JPH0517797Y2 - - Google Patents
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- JPH0517797Y2 JPH0517797Y2 JP19678087U JP19678087U JPH0517797Y2 JP H0517797 Y2 JPH0517797 Y2 JP H0517797Y2 JP 19678087 U JP19678087 U JP 19678087U JP 19678087 U JP19678087 U JP 19678087U JP H0517797 Y2 JPH0517797 Y2 JP H0517797Y2
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- JP
- Japan
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- insulator
- electrodes
- electrode
- present
- particle beam
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- Expired - Lifetime
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- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 28
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案は、イオンビーム装置や電子ビーム装置
の静電レンズ等に使用される電極構造体に関し、
特に、放電の発生を防止することができる電極構
造体に関する。
の静電レンズ等に使用される電極構造体に関し、
特に、放電の発生を防止することができる電極構
造体に関する。
［従来の技術］
例えば、アインツエル型の静電レンズにおいて
は、２枚の接地電位の電極の間に60kV程度の高
電圧が印加される中間電極が配置される。該接地
電位の電極と中間電極との間には絶縁碍子が配置
されて、該電極の間の距離を常に一定に維持する
ように構成している。
は、２枚の接地電位の電極の間に60kV程度の高
電圧が印加される中間電極が配置される。該接地
電位の電極と中間電極との間には絶縁碍子が配置
されて、該電極の間の距離を常に一定に維持する
ように構成している。
［考案が解決しようとする問題点］
上述した静電レンズにおいては、使用中に、絶
縁碍子の表面を伝わつての沿面放電が生じる。こ
の放電は、絶縁碍子の長さを長くすればある程度
減少させることができるが、完全には放電を防止
することはできないし、又、この方法ではレンズ
自体が大型化してしまう。このような問題は、静
電レンズのみならず、電子銃やイオンビーム発生
源あるいは加速管等のように、複数の電極を積層
して配置し、その電極の間に高電圧を印加する構
造のものに共通して存在する。
縁碍子の表面を伝わつての沿面放電が生じる。こ
の放電は、絶縁碍子の長さを長くすればある程度
減少させることができるが、完全には放電を防止
することはできないし、又、この方法ではレンズ
自体が大型化してしまう。このような問題は、静
電レンズのみならず、電子銃やイオンビーム発生
源あるいは加速管等のように、複数の電極を積層
して配置し、その電極の間に高電圧を印加する構
造のものに共通して存在する。
上述した絶縁碍子表面の真空沿面放電は、絶縁
碍子表面が正に帯電し、その結果、負側の電極と
碍子との結合部に電界が集中することにより、電
界電子放出が発生することが原因とされている。
このため、絶縁碍子表面に高抵抗膜を付着し、そ
の高抵抗膜に定常電流を流すことにより、負側の
電極と碍子との結合部における電界集中を防ぎ、
該結合部からの電界電子の放出を防止することが
行われている。しかしながら、高抵抗膜を付着す
ることは、絶縁碍子を介して配置された２枚の電
極間の絶縁が悪くなることであり、該電極間に高
電圧を印加する電源の出力電流の限界値以上の電
流が該絶縁膜を介して流れてしまい、電極間の印
加電圧が変動し、静電レンズにあつては荷電粒子
線の収束状態が変化したり、電子銃やイオンビー
ム発生源においてはビームの電流値が変動したり
して好ましくない。
碍子表面が正に帯電し、その結果、負側の電極と
碍子との結合部に電界が集中することにより、電
界電子放出が発生することが原因とされている。
このため、絶縁碍子表面に高抵抗膜を付着し、そ
の高抵抗膜に定常電流を流すことにより、負側の
電極と碍子との結合部における電界集中を防ぎ、
該結合部からの電界電子の放出を防止することが
行われている。しかしながら、高抵抗膜を付着す
ることは、絶縁碍子を介して配置された２枚の電
極間の絶縁が悪くなることであり、該電極間に高
電圧を印加する電源の出力電流の限界値以上の電
流が該絶縁膜を介して流れてしまい、電極間の印
加電圧が変動し、静電レンズにあつては荷電粒子
線の収束状態が変化したり、電子銃やイオンビー
ム発生源においてはビームの電流値が変動したり
して好ましくない。
本考案は、上述した点に鑑みてなされたもの
で、絶縁碍子表面を伝わつての沿面放電を防止で
きると共に、印加電圧の変動が生じない荷電粒子
線装置における電極構造体を提供することを目的
としている。
で、絶縁碍子表面を伝わつての沿面放電を防止で
きると共に、印加電圧の変動が生じない荷電粒子
線装置における電極構造体を提供することを目的
としている。
［問題点を解決するための手段］
本考案に基づく荷電粒子線装置における電極構
造体においては、複数の電極が絶縁碍子を間に挟
んで積層され、該電極間に高電圧が印加される荷
電粒子線装置において、該碍子表面に、一方の電
極と他方の電極とを電気的に接続する高抵抗物質
を部分的に付着するように構成したことを特徴と
している。
造体においては、複数の電極が絶縁碍子を間に挟
んで積層され、該電極間に高電圧が印加される荷
電粒子線装置において、該碍子表面に、一方の電
極と他方の電極とを電気的に接続する高抵抗物質
を部分的に付着するように構成したことを特徴と
している。
［実施例］
以下本考案の一実施例を添附図面に基づいて詳
述する。
述する。
第１図および第２図は本考案を実施した静電レ
ンズの一部を示しており、第１図は断面図、第２
図は斜視図である。図中１は接地電位の電極、２
は電源３から高電圧が印加される中間電極、４は
円筒形の絶縁碍子である。該絶縁碍子４の一部に
