JPS63157683A - 回転機 - Google Patents
回転機Info
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- JPS63157683A JPS63157683A JP61302197A JP30219786A JPS63157683A JP S63157683 A JPS63157683 A JP S63157683A JP 61302197 A JP61302197 A JP 61302197A JP 30219786 A JP30219786 A JP 30219786A JP S63157683 A JPS63157683 A JP S63157683A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating
- piezoelectric element
- arm
- rotating shaft
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000037431 insertion Effects 0.000 abstract 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/101—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的
(産業上の利用分野)
本発明は回転機に関するものである。
(従来技術及び問題点)
従来、電気エネルギーから機械エネルギーに変換してな
る回転機としては直流モータ、誘導モータ、パルスモー
タ等、各種のモータがあり、これら各種モータは使用目
的に応じて選択され使用されていた。さらに、機器の小
形化、高精度化が要求され、この要求に応じたパルスモ
ータ、超音波モータ等の各種の回転機が提案されている
。
る回転機としては直流モータ、誘導モータ、パルスモー
タ等、各種のモータがあり、これら各種モータは使用目
的に応じて選択され使用されていた。さらに、機器の小
形化、高精度化が要求され、この要求に応じたパルスモ
ータ、超音波モータ等の各種の回転機が提案されている
。
本発明の目的は上記した小形化及び高精度化を図ること
ができる従来のモータとは全くその構成を異にする回転
機を提供することにある。
ができる従来のモータとは全くその構成を異にする回転
機を提供することにある。
発明の構成
(問題点を解決するための手段)
本発明は上記目的を達成すべく、回転可能に支持された
回転軸と、その回転軸に設けられた係合部材と、先端部
側が前記係合部材と係合し回転軸を一方向に回動させる
ように回動可能に支持された回動アームと、前記回動ア
ームの基端部側に設けられ電気変形して同回動アームを
回動させる電気変形素子と、前記電気変形素子を駆動制
御する駆動手段とからなる回転機をその要旨とするもの
である。
回転軸と、その回転軸に設けられた係合部材と、先端部
側が前記係合部材と係合し回転軸を一方向に回動させる
ように回動可能に支持された回動アームと、前記回動ア
ームの基端部側に設けられ電気変形して同回動アームを
回動させる電気変形素子と、前記電気変形素子を駆動制
御する駆動手段とからなる回転機をその要旨とするもの
である。
(作用)
回動アームの基端部側に設けられた電気変形素子を駆動
させると、同変形素子は伸長し回動アームの先端部側は
変形素子の伸長昂より増幅された量回動される。この回
動アームの回動にて同アームの先端部側に係合する係合
突起が回動され回転軸が回動される。
させると、同変形素子は伸長し回動アームの先端部側は
変形素子の伸長昂より増幅された量回動される。この回
動アームの回動にて同アームの先端部側に係合する係合
突起が回動され回転軸が回動される。
(実施例)
以下、この発明を具体化した一実施例を図面に従って説
明する。
明する。
第1図は回転機の分解斜視図を示し、この回転機は大き
く分けて本体ケース1と同本体ケース1内に収容される
駆動機構部2及び収容された駆動機構部2を密閉する上
面カバー3とから構成されている。前記本体ケース1は
断面U字状に形成され、その両側の支持フレーム1aに
は軸受部1bが形成されている。
く分けて本体ケース1と同本体ケース1内に収容される
駆動機構部2及び収容された駆動機構部2を密閉する上
