JPH07107523B2 - ガス検出器の製造方法 - Google Patents
ガス検出器の製造方法Info
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- JPH07107523B2 JPH07107523B2 JP61212077A JP21207786A JPH07107523B2 JP H07107523 B2 JPH07107523 B2 JP H07107523B2 JP 61212077 A JP61212077 A JP 61212077A JP 21207786 A JP21207786 A JP 21207786A JP H07107523 B2 JPH07107523 B2 JP H07107523B2
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- JP
- Japan
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- gas
- temperature
- sensitive layer
- electrodes
- gas detector
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、特定のガス成分の濃度に応じて抵抗値の変化
する感ガス性の金属酸化物を用いて、周囲のガスを検出
するガス検出器の製造方法に関するものである。
する感ガス性の金属酸化物を用いて、周囲のガスを検出
するガス検出器の製造方法に関するものである。
［従来の技術］ 従来、この種のガス検出器として、例えば、第10図に断
面で示すような酸素ガス検出器がある。
面で示すような酸素ガス検出器がある。
すなわち、酸素ガス検出器50は、セラミック基板52上に
１対の電極54a,54bを形成し、上記基板52上に、窓部58
を有するセラミック積層板60を積層し、さらに、電極54
a,54bを覆い、かつ、窓部58を塞ぐようにTiO2を主成分
とする感ガス層62を積層したものであり、周囲の酸素分
圧に応じて変化する感ガス層の電気抵抗を電極間で検出
するものである。
１対の電極54a,54bを形成し、上記基板52上に、窓部58
を有するセラミック積層板60を積層し、さらに、電極54
a,54bを覆い、かつ、窓部58を塞ぐようにTiO2を主成分
とする感ガス層62を積層したものであり、周囲の酸素分
圧に応じて変化する感ガス層の電気抵抗を電極間で検出
するものである。
さらに、上記従来の酸素ガス検出器では、感ガス層の検
出レベルが、同一ガス濃度であっても温度によって変動
することから、これを補償する手段として、セラミック
基板にヒータを設けている。
出レベルが、同一ガス濃度であっても温度によって変動
することから、これを補償する手段として、セラミック
基板にヒータを設けている。
そして、酸素ガス検出器に別体のサーミスタによる検出
温度により該酸素ガス検出器を所定温度になるようにヒ
ータの通電量を制御するものが知られている。
温度により該酸素ガス検出器を所定温度になるようにヒ
ータの通電量を制御するものが知られている。
［発明が解決しようとする問題点］ しかし、上記従来の技術においては、酸素ガス検出器と
別体に組み込まれたサーミスタを用いているために、部
品点数が増加し、構成も複雑になり、製造面倒であると
いう問題点があった。
別体に組み込まれたサーミスタを用いているために、部
品点数が増加し、構成も複雑になり、製造面倒であると
いう問題点があった。
本発明は、上記従来の技術の問題点を解決するためにな
されたもので、部品点数が少なく、簡単な構成で、か
つ、製造の容易なガス検出器の製造方法を提供すること
を目的とする。
されたもので、部品点数が少なく、簡単な構成で、か
つ、製造の容易なガス検出器の製造方法を提供すること
を目的とする。
［問題点を解決するための手段］ 上記問題点を解決するためになされた本発明は、 複数の電極を設け、 該複数の電極を感ガス性金属酸化物で覆って、第１の焼
成温度で加熱焼成することにより、ガス成分および／ま
たはガス濃度に応じて電気抵抗が変化する多孔質の感ガ
ス層を形成した後に、 上記複数の電極の内、少なくとも一対の電極間に通電す
ることにより、上記感ガス層の一部を自己発熱させて、
上記第１の焼成温度より高い第２の焼成温度にて焼成し
て温度検出素子とすることを特徴とするガス検出器の製
造方法を要旨とする。
