な
問題であつた。
絶縁物１を用いて電極D1〜D12を保持する場
合、作動中必然的に絶縁物１は帯電し（通常絶縁
物は十ないし数十kvに帯電）、そのために生じる
帯電が偏向空間２内に滲出して偏向電界を乱し、
又絶縁物１の帯電状態が変化するときは偏向電界
の安全性は悪くなる。この望ましくない帯電電界
が偏向電界中に滲出しないようにするには電極片
D1〜D12を支持する絶縁材１が偏向空間２内に少
しでも露出することがないようにすることが必要
である。また当然のことながら電極片の位置精度
が偏向電界の収差に直接影響を及ぼすため、でき
る限り精度よく電極片を支持することが肝要であ
る。
合、作動中必然的に絶縁物１は帯電し（通常絶縁
物は十ないし数十kvに帯電）、そのために生じる
帯電が偏向空間２内に滲出して偏向電界を乱し、
又絶縁物１の帯電状態が変化するときは偏向電界
の安全性は悪くなる。この望ましくない帯電電界
が偏向電界中に滲出しないようにするには電極片
D1〜D12を支持する絶縁材１が偏向空間２内に少
しでも露出することがないようにすることが必要
である。また当然のことながら電極片の位置精度
が偏向電界の収差に直接影響を及ぼすため、でき
る限り精度よく電極片を支持することが肝要であ
る。
絶縁物の帯電電界が偏向空間内に滲出しなくす
るためには、電界が漏れなくなるまで電極間隙の
放射方向又は半径方向の深さを深くすることが考
えられるが、そのようにすると寸法が大きくなつ
てしまい不都合である。第２図の様に絶縁物が電
極より見えない様に絶縁物を電極片の背面に配置
した構造にすることも考えられるが、このように
すると多数の電極片と絶縁片とを製作して精度よ
く組立てなければならず技術上多くの困難を伴
う。
るためには、電界が漏れなくなるまで電極間隙の
放射方向又は半径方向の深さを深くすることが考
えられるが、そのようにすると寸法が大きくなつ
てしまい不都合である。第２図の様に絶縁物が電
極より見えない様に絶縁物を電極片の背面に配置
した構造にすることも考えられるが、このように
すると多数の電極片と絶縁片とを製作して精度よ
く組立てなければならず技術上多くの困難を伴
う。
本発明の目的はコンパクトで精度が良く容易に
製作でき、しかも絶縁物の帯電電界が偏向空間に
滲出しないような多重極静電偏向電極を提供する
ことである。
製作でき、しかも絶縁物の帯電電界が偏向空間に
滲出しないような多重極静電偏向電極を提供する
ことである。
以下第３ないし５図を参照して本発明の実施例
を説明する。
を説明する。
第３図は周辺が連続している中空の絶縁体１と
この中空絶縁体の内面から突出する複数の電極片
D1〜D20が配置されており、隣り合う電極片の間
隙空間３は、縦軸に垂直な面内（すなわち紙の面
内）で屈曲させた構造となつている。５は環状ハ
ウジングである。この様に構成したため仮に絶縁
体１が帯電しても電気力線がこの屈曲した間隙で
遮蔽され偏向空間の電界分布へ影響することは殆
んどなくなる。
この中空絶縁体の内面から突出する複数の電極片
D1〜D20が配置されており、隣り合う電極片の間
隙空間３は、縦軸に垂直な面内（すなわち紙の面
内）で屈曲させた構造となつている。５は環状ハ
ウジングである。この様に構成したため仮に絶縁
体１が帯電しても電気力線がこの屈曲した間隙で
遮蔽され偏向空間の電界分布へ影響することは殆
んどなくなる。
第３図に示した本発明による多重極電極の製造
法を第４図に参照して説明する。偏向装置の電極
となる環状導体４を環状絶縁体１と一体に固定す
る。この環状複合体の縦軸に垂直な面内で屈曲し
ている屈曲路に沿つて環状導体４に環状絶縁体１
の内表面に至る切れ目を入れて相互に分離した多
数の電極片D1，D2……を形成する。環状導体４
に屈曲した切れ目を入れるにはワイヤーカツト放
電加工によるのが有利である。又、環状導体４で
はなく中実の円筒導体を環状絶縁体１に固定して
ワイヤーカツト放電加工を利用し第３図の形状構
成に加工してもよい。このような加工により複雑
な形状の多数の電極片を形成し、これを環状絶縁
体に精密に配置し固定する不利を回避することが
できる。
法を第４図に参照して説明する。偏向装置の電極
となる環状導体４を環状絶縁体１と一体に固定す
る。この環状複合体の縦軸に垂直な面内で屈曲し
ている屈曲路に沿つて環状導体４に環状絶縁体１
の内表面に至る切れ目を入れて相互に分離した多
数の電極片D1，D2……を形成する。環状導体４
に屈曲した切れ目を入れるにはワイヤーカツト放
電加工によるのが有利である。又、環状導体４で
はなく中実の円筒導体を環状絶縁体１に固定して
ワイヤーカツト放電加工を利用し第３図の形状構
成に加工してもよい。このような加工により複雑
な形状の多数の電極片を形成し、これを環状絶縁
体に精密に配置し固定する不利を回避することが
できる。
第５−ａ図に別の実施例の半製品を第５−ｂ図
