JPS6316128Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本案は透過電子顕微鏡において蛍光板上に投影
された試料像の任意の点の座標或るいは任意の２
点間の距離を測長することのできる電子顕微鏡に
関する。

透過型電子顕微鏡において蛍光板上に投影され
た試料像の任意の点の座標或るいは任意の２点間
の距離を測長しようとする場合、従来においては
鏡体外に座標平面を作成しておき、この座標平面
上の各点が光学レンズ及びオプテイカルフアイバ
ー等を介して蛍光板上に一対一に投影できるよう
にし、座標平面上の或る点に点光源を配置すると
この点に対応する蛍光板上の点に点光源の像が形
成されるように構成していた。そこで、試料像に
おける或る２点間の距離を測定するには前記点光
源の蛍光板上における像点が像の一方の点に重な
るように点光源を移動させた後、その時の座標平
面上における点光源の座標を電気的に読み取り、
次に点光源の蛍光板上における像点が像の他方の
点に重なるように点光源を移動させたあと、この
時の点光源の座標を電気的に読み取り、両者の座
標値に基づいて両点の距離を算出して測長を行う
ようにしていた。

しかしながら、このような従来の装置は、構造
が複雑であり製造コストも高く実際に製品化する
には適当でなかつた。

本考案はこのような従来の欠点を解決し、構造
簡単で製造コストの安い測長機能を備えた透過電
子顕微鏡を提供するもので、観察室１に配置され
た蛍光板３上に試料像を投影する透過電子顕微鏡
において、前記観察室の壁面２を貫通して観察室
内に挿入された軸６と、該軸の観察室側の端部に
その一端が固定された針線４と、前記軸６の回転
中心から一定距離離されていると共に前記軸６の
先端より観察室の中心側に位置するように前記針
線４の他端に取り付けられた微小な電子線遮蔽体
５と、該電子線遮蔽体の前記蛍光板上における投
影像Ｐを前記軸の方向に移動させるため前記軸を
鏡筒外から移動させるための移動機構と、該投影
像Ｐを前記軸の方向とは垂直な方向に移動させる
ため前記軸を鏡筒外から回転させるための回転機
構と、前記移動機構及び回転機構による移動量を
電気信号に変換するための手段１１ｘ，１１ｙ，
１７と、該手段よりの出力信号と観察倍率に対応
する信号が供給される演算手段１９と、該演算手
段の出力信号を表示するための手段２４を備える
ことを特徴としており、以下図面に基づき本考案
の一実施例を詳述する。

第１図は本考案の一実施例の部分拡大図であ
り、図面１は電子顕微鏡の観察室であり、２はそ
の壁面である。３は蛍光板であり、該蛍光板の上
方には針線４によつて支持された微小な電子線遮
蔽体５が配置されている。該電子線遮蔽体５は回
折電子線パターン等を写真撮影する際にＯ次の回
折電子線によるハレーシヨンを防ぐためにこのＯ
次の回折電子線をカツトするため従来より備えら
れているものである。針線４は直角に折れ曲がつ
ており、軸６から一定の距離にある部分イと、軸
６に一体的に取りつけられている部分ロとから成
つている。軸６は鏡筒外から真空を破ることなく
水平方向に移動できるようになつており、又回転
できるようになつている。７はこの軸６が挿入さ
れている穴であり、８は真空シール用のＯリング
である。軸６には円筒状の外周に沿つてラツク９
が刻まれている。このラツクにはピニオン１０が
噛み合わされている。このピニオン１０の軸１２
は貫通型の第１のポテンシヨメータ１１Ｘに連結
されており、このポテンシヨメータ１１Ｘの回転
軸には摘み１３Ｘが取りつけられている。又軸６
の他端は貫通型の第２ポテンシヨメータ１１Ｙを
介して摘み１３Ｙに一体的に連結されている。
尚、１４は軸６を案内すると共に、ポテンシヨメ
ータ１１Ｙの支持体１５を溝１６に沿つて案内す
るための基台である。

第２図は上記一実施例装置の電気回路部を説明
するための図であり、この図より明らかなように
前記第２のポテンシヨメータ１１Ｙの出力信号は
回転角位置座標変換回路１７、AD変換器１８を
介して座標値算出回路１９に供給されており、同
様に第１のポテンシヨメータ１１Ｘの出力もAD
変換器２０を介して座標値算出回路１９に供給さ
れている。２１は倍率設定器であり、２２は倍率
制御回路である。倍率制御回路２２は倍率設定器
２１によつて設定された倍率に観察倍率を変化さ
せるため図示外の電子レンズ電源を制御すると共
に観察倍率を表わすデジタル信号を座標値算出回
路１９に供給する。座標値算出回路１９よりの出
力信号は演算制御回路２３に供給されており、こ
の演算制御回路２３の出力信号は表示器２４に表
示できるようになつている。２５は試料像の特定
の点の座標値を表示器２４に表示させる様指示す
るスイツチであり、２６は試料像中の２点間の距
離を表示器２４に表示させる様指示するスイツチ
である。