成温度で加熱焼成することにより、ガス成分および／ま
たはガス濃度に応じて電気抵抗が変化する多孔質の感ガ
ス層を形成した後に、 上記複数の電極の内、少なくとも一対の電極間に通電す
ることにより、上記感ガス層の一部を自己発熱させて、
上記第１の焼成温度より高い第２の焼成温度にて焼成し
て温度検出素子とすることを特徴とするガス検出器の製
造方法を要旨とする。
ここで、上記電極としては、焼成する際に、十分耐え得
る導電体であればよいが、通常、銀、金または白金族を
主成分としたものが用いられる。
る導電体であればよいが、通常、銀、金または白金族を
主成分としたものが用いられる。
感ガス層に用いられる遷移金属酸化物としては、検出す
るガス成分に応じてその物質が変化されるのであるが、
通常用いられるものとしてTiO2,SnO2,CoO,ZnO,Nb2O5,Cr
2O3が挙げられ、本発明においてもこれらのうちのいず
れか１つまたは２つ以上の組合せの物質を用いることが
好ましい。
るガス成分に応じてその物質が変化されるのであるが、
通常用いられるものとしてTiO2,SnO2,CoO,ZnO,Nb2O5,Cr
2O3が挙げられ、本発明においてもこれらのうちのいず
れか１つまたは２つ以上の組合せの物質を用いることが
好ましい。
また、感ガス層を保護することを目的として、感ガス層
あるいは上層に重ねて、コート層を設けてもよい。この
コート層は、感ガス性金属酸化物に対する鉛等の有毒物
質を吸着捕獲し、有毒物質を感ガス層に達することを防
ぐ。コート層の材質としては、熱的に安定な材質であれ
ば特に限定はなく、例えば、アルミナ、マグネシアスピ
ネル、ジルコニア等を用いることができる。
あるいは上層に重ねて、コート層を設けてもよい。この
コート層は、感ガス性金属酸化物に対する鉛等の有毒物
質を吸着捕獲し、有毒物質を感ガス層に達することを防
ぐ。コート層の材質としては、熱的に安定な材質であれ
ば特に限定はなく、例えば、アルミナ、マグネシアスピ
ネル、ジルコニア等を用いることができる。
［作用］ 本発明のガス検出器の製造方法では、まず、第１の焼成
温度で感ガス層を焼成により形成し、その後、複数の電
極の内、少なくとも一対の電極間に通電して加熱するこ
とにより、（第１の焼成温度より高い）第２の焼成温度
で感ガス層の一部の焼結させて、温度検出素子を形成し
ている。本発明によって製造されるガス検出器は、感ガ
ス層中にガスが接触すると、このガス濃度に応じて感ガ
ス層の電気的抵抗が変化し、この抵抗変化を電極間で検
出し、ガス濃度の変化を計測する。
温度で感ガス層を焼成により形成し、その後、複数の電
極の内、少なくとも一対の電極間に通電して加熱するこ
とにより、（第１の焼成温度より高い）第２の焼成温度
で感ガス層の一部の焼結させて、温度検出素子を形成し
ている。本発明によって製造されるガス検出器は、感ガ
ス層中にガスが接触すると、このガス濃度に応じて感ガ
ス層の電気的抵抗が変化し、この抵抗変化を電極間で検
出し、ガス濃度の変化を計測する。
さらに、このガス検出器の感ガス層の一部が温度検出素
子に形成されているので、この温度検出素子からの検出
温度に基づいて、例えば、ガス検出器に一体化して形成
したヒータへの通電量を制御してガス検出器の温度を所
定温度に設定する温度補償を行える。
子に形成されているので、この温度検出素子からの検出
温度に基づいて、例えば、ガス検出器に一体化して形成
したヒータへの通電量を制御してガス検出器の温度を所
定温度に設定する温度補償を行える。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、感ガス層を焼成
して形成した後に、感ガス層に覆われた電極への通電に
より加熱焼成することで、温度検出素子を形成している
ので、ガス検出器の製造が容易である。
して形成した後に、感ガス層に覆われた電極への通電に
より加熱焼成することで、温度検出素子を形成している
ので、ガス検出器の製造が容易である。
また、温度検出素子は、感ガス層の一部が更に焼成され
て（即ち焼結されて）形成されるので、材料ペーストの
印刷工程が一度で済み、この点からも製造が極めて簡易
化されるという利点がある。
て（即ち焼結されて）形成されるので、材料ペーストの
印刷工程が一度で済み、この点からも製造が極めて簡易
化されるという利点がある。
更に、温度検出素子は、感ガス層の一部が更に焼成され
たものなので、感ガス層と温度検出素子とは、完全に連
