JPS63165745A - ガス検出器 - Google Patents
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- JPS63165745A JPS63165745A JP21207886A JP21207886A JPS63165745A JP S63165745 A JPS63165745 A JP S63165745A JP 21207886 A JP21207886 A JP 21207886A JP 21207886 A JP21207886 A JP 21207886A JP S63165745 A JPS63165745 A JP S63165745A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、ガス成分又はその濃度を検出するためのガス
検出器に関するものであって、特に感ガス性の金属酸化
物を用いたガス検出器に間する。
検出器に関するものであって、特に感ガス性の金属酸化
物を用いたガス検出器に間する。
[従来の技術]
従来より大気中のガスの存在、あるいはその濃度を検出
するためのガス検出器として、酸素ガス検出器、可燃性
ガス検出器等が実用化されている。
するためのガス検出器として、酸素ガス検出器、可燃性
ガス検出器等が実用化されている。
これらの中に、ガスが接触した場合に、その電気抵抗が
変化する特性を持った惑ガス性の金具酸化物を使用して
いるものがある0例えば、TiO2、Coo、 N
i O等の遷移金属元素の酸化物等は酸素センサとして
使用できる。
変化する特性を持った惑ガス性の金具酸化物を使用して
いるものがある0例えば、TiO2、Coo、 N
i O等の遷移金属元素の酸化物等は酸素センサとして
使用できる。
ここで例示した遷移金属酸化物は、非化学量論的化合物
である。そして、この非化学量論的化合物中の荷電担体
(ホール、電子)の量は、周囲の酸素ガス分圧によって
変化する。そのために、周囲の酸素ガス分圧に応じて導
電率が変化するのである。
である。そして、この非化学量論的化合物中の荷電担体
(ホール、電子)の量は、周囲の酸素ガス分圧によって
変化する。そのために、周囲の酸素ガス分圧に応じて導
電率が変化するのである。
と°ころで、上記酸素センサは、特に内燃機関の排ガス
のような非平衡ガス中の酸素ガス分圧を精度よく検出す
るためには、非平衡ガスを平衡化する必要があり、これ
に対処するために、従来では、ptなとの貴金属触媒を
粉末状にして感ガス層中に均一に分散担持させている。
のような非平衡ガス中の酸素ガス分圧を精度よく検出す
るためには、非平衡ガスを平衡化する必要があり、これ
に対処するために、従来では、ptなとの貴金属触媒を
粉末状にして感ガス層中に均一に分散担持させている。
[発明が解決しようとする問題点]
しかし、恐ガス層中に、粉末状の触媒を多く分散担持さ
せると、使用による感ガス層の焼結が進行すると共に、
触媒もT i O2と焼結してその表面積を減少する。
せると、使用による感ガス層の焼結が進行すると共に、
触媒もT i O2と焼結してその表面積を減少する。
そのため、ガスの平衡化という触媒機能を低下させ、セ
ンサを劣化させる。
ンサを劣化させる。
また、粉末状の触媒を多く担持させると、電極間に導電
体としての触媒が多く介在することになり、電極間抵抗
が小さくなり、検出精度の低下を招くという問題点があ
る。
体としての触媒が多く介在することになり、電極間抵抗
が小さくなり、検出精度の低下を招くという問題点があ
る。
本発明は、上記従来の技術を解決するためになされたも
ので、触媒を多く担持させても、非平衡ガスを平衡ガス
化する触媒機能を安定して維持するすることができ、し
かも、ガス濃度の検出精度の優れたガス検出器を提供す
ることを目的とする。
ので、触媒を多く担持させても、非平衡ガスを平衡ガス
化する触媒機能を安定して維持するすることができ、し
かも、ガス濃度の検出精度の優れたガス検出器を提供す
ることを目的とする。
E問題点を解決するための手段]
上記問題点を解決するためになされた本発明は、1対の
電極と、 この電極を覆い、感ガス性金属酸化物を含み、ガス成分