面カバー3とから構成されている。前記本体ケース1は
断面U字状に形成され、その両側の支持フレーム1aに
は軸受部1bが形成されている。
回転軸4は前記軸受部1bに回転可能に軸支されている
。係合部材としてのホルダ5は本体ケース1内に配設さ
れ、前記回転軸4を負通させているとともに、第2図に
示すようにその右端部には係合突起5aを形成している
。ホルダ5はその側面を透設して孔6を形成し、その孔
6の一部内面を断面円弧状に形成して挟持面7を設け、
その挟持面7を前記回転軸4に対向させている。チャッ
ク8は前記孔6内において前記挟持面7に対して相対向
する位置に配設され、周孔6の下部内面に対して揺動可
能に連結されている。チャック8は前記挟持面7と対向
する側面を断面円弧状に形成して挟持面9を設け、その
挟持面9は前記チャック8の揺動に基づいて回転軸4の
周面に圧接されるようになっている。
。係合部材としてのホルダ5は本体ケース1内に配設さ
れ、前記回転軸4を負通させているとともに、第2図に
示すようにその右端部には係合突起5aを形成している
。ホルダ5はその側面を透設して孔6を形成し、その孔
6の一部内面を断面円弧状に形成して挟持面7を設け、
その挟持面7を前記回転軸4に対向させている。チャッ
ク8は前記孔6内において前記挟持面7に対して相対向
する位置に配設され、周孔6の下部内面に対して揺動可
能に連結されている。チャック8は前記挟持面7と対向
する側面を断面円弧状に形成して挟持面9を設け、その
挟持面9は前記チャック8の揺動に基づいて回転軸4の
周面に圧接されるようになっている。
ピエゾ素子よりなるチャック用圧電素子10は電圧を印
加すると伸長する素子であって、その先端部が前記チャ
ック8に形成した挟持面9と反対側の側面に固着され、
後端部がホルダ5に取着され孔6内に螺入された位置調
整ネジ11にて係止され後方への移動が規制されている
。前記位置調整ネジ11はチャック8に形成した挟持面
9と回転軸4の位置関係を調整するものであって、チャ
ック用圧電素子10が伸長してないとき、前記挟持面7
.9が回転軸4に対して解放され、かつチャック用圧電
素子10が伸長しているとき、確実に挟持面7.9は回
転軸4に挟着することができる相対位置にチャック8を
調整(圧接圧力の:l[)する。
加すると伸長する素子であって、その先端部が前記チャ
ック8に形成した挟持面9と反対側の側面に固着され、
後端部がホルダ5に取着され孔6内に螺入された位置調
整ネジ11にて係止され後方への移動が規制されている
。前記位置調整ネジ11はチャック8に形成した挟持面
9と回転軸4の位置関係を調整するものであって、チャ
ック用圧電素子10が伸長してないとき、前記挟持面7
.9が回転軸4に対して解放され、かつチャック用圧電
素子10が伸長しているとき、確実に挟持面7.9は回
転軸4に挟着することができる相対位置にチャック8を
調整(圧接圧力の:l[)する。
従って、チャック用圧電素子10に電圧が印加されて同
素子10が伸長すると、チャック8が前方に移動、即ち
挟持面9が回転軸4に圧接されることになる。その結果
、挟持面7.9は回転軸4に挟着することから、ホルダ
5は回転軸4に対して連結固定される。
素子10が伸長すると、チャック8が前方に移動、即ち
挟持面9が回転軸4に圧接されることになる。その結果
、挟持面7.9は回転軸4に挟着することから、ホルダ
5は回転軸4に対して連結固定される。
戻しバネ12は第2図に示すようにホルダ5の左側下面
とケース本体1の間に配設され、同ホルダ5を前記回転
軸4を回動中心として第2図において時計方向に回動さ
せる弾性力を付与するようになっている。
とケース本体1の間に配設され、同ホルダ5を前記回転
軸4を回動中心として第2図において時計方向に回動さ
せる弾性力を付与するようになっている。
逆り字状のブラケット13は前記ホルダ5と対向して前
記本体ケース1内に配設され、その基端部が同本体ケー
ス1に対してネジにて固定・されている。一方、ブラケ
ット13の先端部には回動アーム14が形成され、その
先端部には前記係合突起5aと係合する作動突起16が
形成されている。
記本体ケース1内に配設され、その基端部が同本体ケー
ス1に対してネジにて固定・されている。一方、ブラケ
ット13の先端部には回動アーム14が形成され、その
先端部には前記係合突起5aと係合する作動突起16が