は、排気用の孔５が穿たれている。該絶縁碍子４
の外側および内側の表面には、多数の帯状の高抵
抗膜６が付着されている。この膜６の碍子４表面
への付着は、酸化ルテニユーム等の高抵抗物質が
溶かされた溶液を碍子に塗布し、その後、500℃
前後の高温で焼結させることによつて行つても良
いし、又、マスクで碍子表面を部分的に隠し、蒸
着によつて選択的に高抵抗物質を碍子表面に付着
させるようにしても良い。
ンズの一部を示しており、第１図は断面図、第２
図は斜視図である。図中１は接地電位の電極、２
は電源３から高電圧が印加される中間電極、４は
円筒形の絶縁碍子である。該絶縁碍子４の一部に
は、排気用の孔５が穿たれている。該絶縁碍子４
の外側および内側の表面には、多数の帯状の高抵
抗膜６が付着されている。この膜６の碍子４表面
への付着は、酸化ルテニユーム等の高抵抗物質が
溶かされた溶液を碍子に塗布し、その後、500℃
前後の高温で焼結させることによつて行つても良
いし、又、マスクで碍子表面を部分的に隠し、蒸
着によつて選択的に高抵抗物質を碍子表面に付着
させるようにしても良い。
上述した如き構成において、接地電極１と中間
電極２との間には、電源３から、例えば、60kV
の高電圧が印加されており、静電レンズとして電
極１，２の開口を通過する電子ビームやイオンビ
ームの収束を行うようにしている。該両電極間に
電源３から高電圧を印加することにより、該碍子
４の表面の内、高抵抗膜６が付着されていない部
分は帯電するが、電極１，２の間には、高抵抗膜
６を介して定常電流が流れることになり、碍子４
と電極１との結合部における電界の集中は著しく
緩和されることになる。従つて、該結合部からの
電界電子の放出はなく、沿面放電を防止すること
ができる。又、碍子表面には部分的に高抵抗膜を
付着させ、電極１，２との間の抵抗値を高く維持
しているため、該高抵抗膜を介して電極１と２と
の間に流れる電流は電源３の限界値以下にするこ
とができ、常に所定の電圧を両電極間に印加する
ことが可能となる。
電極２との間には、電源３から、例えば、60kV
の高電圧が印加されており、静電レンズとして電
極１，２の開口を通過する電子ビームやイオンビ
ームの収束を行うようにしている。該両電極間に
電源３から高電圧を印加することにより、該碍子
４の表面の内、高抵抗膜６が付着されていない部
分は帯電するが、電極１，２の間には、高抵抗膜
６を介して定常電流が流れることになり、碍子４
と電極１との結合部における電界の集中は著しく
緩和されることになる。従つて、該結合部からの
電界電子の放出はなく、沿面放電を防止すること
ができる。又、碍子表面には部分的に高抵抗膜を
付着させ、電極１，２との間の抵抗値を高く維持
しているため、該高抵抗膜を介して電極１と２と
の間に流れる電流は電源３の限界値以下にするこ
とができ、常に所定の電圧を両電極間に印加する
ことが可能となる。
以下本考案の実施例を詳述したが、本考案は、
この実施例に限定されず幾多の変形が可能であ
る。例えば、絶縁碍子は円筒状に形成したが、棒
状の絶縁碍子を多数電極の間に配置するように構
成しても良い。又、本考案を静電レンズに適用し
た場合について詳述したが、本考案は、電子銃や
イオンビーム発生源等の電極部分、加速管等にも
使用することができる。更に、多数の高抵抗膜を
電極間に付着するようにしたが、例えば、１本の
高抵抗膜を螺旋状に碍子表面に付着するようにし
ても良い。
この実施例に限定されず幾多の変形が可能であ
る。例えば、絶縁碍子は円筒状に形成したが、棒
状の絶縁碍子を多数電極の間に配置するように構
成しても良い。又、本考案を静電レンズに適用し
た場合について詳述したが、本考案は、電子銃や
イオンビーム発生源等の電極部分、加速管等にも
使用することができる。更に、多数の高抵抗膜を
電極間に付着するようにしたが、例えば、１本の
高抵抗膜を螺旋状に碍子表面に付着するようにし
ても良い。
［効果］
以上詳述した如く、本考案により、簡単な構成
によつて電極間の沿面放電を防止することができ
ると共に、電極間に印加される電圧の変動を防止
することができる。
によつて電極間の沿面放電を防止することができ
ると共に、電極間に印加される電圧の変動を防止
することができる。
第１図および第２図は本考案を実施した静電レ
ンズの一部を示す断面図および斜視図である。 １……接地電極、２……中間電極、３……電
源、４……絶縁碍子、５……排気孔、６……高抵
抗膜。
ンズの一部を示す断面図および斜視図である。 １……接地電極、２……中間電極、３……電
源、４……絶縁碍子、５……排気孔、６……高抵
抗膜。
Claims (1)
- 複数の電極が絶縁碍子を間に挟んで積層され、
該電極間に高電圧が印加される荷電粒子線装置に
おいて、該碍子表面に、一方の電極と他方の電極
とを電気的に接続する高抵抗物質を部分的に付着
するように構成したことを特徴とする荷電粒子線
装置における電極構造体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19678087U JPH0517797Y2 (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19678087U JPH0517797Y2 (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01100359U JPH01100359U (ja) | 1989-07-05 |
| JPH0517797Y2 true JPH0517797Y2 (ja) | 1993-05-12 |
Family
ID=31487375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19678087U Expired - Lifetime JPH0517797Y2 (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0517797Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-12-25 JP JP19678087U patent/JPH0517797Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01100359U (ja) | 1989-07-05 |
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