および/またはガス濃度に応じて電気抵抗が変化する多
孔質の怒ガス層と、 この惑ガス層上に形成した貴金属触媒からなる触媒層と を備えたことを特徴とするガス検出器を要旨とする。
電極と、 この電極を覆い、感ガス性金属酸化物を含み、ガス成分
および/またはガス濃度に応じて電気抵抗が変化する多
孔質の怒ガス層と、 この惑ガス層上に形成した貴金属触媒からなる触媒層と を備えたことを特徴とするガス検出器を要旨とする。
ここで、怒ガス層をセラミック基板上に形成した場合に
は、上記セラミック基板として、通常用いられるセラミ
ック基板でよく、例えば、アルミナ、ベリリア、ムライ
ト、ステアタイト等を主成分として焼成したセラミック
基板が挙げられる。
は、上記セラミック基板として、通常用いられるセラミ
ック基板でよく、例えば、アルミナ、ベリリア、ムライ
ト、ステアタイト等を主成分として焼成したセラミック
基板が挙げられる。
電極としては、焼成する際に、十分耐え得る導電体であ
ればよいが、通常、金または白金族を主成分としたもの
が用いられる。
ればよいが、通常、金または白金族を主成分としたもの
が用いられる。
感ガス層に用いられる遷移金属酸化物としては、検出す
るガス成分に応じてその物質が選択されるのであるが、
通常用いられるものとしてT i 02゜SnO2,C
oo、ZnO,NbzOs、Cr2O3が挙げられ、本
発明においてもこれらのうちのいずれか1つまたは2つ
以上の組合せの物質を用いることが好ましい。
るガス成分に応じてその物質が選択されるのであるが、
通常用いられるものとしてT i 02゜SnO2,C
oo、ZnO,NbzOs、Cr2O3が挙げられ、本
発明においてもこれらのうちのいずれか1つまたは2つ
以上の組合せの物質を用いることが好ましい。
触媒としては、ガス検出器の使用される成層や、検出す
るガス等に応じてその物質を選択すればよいが、特に、
ガス検出器を内燃機関の排ガス中の酸素ガス分圧測定に
使用する場合は、白金族元素から選ばれた1種又は2種
以上が好ましい。
るガス等に応じてその物質を選択すればよいが、特に、
ガス検出器を内燃機関の排ガス中の酸素ガス分圧測定に
使用する場合は、白金族元素から選ばれた1種又は2種
以上が好ましい。
また、感ガス層を保護することを目的として、感ガス層
あるいは上層に重ねて、コート層を設けてもよい、この
コート層は、感ガス性金属酸化物に対する鉛等の有毒物
質を吸着捕獲し、有毒物質が惑ガス層に達することを防
ぐ、コート層の材質としては、熱的に安定な材質であれ
ば特に限定はなく、例えば、アルミナ、マグネシアスピ
ネル、ジルコニア等を用いることができる。また、触媒
層の上層に、Zr0tの層を用いた酸素ポンプ素子を併
設してもよく、この場合には、ZrO2層の両側に設け
る電極の一方を触媒層に兼用させてもよい。
あるいは上層に重ねて、コート層を設けてもよい、この
コート層は、感ガス性金属酸化物に対する鉛等の有毒物
質を吸着捕獲し、有毒物質が惑ガス層に達することを防
ぐ、コート層の材質としては、熱的に安定な材質であれ
ば特に限定はなく、例えば、アルミナ、マグネシアスピ
ネル、ジルコニア等を用いることができる。また、触媒
層の上層に、Zr0tの層を用いた酸素ポンプ素子を併
設してもよく、この場合には、ZrO2層の両側に設け
る電極の一方を触媒層に兼用させてもよい。
[作用]
本発明のガス検出器において、感ガス層中にガスが接触
すると、このガス濃度に応じて感ガス層の電気的抵抗が
変化し、これが電極間でガス濃度を検出するための出力
信号として出力される。
すると、このガス濃度に応じて感ガス層の電気的抵抗が
変化し、これが電極間でガス濃度を検出するための出力
信号として出力される。
本ガス検出器を、例えば、エンジンの排ガスの空燃比を
測定する手段に用いた場合には、まず、ガスが触媒層に
吸着される。該触媒層にて非平衡ガスの平衡ガス化が促
進される。そして、平衡状態になった特定成分のガスに
よって触媒層の下層に位置する惑ガス層の電気的抵抗が
変化し、これを電極間で検出信号として取り出す。
測定する手段に用いた場合には、まず、ガスが触媒層に
吸着される。該触媒層にて非平衡ガスの平衡ガス化が促