形成されている。
回動アーム14のM端には切り込み部15が形成され同
切り込み部15の弾性変形にて、回動アーム14が同切
り込み部15を中心に回動可能になっている。
切り込み部15の弾性変形にて、回動アーム14が同切
り込み部15を中心に回動可能になっている。
電気変形素子としてのピエゾ素子よりなる回転用圧電素
子17は電圧を印加すると伸長する素子であって、その
先端部が前記回動アーム14の背面、即ち基端部に固着
され、後端部がブラケッ]・13の基端部に取着され位
置調整ネジ18にて係止され後方への移動が規制されて
いる。そして、回転用圧電素子17に電圧が印加されて
同素子17が伸長すると、回動アーム14は切り込み部
15の弾性力に抗して第2図において時計方向に回動さ
れる。従って、回動アーム14の作動突起16は係合突
起5a、即ちホルダ5を反時計方向に回動させることに
なる。この時、回転用圧電素子17は回動中心となる切
り込み部15に近い回動アーム14の基端部に固着され
ているので、同素子17の僅な伸長でも切り込み部15
より遠い作動突起16の回動量は大きくなる。
子17は電圧を印加すると伸長する素子であって、その
先端部が前記回動アーム14の背面、即ち基端部に固着
され、後端部がブラケッ]・13の基端部に取着され位
置調整ネジ18にて係止され後方への移動が規制されて
いる。そして、回転用圧電素子17に電圧が印加されて
同素子17が伸長すると、回動アーム14は切り込み部
15の弾性力に抗して第2図において時計方向に回動さ
れる。従って、回動アーム14の作動突起16は係合突
起5a、即ちホルダ5を反時計方向に回動させることに
なる。この時、回転用圧電素子17は回動中心となる切
り込み部15に近い回動アーム14の基端部に固着され
ているので、同素子17の僅な伸長でも切り込み部15
より遠い作動突起16の回動量は大きくなる。
第4図は前記各圧電素子10.17を駆動制御する駆動
装置の電気的構成を示し、駆動手段としての制御回路2
1は前記回転軸4を正逆回転させるための外部信号が入
力され、前記チャック用圧電素子10及び回転用圧電素
子17に印加する駆動電圧のタイミングを指令する駆動
制御信号を各駆動回路22.23に出力する。駆動回路
22゜23はこの駆動制御信号に応答して圧電素子10
゜17に駆動電圧を印加するようになっている。
装置の電気的構成を示し、駆動手段としての制御回路2
1は前記回転軸4を正逆回転させるための外部信号が入
力され、前記チャック用圧電素子10及び回転用圧電素
子17に印加する駆動電圧のタイミングを指令する駆動
制御信号を各駆動回路22.23に出力する。駆動回路
22゜23はこの駆動制御信号に応答して圧電素子10
゜17に駆動電圧を印加するようになっている。
次に、上記の゛ように構成された回転機の作用について
説明する。
説明する。
ホルダ5及び回動アーム14が第5図(a)に示す水平
状態において、チャック用圧電素子10が伸長し、ホル
ダ5が回転軸4に連結固定している状態で、回転用圧電
素子17に電圧を印加し伸長させると、回動アーム14
にてその僅かな伸長が同アーム先端においては増幅され
大きな回動量となる。よって、第5図(b)に示すよう
に作動突起16が係合突起5aを介してホルダ5を反時
計方向に回動させることとなる。この時、回転軸4はホ
ルダ5と連結固定されているので、ホルダ5と共に回動
する。
状態において、チャック用圧電素子10が伸長し、ホル
ダ5が回転軸4に連結固定している状態で、回転用圧電
素子17に電圧を印加し伸長させると、回動アーム14
にてその僅かな伸長が同アーム先端においては増幅され
大きな回動量となる。よって、第5図(b)に示すよう
に作動突起16が係合突起5aを介してホルダ5を反時
計方向に回動させることとなる。この時、回転軸4はホ
ルダ5と連結固定されているので、ホルダ5と共に回動
する。
そして、回転用圧電素子17が完全に伸長し回転軸4を
一定m回動させた後、チャック用圧電素子10に印加す
る電圧を切ると、第5図(C)に示すようにチャック用
圧電素子10は収縮することからチャック8は元の状態
に復帰する。
一定m回動させた後、チャック用圧電素子10に印加す
る電圧を切ると、第5図(C)に示すようにチャック用
圧電素子10は収縮することからチャック8は元の状態
に復帰する。