に完成品を示す。第５−ａ図の半製品の中空の方
形導体４に絶縁体１に至る屈曲切れ目を入れて第
５−ｂ図の多重極電極を製する。通常絶縁物とし
ては切削可能なガラスマコール（商品名）やセラ
ミツクス等が使用される。
に完成品を示す。第５−ａ図の半製品の中空の方
形導体４に絶縁体１に至る屈曲切れ目を入れて第
５−ｂ図の多重極電極を製する。通常絶縁物とし
ては切削可能なガラスマコール（商品名）やセラ
ミツクス等が使用される。
第１，２図は従来の電極構造の説明するための
図であり、第３図は本発明による多重極静電偏向
電極の第１の実施例の構造を示す。第４図は第１
図の実施例の半製品を示す。第５−ａ図は第２の
実施例の半製品を示し、第５−ｂ図は第２の実施
例を示す。 図中、D1〜D20……電極片、１……環状絶縁
体、３……屈曲間隙路、４……環状導体。
図であり、第３図は本発明による多重極静電偏向
電極の第１の実施例の構造を示す。第４図は第１
図の実施例の半製品を示す。第５−ａ図は第２の
実施例の半製品を示し、第５−ｂ図は第２の実施
例を示す。 図中、D1〜D20……電極片、１……環状絶縁
体、３……屈曲間隙路、４……環状導体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 周辺が連続している中空の絶縁体とこの中空
絶縁体の内面から突出する複数の電極片とを備
え、隣り合う電極片の空間は縦軸に垂直な面内で
屈曲していることを特徴とする多重極電極。 ２ 中空絶縁体内に金属体を一体に固定し、隣り
合う電極片の空間が縦軸に垂直な面内で屈曲して
いる屈曲路により分離している複数の電極片を構
成するように前記の金属体を加工することを特徴
とする多重極電極の製造法。 ３ 前記の金属体の加工がワイヤーカツト放電加
工である特許請求の範囲第２項に記載の多重極電
極の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14076882A JPS5931546A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | 多重極電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14076882A JPS5931546A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | 多重極電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5931546A JPS5931546A (ja) | 1984-02-20 |
| JPS6355744B2 true JPS6355744B2 (ja) | 1988-11-04 |
Family
ID=15276291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14076882A Granted JPS5931546A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | 多重極電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5931546A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007103627A (ja) * | 2005-10-04 | 2007-04-19 | Jeol Ltd | 静電偏向装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2003242174A1 (en) * | 2002-06-13 | 2003-12-31 | Motosuke Miyoshi | Electronic optical lens barrel and production method therefor |
| JP4807835B2 (ja) * | 2005-12-06 | 2011-11-02 | 株式会社トプコン | 荷電ビーム照射装置、静電偏向器、静電偏向器の製造方法 |
-
1982
- 1982-08-13 JP JP14076882A patent/JPS5931546A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007103627A (ja) * | 2005-10-04 | 2007-04-19 | Jeol Ltd | 静電偏向装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5931546A (ja) | 1984-02-20 |
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