進される。そして、平衡状態になった特定成分のガスに
よって触媒層の下層に位置する惑ガス層の電気的抵抗が
変化し、これを電極間で検出信号として取り出す。
上記触媒層は、それ自体によってガスの平衡化を促進す
る機能を有するとともに、触媒層がそれ自体で集合して
いるので、触媒量を多くしても。
る機能を有するとともに、触媒層がそれ自体で集合して
いるので、触媒量を多くしても。
焼結が進行しないので、経時変化を少なくすることがで
きる。
きる。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、検出ガスが非平
衡ガスであっても、ガス検出器に取り込まれたとき、多
量に貴金属触媒を含んだ触媒層によって平衡ガス化が速
やかに行われる。しかも、触媒は、層状に設けられてい
るので、粒子状に添加されたものより焼結の進行が遅く
、経時変化を抑制することができる。
衡ガスであっても、ガス検出器に取り込まれたとき、多
量に貴金属触媒を含んだ触媒層によって平衡ガス化が速
やかに行われる。しかも、触媒は、層状に設けられてい
るので、粒子状に添加されたものより焼結の進行が遅く
、経時変化を抑制することができる。
また、感ガス層中に多量に貴金属触媒を添加しても、電
極間の抵抗をさほど低下させないので、検出精度も高く
維持することができる。
極間の抵抗をさほど低下させないので、検出精度も高く
維持することができる。
さらに、被測定ガス中に鉛や燐等の被毒物質が含まれて
いても、触媒層があるために、被毒物質は感ガス層まで
達しない、その結果、経年変化の少ない耐久性に優れた
ガス検出器となる。
いても、触媒層があるために、被毒物質は感ガス層まで
達しない、その結果、経年変化の少ない耐久性に優れた
ガス検出器となる。
[実施例]
本発明の実施例を図面を用いて説明する。なお、説明上
各国の縮尺は異なる。
各国の縮尺は異なる。
まず、本発明の一実施例を第1図によって説明する。
本実施例は、感ガス層としてT i O2を使用した酸
素ガス検出器10である。
素ガス検出器10である。
第1図の部分破断した斜視図に示すように、セラミック
基板12上には、端子13a、13b。
基板12上には、端子13a、13b。
13eで白金リード&114a、14b、14eに接続
された検出用電極16a、16bおよび熱抵抗電極16
e等の電極パターン16が形成され、さらに上記セラミ
ック基板12上および電極パターン16上にセラミック
基板12と一体化されたセラミック積層板18が積層さ
れている。
された検出用電極16a、16bおよび熱抵抗電極16
e等の電極パターン16が形成され、さらに上記セラミ
ック基板12上および電極パターン16上にセラミック
基板12と一体化されたセラミック積層板18が積層さ
れている。
このセラミック積層板18には、窓部20が形成されて
おり、この窓部20内には、TiO2を主成分とする感
ガスN24が形成されている。この感ガス層24と、上
記セラミック基板12問に両者の剥離を防ぐ球形造粒粒
子22が介在している。
おり、この窓部20内には、TiO2を主成分とする感
ガスN24が形成されている。この感ガス層24と、上
記セラミック基板12問に両者の剥離を防ぐ球形造粒粒
子22が介在している。
また、上記感ガス層24上には、pt等の貴金属触媒か
らなる触媒M25が形成されている。さらに、この触媒
層25上には、AΩ203からなるコート層26が形成
されている。
らなる触媒M25が形成されている。さらに、この触媒
層25上には、AΩ203からなるコート層26が形成
されている。
次に、上記酸素ガス検出器10の製造工程を第2図ない
し第6図にしたがって説明する。
し第6図にしたがって説明する。
■ アルミナ92wt%、マグネシア3wt%、および
焼結助剤(シリカ、カルシア等)5wt%をボットミル
にて20時間混合する。その後、該混合物に有機バイン
ダーとしてポリビニールブチラール12wt%、フタル
散ジブチル4vt%を添加し、溶剤としてメチルエチル
ケトン、トルエン等を加えた。さらにボットミルで15
時間混合してスラリーとし、ドクターブレード法により
基板用および積層用グリーンシート12A、18Aを形