この復帰に基づいて挟持面7.9は回転軸4の挟着から
解放されホルダ5は回転軸4に対して連結固定状態から
解除される。続いて、回転用圧電素子17に印加する電
圧を切ると、同素子17は収縮して回動アーム14も元
の状態に復帰することから、ホルダ5の係合突起5aと
作動突起16との係合が解除される。
解放されホルダ5は回転軸4に対して連結固定状態から
解除される。続いて、回転用圧電素子17に印加する電
圧を切ると、同素子17は収縮して回動アーム14も元
の状態に復帰することから、ホルダ5の係合突起5aと
作動突起16との係合が解除される。
この解除に基づいてホルダ5は回転軸4を回動させるこ
となく戻しバネ12にて時計方向に回動され、第5図(
d)に示すように水平状態に復帰する。
となく戻しバネ12にて時計方向に回動され、第5図(
d)に示すように水平状態に復帰する。
そして、チャック用圧電素子10に電圧を印加し、以後
、前記動作を繰り返すことにより、回転軸4は反時計方
向に回転させられる。
、前記動作を繰り返すことにより、回転軸4は反時計方
向に回転させられる。
一方、回転軸4を時計方向に回転させる場合には、まず
、ホルダ5が回転軸4の連結固定から解放された状態で
回転用圧電素子17に駆動電圧を印加して、回動アーム
14による回転用圧電素子17の伸長の増幅動作にてホ
ルダ5のみを回動させる。ホルダ5を回動させた後、チ
ャック用圧電素子10に電圧を印加してホルダ5を回転
軸4に連結固定させる。続いて、回転用圧電素子17に
印加した電圧を切ると、回動アーム14は元の状態に復
帰する。この時、ホルダ5は戻しバネ12にて回転軸4
とともに時計方向に回動させられる。
、ホルダ5が回転軸4の連結固定から解放された状態で
回転用圧電素子17に駆動電圧を印加して、回動アーム
14による回転用圧電素子17の伸長の増幅動作にてホ
ルダ5のみを回動させる。ホルダ5を回動させた後、チ
ャック用圧電素子10に電圧を印加してホルダ5を回転
軸4に連結固定させる。続いて、回転用圧電素子17に
印加した電圧を切ると、回動アーム14は元の状態に復
帰する。この時、ホルダ5は戻しバネ12にて回転軸4
とともに時計方向に回動させられる。
以後、この動作を繰り返すことにより、回転軸4は時計
方向に回転させられる。
方向に回転させられる。
このように、本実施例においては各圧電素子10.17
に予め定めたタイミングの印加電圧、即ちバ、ルス電圧
に基づいて回転軸4を回転させることから回転軸4をス
テップ駆動させることができる。しかも、本実施例の回
転機はチャック用圧電素子10を取着したホルダ5と回
転用圧電素子17を取着した回動アーム14を相対向さ
せて配置しただけで回転軸4を回転させる構成なので、
その構成は従来の回転機に比べて非常に簡単でかつ全体
として非常に小形化することができる。
に予め定めたタイミングの印加電圧、即ちバ、ルス電圧
に基づいて回転軸4を回転させることから回転軸4をス
テップ駆動させることができる。しかも、本実施例の回
転機はチャック用圧電素子10を取着したホルダ5と回
転用圧電素子17を取着した回動アーム14を相対向さ
せて配置しただけで回転軸4を回転させる構成なので、
その構成は従来の回転機に比べて非常に簡単でかつ全体
として非常に小形化することができる。
又、ホルダ5の係合突起5aと回転用圧電素子17との
間に回動アーム14を介在させたことに ・より回転用
圧電素子17の僅かな伸長に基づいて回動アーム14の
先端部は同素子7の伸長聞より増幅されたm回動され回
転軸4は回動するため、回転用圧電素子17の僅かな伸
長により確実に回転軸4を回転させることができる。
間に回動アーム14を介在させたことに ・より回転用
圧電素子17の僅かな伸長に基づいて回動アーム14の
先端部は同素子7の伸長聞より増幅されたm回動され回
転軸4は回動するため、回転用圧電素子17の僅かな伸
長により確実に回転軸4を回転させることができる。
さらに、その回転軸4の回転角は非常に小さく高分解能
の回転機として利用することが可能となる。しかも、圧
電素子17の伸長する力は大きいので、回転機の大きさ
の割りには高トルクを得ることができる。さらに、回動
アーム14の長さを変えることによって回転角及びトル
クを適宜変更することもできる。
の回転機として利用することが可能となる。しかも、圧
電素子17の伸長する力は大きいので、回転機の大きさ