続した一体となっている。従って、たとえ流速の速い排
ガスの酸素濃度などを測定する場合でも、感ガス素子と
温度検出素子との間には、ほとんど温度の差が発生しな
いので、正確な温度検出を行なって、酸素濃度などの検
出の温度補償を好適に行なうことができる。
たものなので、感ガス層と温度検出素子とは、完全に連
続した一体となっている。従って、たとえ流速の速い排
ガスの酸素濃度などを測定する場合でも、感ガス素子と
温度検出素子との間には、ほとんど温度の差が発生しな
いので、正確な温度検出を行なって、酸素濃度などの検
出の温度補償を好適に行なうことができる。
その上、感ガス層の一部に温度検出素子を形成している
ので、部品点数が少なく、かつ、簡単な構成でガス検出
器の温度補償機能を付加することができる。
ので、部品点数が少なく、かつ、簡単な構成でガス検出
器の温度補償機能を付加することができる。
［実施例］ 本発明の実施例を図面を用いて説明する。なお、説明上
各図の縮尺は異なる。
各図の縮尺は異なる。
まず、本発明の一実施例を第１図によって説明する。
本実施例は、感ガス層としてTiO2を使用した酸素ガス検
出器10の製造方法である。
出器10の製造方法である。
第１図の部分破断した斜視図に示すように、セラミック
基板12上には、端子13a,13b,13c,13eで白金リード線14
a,14b,14c,14eに接続された電極パターン16a,16b,16c,
および熱抵抗電極パターン16e等の電極パターン16が形
成され、さらに上記セラミック基板12上および電極パタ
ーン16上にセラミック基板12と一体化されたセラミック
積層板18が積層されている。
基板12上には、端子13a,13b,13c,13eで白金リード線14
a,14b,14c,14eに接続された電極パターン16a,16b,16c,
および熱抵抗電極パターン16e等の電極パターン16が形
成され、さらに上記セラミック基板12上および電極パタ
ーン16上にセラミック基板12と一体化されたセラミック
積層板18が積層されている。
このセラミック積層板18には、窓部20が形成されてお
り、この窓部20内には、TiO2を主成分とする感ガス層25
および温度検出素子層24が形成されている（第２図）。
この感ガス層25および温度検出素子層24と、上記セラミ
ック基板12との間に両者の剥離を防ぐ球形造粒粒子22が
介在している。
り、この窓部20内には、TiO2を主成分とする感ガス層25
および温度検出素子層24が形成されている（第２図）。
この感ガス層25および温度検出素子層24と、上記セラミ
ック基板12との間に両者の剥離を防ぐ球形造粒粒子22が
介在している。
また、上記感ガス層25および温度検出素子層24上には、
Al2O3からなるコート層26が形成されている。
Al2O3からなるコート層26が形成されている。
次に、上記酸素ガス検出器10の製造工程を第３図ないし
第７図にしたがって説明する。
第７図にしたがって説明する。
アルミナ92wt％、マグネシア3wt％、および焼結助
剤（シリカ、カルシア等）5wt％をポットミルにて20時
間混合する。その後、該混合物に有機バインダーとして
ポリビニールブチラート12wt％、フタル酸ジブチル4wt
％を添加し、溶剤としてメチルエチルケトン、トルエン
等を加えた。さらにポットミルで15時間混合してスラリ
ーとし、ドクターブレード法により基板用および積層用
グリーンシート12A,18Aを形成する。
剤（シリカ、カルシア等）5wt％をポットミルにて20時
間混合する。その後、該混合物に有機バインダーとして
ポリビニールブチラート12wt％、フタル酸ジブチル4wt
％を添加し、溶剤としてメチルエチルケトン、トルエン
等を加えた。さらにポットミルで15時間混合してスラリ
ーとし、ドクターブレード法により基板用および積層用
グリーンシート12A,18Aを形成する。
上記グリーンシートの形状は、基板用グリーンシート12
Aで47.8mm×4.0mm×0.8mmt、積層用グリーンシート18A
で47.8mm×4.0mm×0.26mmtである。そして、上記積層用
グリーンシート18Aに3.05mm×2.0mmの窓部20を形成す
る。
Aで47.8mm×4.0mm×0.8mmt、積層用グリーンシート18A
で47.8mm×4.0mm×0.26mmtである。そして、上記積層用
グリーンシート18Aに3.05mm×2.0mmの窓部20を形成す
る。
次に、白金黒とスポンジ状白金とを、2:1の比率に