成する。
焼結助剤(シリカ、カルシア等)5wt%をボットミル
にて20時間混合する。その後、該混合物に有機バイン
ダーとしてポリビニールブチラール12wt%、フタル
散ジブチル4vt%を添加し、溶剤としてメチルエチル
ケトン、トルエン等を加えた。さらにボットミルで15
時間混合してスラリーとし、ドクターブレード法により
基板用および積層用グリーンシート12A、18Aを形
成する。
上記グリーンシートの形状は、基板用グリーンシート1
2Aで47.8mmX4.0mmX0゜8mm’、積層
用グリーンシート18Aで47.8mmX4.0mmX
0.26mm’である。そして、上記積層用グリーンシ
ート18Aに3.05mmX2.0mmの窓部20を形
成する。
2Aで47.8mmX4.0mmX0゜8mm’、積層
用グリーンシート18Aで47.8mmX4.0mmX
0.26mm’である。そして、上記積層用グリーンシ
ート18Aに3.05mmX2.0mmの窓部20を形
成する。
■ 次に、白金黒とスポンジ状白金とを、2:1の比率
に調合し、他に上記■で用いたグリーンシートの材料混
合物を10wt%添加し、ブチルカルピトール、エトセ
ル等の溶剤を加えて、電極用ペーストとする。
に調合し、他に上記■で用いたグリーンシートの材料混
合物を10wt%添加し、ブチルカルピトール、エトセ
ル等の溶剤を加えて、電極用ペーストとする。
■ 次に、■で調整した電極用ペーストを用い厚膜印刷
により、基板用グリーンシート12A上に電極パターン
16を形成する。を極パターン16として、上述したよ
うに、検出用電極パターン16a、16b、および感ガ
ス層24を加熱するためのし−タとなる熱抵抗電極パタ
ーン16eと、上記両パターン16の端子となる端子パ
ターン13 a、 13 b+ 13 eを形成す
る。 (第2図(イ)(ロ)) ■ その後、上記端子パターン13a、13b。
により、基板用グリーンシート12A上に電極パターン
16を形成する。を極パターン16として、上述したよ
うに、検出用電極パターン16a、16b、および感ガ
ス層24を加熱するためのし−タとなる熱抵抗電極パタ
ーン16eと、上記両パターン16の端子となる端子パ
ターン13 a、 13 b+ 13 eを形成す
る。 (第2図(イ)(ロ)) ■ その後、上記端子パターン13a、13b。
13eに、直径0.2mmの白金リード線14a。
14 b、 14 eをそれぞれ接続する(第3図(
イ)(ロ))。
イ)(ロ))。
■ 次に、上記基板用グリーンシート12A上に積層用
グリーンシート18Aを′1fI層熱圧着して積層体を
形成する。このとき、該積層用グリーンシート18Aの
窓部20には、検出用電極パターン16a、16bの先
端が露出している。そして、窓部20中に■で調整した
グリーンシートと同一の材料からなる80〜150メツ
シユの球形造粒粒子(2次粒子)22を分散付着させて
から、上記積層体を1500℃で大気とほぼ同一雰囲気
中にて2時間焼成することで一体となったセラミック基
板12およびセラミック積層板18を形成する(第4図
くイ)(ロ))。
グリーンシート18Aを′1fI層熱圧着して積層体を
形成する。このとき、該積層用グリーンシート18Aの
窓部20には、検出用電極パターン16a、16bの先
端が露出している。そして、窓部20中に■で調整した
グリーンシートと同一の材料からなる80〜150メツ
シユの球形造粒粒子(2次粒子)22を分散付着させて
から、上記積層体を1500℃で大気とほぼ同一雰囲気
中にて2時間焼成することで一体となったセラミック基
板12およびセラミック積層板18を形成する(第4図
くイ)(ロ))。
上述のように球形造粒粒子22を分散付着させて焼成す
ると、各粒子22が、セラミック基板12上に分散して
凹凸面を形成する。
ると、各粒子22が、セラミック基板12上に分散して
凹凸面を形成する。
■ 次に、セラミック積層板18の窓部20内に、T
i O2を主成分とする感ガス性の金属酸化物ご充填す
るのであるが、まず、TlO2ペーストを調整する。
i O2を主成分とする感ガス性の金属酸化物ご充填す
るのであるが、まず、TlO2ペーストを調整する。