の割りには高トルクを得ることができる。さらに、回動
アーム14の長さを変えることによって回転角及びトル
クを適宜変更することもできる。
尚、この発明は前記実施例に限定されるものではなく、
例えば第6図に示すように実施してもよい。
例えば第6図に示すように実施してもよい。
即ち、回転軸4に一方向にのみその回転を許容するラチ
ェット等のワンウェイクラッチ24を装着するとともに
長い回動アーム25をワンウェイクラッチ24に備えら
れた係合部材としての係合突起28に係合させる。この
場合、長い回動アーム25を用いたことにより圧電素子
17の僅かな伸長に対し変位増幅率を大きくすることが
できる。
ェット等のワンウェイクラッチ24を装着するとともに
長い回動アーム25をワンウェイクラッチ24に備えら
れた係合部材としての係合突起28に係合させる。この
場合、長い回動アーム25を用いたことにより圧電素子
17の僅かな伸長に対し変位増幅率を大きくすることが
できる。
よって、ワンウェイクラッチ24のバックラッシュに吸
収されることなく確実に回転軸4を所定m回転させるこ
とができる。
収されることなく確実に回転軸4を所定m回転させるこ
とができる。
又、回動アームの形状は直線的に延設されたものの他、
第7図に示すように、2箇所にわたり屈曲形成された回
動アーム27を使用してもよく、要は増幅効果のあるア
ームであればその形状は問わない。
第7図に示すように、2箇所にわたり屈曲形成された回
動アーム27を使用してもよく、要は増幅効果のあるア
ームであればその形状は問わない。
さらに、回動アーム14はそれ自身に復元力(上記実施
例では弾性力)を有している必要はなく、回動アーム1
4と回転用圧電素子17とを固着することにより同圧電
素子17の収縮により回動アーム17を元の状態に復元
させるようにしてもよい。
例では弾性力)を有している必要はなく、回動アーム1
4と回転用圧電素子17とを固着することにより同圧電
素子17の収縮により回動アーム17を元の状態に復元
させるようにしてもよい。
さらには、前記両圧電素子10.17の電圧印加のタイ
ミングは前記実施例に限定されるものではなく、要は回
転軸4を一方向に回転するタイミングであれば適宜変更
して実施してもよい。
ミングは前記実施例に限定されるものではなく、要は回
転軸4を一方向に回転するタイミングであれば適宜変更
して実施してもよい。
又、前記実施例では回転軸4の正逆回転を1つの回転機
で行ったが、これをもう1つの回転機、即ちチャック用
圧電素子10を取着したホルダ5と回転用圧電素子17
を取着しだ回動アーム14を本体ケース1に逆さまに取
り付け、その逆ざまに取り付けた回転機を逆転専用の回
転機として実施してもよい。この場合、一方の回転機が
回転軸4を回転させているときには、他方の回転機のホ
ルダ5は当該回転軸4とは離脱状態にする必要がある。
で行ったが、これをもう1つの回転機、即ちチャック用
圧電素子10を取着したホルダ5と回転用圧電素子17
を取着しだ回動アーム14を本体ケース1に逆さまに取
り付け、その逆ざまに取り付けた回転機を逆転専用の回
転機として実施してもよい。この場合、一方の回転機が
回転軸4を回転させているときには、他方の回転機のホ
ルダ5は当該回転軸4とは離脱状態にする必要がある。
発明の効果
以上詳述したように、この発明の回転機によれば、従来
の回転機とはまったく構成が異なり、非常に簡単な構造
で小形化及び高精度化を図ることができるとともに、電
気変形素子による僅かな変位量を回動アームにて増幅す
ることにより確実に回転軸を回動させることができる優
れた効果を有する。
の回転機とはまったく構成が異なり、非常に簡単な構造
で小形化及び高精度化を図ることができるとともに、電
気変形素子による僅かな変位量を回動アームにて増幅す
ることにより確実に回転軸を回動させることができる優
れた効果を有する。
第1図から第5図はこの発明を具体化した一実施例を示
し、第1図は回転機の分解斜視図、第2図は回転機の要
部側面図、第3図は回転機の平面図、第4図はこの回転
機の電気的構成を示す電気ブロック回路図、第5図(a
)〜(d)は回転機の動作説明図、第6図及び第7図は
それぞれ他の実施例を示す回転機の要部側面図である。 図中、1は本体ケース、2は駆動機構部、3は上面カバ
ー、4は回転軸、5は係合部材としてのホルダ、5aは