調合し、他に上記で用いたグリーンシートの材料混合
物を10wt％添加し、ブチルカルビトール、エトセル等の
溶剤を加えて、電極用ペーストとする。
調合し、他に上記で用いたグリーンシートの材料混合
物を10wt％添加し、ブチルカルビトール、エトセル等の
溶剤を加えて、電極用ペーストとする。
次に、で調整した電極用ペーストを用い厚膜印刷
により、基板用グリーンシート12A上に電極パターン16
を形成する。電極パターン16として、上述したように、
電極パターン16a,16b,16c、および感ガス層25および温
度検出素子層24を加熱するためのヒータとなる熱抵抗電
極パターン16eと、上記パターン16の各端子となる端子
パターン13a,13b,13c,13eを形成する（第２図（イ）
（ロ））。
により、基板用グリーンシート12A上に電極パターン16
を形成する。電極パターン16として、上述したように、
電極パターン16a,16b,16c、および感ガス層25および温
度検出素子層24を加熱するためのヒータとなる熱抵抗電
極パターン16eと、上記パターン16の各端子となる端子
パターン13a,13b,13c,13eを形成する（第２図（イ）
（ロ））。
その後、上記端子パターン13a,13b,13c,13eに、直
径0.2mmの白金リード線14a,14b,14c,14eをそれぞれ接続
する（第４図（イ）（ロ））。
径0.2mmの白金リード線14a,14b,14c,14eをそれぞれ接続
する（第４図（イ）（ロ））。
次に、上記基板用グリーンシート12A上に積層用グ
リーンシート18Aを積層熱圧着して積層体を形成する。
このとき、該積層用グリーンシート18Aの窓部20には、
電極パターン16a,16b,16cの先端が露出している。そし
て、窓部20中にで調整したグリーンシートと同一の材
料からなる80〜150メッシュの球形造粒粒子（２次粒
子）22を分散付着させてから、上記積層体を1500℃で大
気とほぼ同一雰囲気中にて２時間焼成することで一体と
なったセラミック基板12およびセラミック積層板18を形
成する（第５図（イ）（ロ））。
リーンシート18Aを積層熱圧着して積層体を形成する。
このとき、該積層用グリーンシート18Aの窓部20には、
電極パターン16a,16b,16cの先端が露出している。そし
て、窓部20中にで調整したグリーンシートと同一の材
料からなる80〜150メッシュの球形造粒粒子（２次粒
子）22を分散付着させてから、上記積層体を1500℃で大
気とほぼ同一雰囲気中にて２時間焼成することで一体と
なったセラミック基板12およびセラミック積層板18を形
成する（第５図（イ）（ロ））。
上述のように球形造粒粒子22を分散付着させて焼成する
と、各粒子22が、セラミック基板12上に分散して凹凸面
を形成する。
と、各粒子22が、セラミック基板12上に分散して凹凸面
を形成する。
次に、セラミック積層板18の窓部20内に、TiO2を主
成分とする感ガス性の金属酸化物を充填および焼成して
温度検出素子層24および感ガス層25形成するのである
が、まず、TiO2ペーストを調整する。
成分とする感ガス性の金属酸化物を充填および焼成して
温度検出素子層24および感ガス層25形成するのである
が、まず、TiO2ペーストを調整する。
すなわち、大気中1200℃で１時間仮焼した平均粒径1.2
μｍのTiO2粉末90重量部に対して、触媒として白金黒10
重量部を加え、さらに、バインダーとして、３重量％の
エチルセルロースを２重量部だけ添加し、これらをブチ
カルビトール（２−（２−ブトキシエトキシ）エタノー
ルの商品名）中で混合し、300ポイズの粘度にしてTiO2
ペーストを調整する。
μｍのTiO2粉末90重量部に対して、触媒として白金黒10
重量部を加え、さらに、バインダーとして、３重量％の
エチルセルロースを２重量部だけ添加し、これらをブチ
カルビトール（２−（２−ブトキシエトキシ）エタノー
ルの商品名）中で混合し、300ポイズの粘度にしてTiO2
ペーストを調整する。
そして、このTiO2ペーストを、第２図に示すように、３
つの電極パターン16a,16b,16c上に50〜500μｍ厚膜塗布
する。そして、大気中において1200℃で１時間焼成す
る。
つの電極パターン16a,16b,16c上に50〜500μｍ厚膜塗布
する。そして、大気中において1200℃で１時間焼成す
る。
次に、プロパンバーナの管内に該積層体を挿入し、該バ
ーナをλ＝0.9の空燃比、ガス温度800℃の雰囲気に調整