すなわち、大気中1200℃で1時間仮焼した平均粒径
1.2μmのTiO2粉末100gに対して、触媒とし
て白金黒5gを含む塩化白金酸100ccを加え、大気
中にて200℃で24時時間分に乾燥させた後、水素炉
中にて700℃で2時間熱分解して白金粒子を析出させ
る。続いて、バインダーとして、3重量%のエチルセル
ロースを2重量部だけ添加し、これらをブチカルピトー
ル(2−(2−ブトキシエトキシ)エタノールの商品名
)中で混合し、300ボイズの粘度にしてT i O2
ペーストを調整する。
1.2μmのTiO2粉末100gに対して、触媒とし
て白金黒5gを含む塩化白金酸100ccを加え、大気
中にて200℃で24時時間分に乾燥させた後、水素炉
中にて700℃で2時間熱分解して白金粒子を析出させ
る。続いて、バインダーとして、3重量%のエチルセル
ロースを2重量部だけ添加し、これらをブチカルピトー
ル(2−(2−ブトキシエトキシ)エタノールの商品名
)中で混合し、300ボイズの粘度にしてT i O2
ペーストを調整する。
そして、このT i O2ペーストを、窓部20内の電
極パターン16a、16b上に50〜500μm厚膜塗
布する(第5図(イ) (ロ))。
極パターン16a、16b上に50〜500μm厚膜塗
布する(第5図(イ) (ロ))。
■ 次に、上記感ガス層24上に白金、ロジウムまたは
パラジウム(第1表参照)からなる触媒層を感ガス層2
4上に5〜20μmに塗布する。
パラジウム(第1表参照)からなる触媒層を感ガス層2
4上に5〜20μmに塗布する。
■ 次に、上記怒ガス層20上に、コート層26用のA
Q 20 gからなるペーストを塗布した後に、上記
工程を終えた積層体を1200℃の大気中に1時間放置
して焼成する(第6図(イ)(ロ))。
Q 20 gからなるペーストを塗布した後に、上記
工程を終えた積層体を1200℃の大気中に1時間放置
して焼成する(第6図(イ)(ロ))。
この試料を酸素センサに組み立てた後に、次の実験によ
って各試料の応答速度、耐久性を測定した。
って各試料の応答速度、耐久性を測定した。
この実験で、上記■の工程において用いる触媒層の組成
を第1表のように変えて、ガス検出器の試料(No、2
〜5)を作成する。なお、本発明による実施例の効果を
明確にするために、従来の技術に相当する比較例NO6
1として、触媒層を有しないものも同表に列記する。
を第1表のように変えて、ガス検出器の試料(No、2
〜5)を作成する。なお、本発明による実施例の効果を
明確にするために、従来の技術に相当する比較例NO6
1として、触媒層を有しないものも同表に列記する。
O非平衡ガスにおける応答速度
■ 第7図に示すように、プロパンガスバーナの排ガス
中に酸素センサSとして組み立てられた試料をさらす、
このプロパンガスバーナは、排気温が350℃に設定さ
れ、かつ空気およびプロパンガスを弁Vl、V2を開閉
調節することにより、1秒毎に空気燃料比が燃料過剰(
以下リッチという、空気燃料比λ=0.9)と燃料不足
(以下リーンという、λ=1.1)との間で変化するよ
う制御されている。
中に酸素センサSとして組み立てられた試料をさらす、
このプロパンガスバーナは、排気温が350℃に設定さ
れ、かつ空気およびプロパンガスを弁Vl、V2を開閉
調節することにより、1秒毎に空気燃料比が燃料過剰(
以下リッチという、空気燃料比λ=0.9)と燃料不足
(以下リーンという、λ=1.1)との間で変化するよ
う制御されている。
■ 排ガスがリッチのときに試料くガス検出器10)の
出力が1■、リーンの時の出力が0■となるように、セ
ンサに加える電圧を調整する。
出力が1■、リーンの時の出力が0■となるように、セ
ンサに加える電圧を調整する。
■ 応答速度として、雰囲気がリーンからリッチに変わ
る時におけるガス検出器10の出力が300■Vから6
00飄Vに変化する時間Tlrと、雰囲気がリッチから
リーンに変わる時における出力が600■Vから300
■Vに変化する時間Triを測定する。
る時におけるガス検出器10の出力が300■Vから6
00飄Vに変化する時間Tlrと、雰囲気がリッチから
リーンに変わる時における出力が600■Vから300