係合突起、14は回動アーム、17は電気変形素子とし
ての回転用圧電素子、21は駆動手段としての制御回路
、25は回動アーム、28は係合部材としての係合突起
、27は回動アームである。 特許出願人 株式会社 芦田自動織機製作所代 理
人 弁理士 恩1)博宣 第2図 第3図 第6図 第7図
し、第1図は回転機の分解斜視図、第2図は回転機の要
部側面図、第3図は回転機の平面図、第4図はこの回転
機の電気的構成を示す電気ブロック回路図、第5図(a
)〜(d)は回転機の動作説明図、第6図及び第7図は
それぞれ他の実施例を示す回転機の要部側面図である。 図中、1は本体ケース、2は駆動機構部、3は上面カバ
ー、4は回転軸、5は係合部材としてのホルダ、5aは
係合突起、14は回動アーム、17は電気変形素子とし
ての回転用圧電素子、21は駆動手段としての制御回路
、25は回動アーム、28は係合部材としての係合突起
、27は回動アームである。 特許出願人 株式会社 芦田自動織機製作所代 理
人 弁理士 恩1)博宣 第2図 第3図 第6図 第7図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、回転可能に支持された回転軸と、 その回転軸に設けられた係合部材と、 先端部側が前記係合部材と係合し回転軸を一方向に回動
させるように回動可能に支持された回動アームと、 前記回動アームの基端部側に設けられ電気変形して同回
動アームを回動させる電気変形素子と、前記電気変形素
子を駆動制御する駆動手段とからなる回転機。 2、回転軸の係合部材は回転軸に一方向のみの回転を許
容するワンウェイクラッチに備えられた係合突起のであ
る特許請求の範囲第1項に記載の回転機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61302197A JPS63157683A (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 | 回転機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61302197A JPS63157683A (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 | 回転機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63157683A true JPS63157683A (ja) | 1988-06-30 |
Family
ID=17906101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61302197A Pending JPS63157683A (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 | 回転機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63157683A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20160144403A1 (en) * | 2011-10-06 | 2016-05-26 | Hysonic. Co., Ltd. | Vibrator equipped with piezoelectric element |
-
1986
- 1986-12-18 JP JP61302197A patent/JPS63157683A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20160144403A1 (en) * | 2011-10-06 | 2016-05-26 | Hysonic. Co., Ltd. | Vibrator equipped with piezoelectric element |
US10186653B2 (en) * | 2011-10-06 | 2019-01-22 | G2Hysonic Co., Ltd. | Vibrator equipped with piezoelectric element |
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