し、電極パターン16a,16c間に交流20Vを30秒間印加す
る。これにより、電極パターン間の自己通電発熱により
感ガス層を焼結して一部を温度検出素子層に形成する。
ーナをλ＝0.9の空燃比、ガス温度800℃の雰囲気に調整
し、電極パターン16a,16c間に交流20Vを30秒間印加す
る。これにより、電極パターン間の自己通電発熱により
感ガス層を焼結して一部を温度検出素子層に形成する。
次に、上記感ガス層20上に、コート層26用のAl2O3
からなるペーストを塗布した後に、上記工程を終えた積
層体を1200℃の大気中に１時間放置して焼成する（第７
図（イ）（ロ））。
からなるペーストを塗布した後に、上記工程を終えた積
層体を1200℃の大気中に１時間放置して焼成する（第７
図（イ）（ロ））。
次に、上記製造方法にて形成した酸素ガス検出器につい
て、その感ガス機能および温度検出機能を以下の試験に
より実証した。
て、その感ガス機能および温度検出機能を以下の試験に
より実証した。
上記試料を酸素ガス検出器に組み立てた後に、プロパン
ガスバーナの排ガス中に、該試料をさらす。このプロパ
ンガスバーナは、排気温が350℃で、かつ１秒毎に空気
燃料比が燃料過剰（以下リッチという、空気燃料比λ＝
0.9）と燃料不足（以下リーンという、λ＝1.1）との間
で変化するよう制御するとともに、排気温度を350℃か
ら900℃まで変化させる。そして、第８図の回路図に示
すように、上記白金リード線13a,13b,13cから各電極パ
ターン16a,16b,16cの電圧をモニターする。この各電極
間の抵抗値を第９図に示す。第９図において、曲線Ａお
よびＢは電極パターン16b,16c間におけるλ＝1.1および
λ＝0.9での抵抗値であり、これは感ガス層25の抵抗値
を示し、曲線ＣおよびＤは電極間パターン16a,16c間に
おけるλ＝1.1およびλ＝0.9での抵抗値であり、これは
温度検出素子層24の抵抗値を示す。
ガスバーナの排ガス中に、該試料をさらす。このプロパ
ンガスバーナは、排気温が350℃で、かつ１秒毎に空気
燃料比が燃料過剰（以下リッチという、空気燃料比λ＝
0.9）と燃料不足（以下リーンという、λ＝1.1）との間
で変化するよう制御するとともに、排気温度を350℃か
ら900℃まで変化させる。そして、第８図の回路図に示
すように、上記白金リード線13a,13b,13cから各電極パ
ターン16a,16b,16cの電圧をモニターする。この各電極
間の抵抗値を第９図に示す。第９図において、曲線Ａお
よびＢは電極パターン16b,16c間におけるλ＝1.1および
λ＝0.9での抵抗値であり、これは感ガス層25の抵抗値
を示し、曲線ＣおよびＤは電極間パターン16a,16c間に
おけるλ＝1.1およびλ＝0.9での抵抗値であり、これは
温度検出素子層24の抵抗値を示す。
同図から明らかなように、温度検出素子層24の抵抗値
（曲線C,曲線Ｄ）は、感ガス層25の抵抗値（曲線A,曲線
Ｂ）とほぼ同一の温度依存性を有して変化し、しかも、
λ＝1.1とλ＝0.9でさほど変わらないので、温度検出機
能を有する。
（曲線C,曲線Ｄ）は、感ガス層25の抵抗値（曲線A,曲線
Ｂ）とほぼ同一の温度依存性を有して変化し、しかも、
λ＝1.1とλ＝0.9でさほど変わらないので、温度検出機
能を有する。
なお、本実施例によれば、通電時間および電圧を変える
ことにより、温度検出素子を所望の抵抗値に変えること
ができる。
ことにより、温度検出素子を所望の抵抗値に変えること
ができる。
第１図は発明の一実施例の部分的に破断して示す斜視
図、第２図は同実施例の要部を示す断面図、第３図ない
し第７図は実施例の製造の説明図、第８図は同実施例に
おける回路図、第９図は酸素ガス検出器を特性を示すグ
ラフ、第10図は従来の酸素ガス検出器を示す断面図であ
る。 10……酸素ガス検出器、 12……セラミック基板、 16a,16b,16c……検出用電極パターン、 16e……熱抵抗電極パターン、 18……セラミック積層板、 20……窓部、 24……温度検出素子層 25……感ガス層、
図、第２図は同実施例の要部を示す断面図、第３図ない
し第７図は実施例の製造の説明図、第８図は同実施例に
おける回路図、第９図は酸素ガス検出器を特性を示すグ
ラフ、第10図は従来の酸素ガス検出器を示す断面図であ
る。 10……酸素ガス検出器、 12……セラミック基板、 16a,16b,16c……検出用電極パターン、 16e……熱抵抗電極パターン、 18……セラミック積層板、 20……窓部、 24……温度検出素子層 25……感ガス層、