このような構成において、倍率設定器２１によ
つて観察倍率を例えばＭ倍に設定して蛍光板上に
例えば第１図に示す如き試料像を得たとすると、
この像のＡ点からＢ点までに対応する試料上の実
際の距離を求める場合について説明する。但し、
以下の説明においては蛍光板上の各点の位置を表
わすため蛍光板３の中心を原点Ｏとして軸６の移
動方向をＸ軸、それとは垂直な方向をＹ軸とする
座標系を仮想的に設けるものとし、この座標系に
基づく点Ａ，Ｂの座標が各々（Xa，Ya），（Xb，
Yb）であるとする。

まず初めにスイツチ２６をオンにした後、摘み
１３Ｘを回転させて軸６をＸ軸に平行に移動さ
せ、遮蔽体５の蛍光板３上における電子線投影像
ＰのＸ座標が点ＢのＸ座標に一致するようにし、
又摘み１３Ｙを回転させることにより、この軸か
ら一定距離にある針線４のイの部分を軸６の周り
に回転させ、前記投影像ＰがＹ方向に移動した後
完全に点Ｂに重なるようにする。その結果、ポテ
ンシヨメータ１１ＸよりAD変換器２０を介して
座標値算出回路１９にはCXb（但し、Ｃは比例定
数）なる値に対応したデジタル信号が供給され
る。又ポテンシヨメータ１１Ｙよりこの時のポテ
ンシヨメータ１１Ｙの基準位置からの回転角θに
比例した信号が発生するが、この信号は変換回路
１７においてsinθに比例した値を有するCYbなる
値に対応した信号に変換されデジタル化されて座
標値算出回路１９に供給される。座標値算出回路
１９においてこれら両座標値に比例した信号は倍
率制御回路２２により倍率を表わす信号CMで除
算され、像点Ｂの試料面上における座標値
（Xb／Ｍ，Yb／Ｍ）に対応した信号に変換され
る。この信号は演算制御回路２３内の第１のメモ
リーに記憶される。次に同様にして摘み１３Ｘ、
１３Ｙを回転させて電子線投影像Ｐが像点Ａに重
なるようにする。その結果、同様にして座標値算
出回路１９より像点Ａの試料面上における座標値
（Xa／Ｍ，Ya／Ｍ）に対応した信号が演算制御
回路２３に供給され、該信号は回路２３内の第２
のメモリーに記憶される。演算制御回路２３にお
いては、第１、第２のメモリーからの信号を読み
出して、 √｛（−）｝²＋｛（−
）｝² なる演算を行ない、その結果を表示器２４に供給
して表示する。

上述したように、本考案により試料像の任意の
２点間の実際の距離を容易に表示可能な構造簡単
で製作コストの安価な電子顕微鏡が提供される。

尚、像上の任意の点の座標を表示するには、座
標値算出回路１９の出力信号を演算制御回路２３
を介して表示器２４にそのまま導けば良い。

更に、上述した実施例では電子線遮蔽体はハレ
ーシヨン防止用に従来から設けられていたものを
兼用したが別個に設けても良い。又針線４の先端
を変形させることにより電子線遮蔽体としても良
いし、或いは針線４の先端を遮蔽体そのものとし
て使用しても良い。

更に上述した実施例では変換回路１７によつて
θに比例した信号をsinθに比例した信号に変換し
たが、最初からsinθに比例した信号を出力する型
のポテンシヨメータを使用することにより回路１
７を省くこともできる。又ポテンシヨメータに代
えて所謂光エンコーダ等の回転量を電気信号に変
換する手段を用いても良い。又回路１７の演算を
回路１９においてまとめて演算させることもで
き、更にはコンピユータを用いて全ての計算制御
を行なわせることもできる。

又、上述した実施例では遮蔽体５を照明する電
子線が略平行であると仮定して信号処理を行なつ
たが、放射状に照明していることによる微小な測
定誤差を補正するような信号処理を行なうことも
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の要部を示すための
図、第２図はこの一実施例の電気回路系を示すた
めの図である。 １：観察室、３：蛍光板、４：針線、５：遮蔽
体、６：軸、９：ラツク、１０：ピニオン、１１
Ｘ，１１Ｙ：ポテンシヨメータ、１３Ｘ，１３
Ｙ：摘み、１７：変換回路、１９：座標値算出回
路、２１：倍率設定器、２２：倍率制御回路、２
３：演算制御回路、２４：表示器。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 観察室１に配置された蛍光板３上に試料像を投
   影する透過電子顕微鏡において、前記観察室の壁
   面２を貫通して観察室内に挿入された軸６と、該
   軸の観察室側の端部にその一端が固定された針線
   ４と、前記軸６の回転中心から一定距離離されて
   いると共に前記軸６の先端より観察室の中心側に
   位置するように前記針線４の他端に取り付けられ
   た微小な電子線遮蔽体５と、該電子線遮蔽体の前
   記蛍光板上における投影像Ｐを前記軸の方向に移
   動させるため前記軸を鏡筒外から移動させるため
   の移動機構と、該投影像Ｐを前記軸の方向とは垂
   直な方向に移動させるため前記軸を鏡筒外から回
   転させるための回転機構と、前記移動機構及び回
   転機構による移動量を電気信号に変換するための
   手段１１ｘ，１１ｙ，１７と、該手段よりの出力
   信号と観察倍率に対応する信号が供給される演算
   手段１９と、該演算手段の出力信号を表示するた
   めの手段２４を備えることを特徴とする透過電子
   顕微鏡。