JPS6271864U - - Google Patents

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JPS6271864U
JPS6271864U JP16391685U JP16391685U JPS6271864U JP S6271864 U JPS6271864 U JP S6271864U JP 16391685 U JP16391685 U JP 16391685U JP 16391685 U JP16391685 U JP 16391685U JP S6271864 U JPS6271864 U JP S6271864U
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JP
Japan
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analysis point
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JP16391685U
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は表示の一例を説明するための図、第３図は第
２図イに表示される詳細を示した図、第４図は他
の表示例を説明するための図である。 １：電子銃、２：電子線、３：電子光学系、４
：試料、５：試料ステージ、５ｘ，５ｙ：ステツ
ピングモータ、６：モータ駆動回路、７：ジヨイ
ステツク、８：分光結晶、９：Ｘ線検出器、１０
：Ｘ線測定回路、１１：バスライン、１２：演算
制御装置、１３：メモリー、１４：デイスク、１
５：キーボード、１６：表示装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料移動又は電子線偏向によつて試料の任意の
    分析点を選択して電子線を照射し、該照射点より
    発生する特性Ｘ線を分析して分析結果を表示手段
    上に表示する装置において、前記試料上の分析点
    の座標と該分析点の分析値を対応させて記憶する
    記憶手段と、該記憶手段よりの分析点の座標に基
    づいて分析点をマーク表示すると共に該表示手段
    に表示された複数の分析点から任意の分析点を選
    択する選択手段とを備え、該選択された分析点の
    分析値を該表示手段上に表示するように構成した
    ことを特徴とするＸ線マイクロアナライザー等の
    表示装置。
JP16391685U 1985-10-25 1985-10-25 Pending JPS6271864U (ja)

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JP16391685U JPS6271864U (ja) 1985-10-25 1985-10-25

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JPS6271864U true JPS6271864U (ja) 1987-05-08

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Family Applications (1)

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JP16391685U Pending JPS6271864U (ja) 1985-10-25 1985-10-25

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63318054A (ja) * 1987-06-19 1988-12-26 Shimadzu Corp Ｅｐｍａの測定デ−タ表示方法
JPH0334249A (ja) * 1989-06-29 1991-02-14 Shimadzu Corp 電子線マイクロアナライザー
JP2020087513A (ja) * 2018-11-15 2020-06-04 日本電子株式会社 走査電子顕微鏡および画像処理方法

Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPS59171000A (ja) * 1983-03-17 1984-09-27 富士フアコム制御株式会社 Ｃｒｔトレンド画面のデジタル値変換方式

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