■Vに変化する時間Triを測定する。
O耐久性
■ 酸素センナとして組み立てられた試料を実車に取り
付け、所定の耐久パターンで運転し、運転の前後の応答
速度変化から耐久性を調べる。すなわち、酸素センサS
は、第8図に示すように市販の2000ccのEFI付
3元触媒車のエンジンEngと3元触媒TlICとの間
の排気管Haに取り付けられる。そして、制御ユニット
Uniは酸素センサSの出力に応じてエンジンの運転状
態を制御する。
付け、所定の耐久パターンで運転し、運転の前後の応答
速度変化から耐久性を調べる。すなわち、酸素センサS
は、第8図に示すように市販の2000ccのEFI付
3元触媒車のエンジンEngと3元触媒TlICとの間
の排気管Haに取り付けられる。そして、制御ユニット
Uniは酸素センサSの出力に応じてエンジンの運転状
態を制御する。
センサSの出力は第9図のような回路で検出される。こ
こで、Bは電源、Reは比較抵抗である。
こで、Bは電源、Reは比較抵抗である。
■ 上記エンジンEngを、第10図に示す耐久パター
ンで300時間運転する。尚、図中の実線は試料の温度
、破線は排気ガスの温度を示している。
ンで300時間運転する。尚、図中の実線は試料の温度
、破線は排気ガスの温度を示している。
この運転の前後で、上述の応答速度を測定し、その変化
をもって耐久性の結果とする。すなわち、運転の前後で
、応答時間の変化の少ない試料はど耐久性に優れている
と判定する。なお、第1表中では、運転前を初期値、運
転後を耐久試験後の値と記す。
をもって耐久性の結果とする。すなわち、運転の前後で
、応答時間の変化の少ない試料はど耐久性に優れている
と判定する。なお、第1表中では、運転前を初期値、運
転後を耐久試験後の値と記す。
第1表
上記実験から次のことが分かった。
■ 試fINo、2〜5のように、感ガス層24上に触
媒層25を形成すると、比較例の試料No。
媒層25を形成すると、比較例の試料No。
1と比較して、応答時間Tlr、 Triが短時間で、
耐久性試験の前後で応答時間Tlr、 Trlもさほど
変化がなく、つまり、初期の応答性を維持しているので
、耐久性に優れていることが分かる。
耐久性試験の前後で応答時間Tlr、 Trlもさほど
変化がなく、つまり、初期の応答性を維持しているので
、耐久性に優れていることが分かる。
これは、未燃焼ガスである非平衡ガスの平衡化が触媒層
により促進されるとともに、鉛や燐等の被毒物質が感ガ
ス層へ達せず、感ガス層の反応性が損なわれないためと
思われる。
により促進されるとともに、鉛や燐等の被毒物質が感ガ
ス層へ達せず、感ガス層の反応性が損なわれないためと
思われる。
第1図は本発明の一実施例の酸素センサを部分的に破断
して示す斜視図、第2図ないし第6図は実施例の製造の
説明図、第7図および第9図は酸素センサを内燃機関に
使用する耐久性試験の要領説明図、第10図はその耐久
パターン図である。 10・・・酸素センサ(ガス検出器) 12・・・セラミック基板、 16.16a、16bb・・・電極パターン16e・・
・熱抵抗電極パターン、 18・・・セラミック積層板 20・・・窓部 24・・・感ガス層 25・・・触媒層
して示す斜視図、第2図ないし第6図は実施例の製造の
説明図、第7図および第9図は酸素センサを内燃機関に
使用する耐久性試験の要領説明図、第10図はその耐久
パターン図である。 10・・・酸素センサ(ガス検出器) 12・・・セラミック基板、 16.16a、16bb・・・電極パターン16e・・
・熱抵抗電極パターン、 18・・・セラミック積層板 20・・・窓部 24・・・感ガス層 25・・・触媒層
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 1対の電極と、 この電極を覆い、感ガス性金属酸化物を含み、ガス成分
および/またはガス濃度に応じて電気抵抗が変化する多
孔質の感ガス層と、 この感ガス層上に形成した貴金属触媒からなる触媒層と を備えたことを特徴とするガス検出器。 2 上記貴金属触媒は、Pt、Rh、Pdの1つ以上を
選択したものである特許請求の範囲第1項記載のガス検