Claims (1)
- 【請求項１】複数の電極を設け、 該複数の電極を感ガス性金属酸化物で覆って、第１の焼
成温度で加熱焼成することにより、ガス成分および／ま
たはガス濃度に応じて電気抵抗が変化する多孔質の感ガ
ス層を形成した後に、 上記複数の電極の内、少なくとも一対の電極間に通電す
ることにより、上記感ガス層の一部を自己発熱させて、
上記第１の焼成温度より高い第２の焼成温度にて焼成し
て温度検出素子とすることを特徴とするガス検出器の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61212077A JPH07107523B2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | ガス検出器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61212077A JPH07107523B2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | ガス検出器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6366450A JPS6366450A (ja) | 1988-03-25 |
| JPH07107523B2 true JPH07107523B2 (ja) | 1995-11-15 |
Family
ID=16616480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61212077A Expired - Fee Related JPH07107523B2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | ガス検出器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07107523B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4891582B2 (ja) * | 2005-09-02 | 2012-03-07 | 学校法人立命館 | 半導体式薄膜ガスセンサ |
| JP4625931B2 (ja) * | 2006-05-26 | 2011-02-02 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 出力の温度依存性の無い抵抗型酸素センサ素子 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55162046A (en) * | 1979-06-05 | 1980-12-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Temperature compensating element for oxygen concentration detector |
| JPS5739341A (en) * | 1980-08-22 | 1982-03-04 | Toyota Motor Corp | Oxygen sensor |
-
1986
- 1986-09-09 JP JP61212077A patent/JPH07107523B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55162046A (en) * | 1979-06-05 | 1980-12-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Temperature compensating element for oxygen concentration detector |
| JPS5739341A (en) * | 1980-08-22 | 1982-03-04 | Toyota Motor Corp | Oxygen sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6366450A (ja) | 1988-03-25 |
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