出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61212078A JPH07113619B2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | ガス検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61212078A JPH07113619B2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | ガス検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63165745A true JPS63165745A (ja) | 1988-07-09 |
JPH07113619B2 JPH07113619B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=16616499
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61212078A Expired - Fee Related JPH07113619B2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | ガス検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07113619B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4440572A1 (de) * | 1994-11-14 | 1996-05-15 | Fraunhofer Ges Forschung | Schaltbarer Beschichtungsaufbau |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5644835A (en) * | 1979-09-20 | 1981-04-24 | Toyota Motor Corp | Semiconductor oxygen sensor element |
JPS5828657A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-02-19 | Toyota Motor Corp | 抵抗式ガスセンサ |
JPS5871447A (ja) * | 1981-10-23 | 1983-04-28 | Fuigaro Giken Kk | 燃焼機器用のガス検出素子 |
-
1986
- 1986-09-09 JP JP61212078A patent/JPH07113619B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5644835A (en) * | 1979-09-20 | 1981-04-24 | Toyota Motor Corp | Semiconductor oxygen sensor element |
JPS5828657A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-02-19 | Toyota Motor Corp | 抵抗式ガスセンサ |
JPS5871447A (ja) * | 1981-10-23 | 1983-04-28 | Fuigaro Giken Kk | 燃焼機器用のガス検出素子 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4440572A1 (de) * | 1994-11-14 | 1996-05-15 | Fraunhofer Ges Forschung | Schaltbarer Beschichtungsaufbau |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07113619B2 (ja) | 1995-12-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |