JPS6315453A - 表面実装型半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
表面実装型半導体装置及びその製造方法Info
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- JPS6315453A JPS6315453A JP61160273A JP16027386A JPS6315453A JP S6315453 A JPS6315453 A JP S6315453A JP 61160273 A JP61160273 A JP 61160273A JP 16027386 A JP16027386 A JP 16027386A JP S6315453 A JPS6315453 A JP S6315453A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
本発明は表面実装型半導体装置において、リードの端が
樹脂パッケージの底面に露出する構成として、実装密度
の向上を図り得る構造とし、且つリードの足曲げ加工を
不要として製造コストの低減を図るものである。
樹脂パッケージの底面に露出する構成として、実装密度
の向上を図り得る構造とし、且つリードの足曲げ加工を
不要として製造コストの低減を図るものである。
本発明は表面実装型半導体装置及びその製造方法に関す
る。
る。
第12図及び第13図は夫々従来の表面実装型の半導体
装置の各個を示す。
装置の各個を示す。
第12図の半導体装置1は、フラット形のパッケージ2
の側面の高さ方向上中央位置より、り一部3が延出した
構造である。
の側面の高さ方向上中央位置より、り一部3が延出した
構造である。
第13図の半導体装置4は、リード5がパッケージ6の
側面から底面側に8字形の曲げられた構造である。
側面から底面側に8字形の曲げられた構造である。
第12図の半導体装置1では、リード3はパッケージ2
より延出した部分が折曲されている関係上、リード3の
パッケージ2より延出した寸法Wlを極端に短くするこ
とは困難であり、寸法Wl は曲げ加工を支障なく行な
いうる程度の寸法としである。このパッケージ2の両側
より延出したリード3の存在により、半導体装置1は実
装密度の向上を図る上で制限を受けていた。
より延出した部分が折曲されている関係上、リード3の
パッケージ2より延出した寸法Wlを極端に短くするこ
とは困難であり、寸法Wl は曲げ加工を支障なく行な
いうる程度の寸法としである。このパッケージ2の両側
より延出したリード3の存在により、半導体装置1は実
装密度の向上を図る上で制限を受けていた。
第13図の半導体装置4は、リードがパッケージの側方
に延出していないため、実装密度の向上を図ることは出
来るが、モールド後に曲げ工程を必要とし、しかも8字
形に曲げるための型の構造が複雑となり、故障率も高く
、高価でもあり、足曲げ加工に問題があった。
に延出していないため、実装密度の向上を図ることは出
来るが、モールド後に曲げ工程を必要とし、しかも8字
形に曲げるための型の構造が複雑となり、故障率も高く
、高価でもあり、足曲げ加工に問題があった。
本発明は、半導体チップと、該半導体チップが固着され
たステージと、夫々の一端側が該半導体チップとワイヤ
接続された複数のリードと、該半導体チップを、上記ス
テージ及び上記複数のリードと共に封止する樹脂パッケ
ージとよりなり、該複数のリードは、該樹脂パッケージ
内でこの高さ方向に屈曲してあり、夫々の他端側が端子
として該樹脂パッケージの底面に露出してなる構成とし
たものである。
たステージと、夫々の一端側が該半導体チップとワイヤ
接続された複数のリードと、該半導体チップを、上記ス
テージ及び上記複数のリードと共に封止する樹脂パッケ
ージとよりなり、該複数のリードは、該樹脂パッケージ
内でこの高さ方向に屈曲してあり、夫々の他端側が端子
として該樹脂パッケージの底面に露出してなる構成とし
たものである。
リードのうち端子となる部分が樹脂パッケージの底面に
露出した構成は、リードの樹脂パッケージよりの側方へ
の張り出しを基本的には無くして、実装!度の向上を図
り得る表面実装型半導体装置を実現する。また上記の構
成は、リードの張り出し部の面倒な曲げ加工を不要とし
、製造コストの低減を可能とする。
露出した構成は、リードの樹脂パッケージよりの側方へ
の張り出しを基本的には無くして、実装!度の向上を図
り得る表面実装型半導体装置を実現する。また上記の構
成は、リードの張り出し部の面倒な曲げ加工を不要とし
、製造コストの低減を可能とする。
第1図乃至第5図は夫々本発明の一実施例である表面実
装型半導体装置10を示す。
装型半導体装置10を示す。
各図中、11は半導体チップであり、ステージ12上に
搭載固着しである。13は複数のリードである。半導体
チップ11と各リード13の一端側13aとがワイヤ1
4により接続しである。
搭載固着しである。13は複数のリードである。半導体
チップ11と各リード13の一端側13aとがワイヤ1
4により接続しである。
15は樹脂パッケージであり、半導体チップ11゜ステ
ージ12.複数のリード13.ワイヤ14及びステージ
12を支持するサポートパー16がこの内部に封止され
ている。
ージ12.複数のリード13.ワイヤ14及びステージ
12を支持するサポートパー16がこの内部に封止され
ている。
第2図に示すように、各リード1゛3は、樹脂パッケー
ジ15内でこの高さHの方向に屈曲しており、この他端
側13bは水平とされている。この水平な他端側13b
の一部は樹脂パッケージ15の底面15aに露出してお
り、先端部は樹脂パッケージ15の底面15aより樹脂
パッケージ15の側方に延出している。この他端側13
b(露出部13 t)−+と延出部13b−2とよりな
る)の下面には、第2図及び第5図に示すように半田1
7が盛られており、他端側13bは端子18の役割を果
たす。
ジ15内でこの高さHの方向に屈曲しており、この他端
側13bは水平とされている。この水平な他端側13b
の一部は樹脂パッケージ15の底面15aに露出してお
り、先端部は樹脂パッケージ15の底面15aより樹脂
パッケージ15の側方に延出している。この他端側13
b(露出部13 t)−+と延出部13b−2とよりな
る)の下面には、第2図及び第5図に示すように半田1
7が盛られており、他端側13bは端子18の役割を果
たす。
上記の半導体装置10は、端子18をプリント回路基板
の対応する電極に半田付けされて、プリント回路基板の
表面に実装される。
の対応する電極に半田付けされて、プリント回路基板の
表面に実装される。
この半導体装置10において、リード13のうち延出部
13F) 2は実装の際に治具の先端が押圧するよう
に用意された部分であり、屈曲しておらず直線的であり
、その寸法W2は第12図の寸法W1に比べて相当小ざ
い。これにより、半導体装置10は、第12図の半導体
装置1に比べて高い密度で実装することが可能となる。
13F) 2は実装の際に治具の先端が押圧するよう
に用意された部分であり、屈曲しておらず直線的であり
、その寸法W2は第12図の寸法W1に比べて相当小ざ
い。これにより、半導体装置10は、第12図の半導体
装置1に比べて高い密度で実装することが可能となる。
またプリント回路基板上の電極には、露出部13b−+
と延出部13b−2との両者の部分で半田付けされるた
め、半導体装置10は十分に堅固に実装される。
と延出部13b−2との両者の部分で半田付けされるた
め、半導体装置10は十分に堅固に実装される。
延出部13t)−2にはモールド後のプレス加工は必要
でなく、第13図に示す半導体装置4に比べると、少な
い加工工数で、しかも複雑なプレス金型を使用すること
なく安価に製造される。
でなく、第13図に示す半導体装置4に比べると、少な
い加工工数で、しかも複雑なプレス金型を使用すること
なく安価に製造される。
また、延出部13b−2は、実装の際には治具により押
圧される部分として、実装後は応力吸収部として機能す
るが、必ずしも不可欠の部分ではなく、場合によっては
省略してもよい。この延出部13t)−2を無くした場
合には、実装密度を更に向上させることが可能となる。
圧される部分として、実装後は応力吸収部として機能す
るが、必ずしも不可欠の部分ではなく、場合によっては
省略してもよい。この延出部13t)−2を無くした場
合には、実装密度を更に向上させることが可能となる。
第2図に示すように、リード13は屈曲しており、他端
側13bから一端側13aまでのリード13に沿う距1
!1t2+は、リードが直線である場合に比べて長い。
側13bから一端側13aまでのリード13に沿う距1
!1t2+は、リードが直線である場合に比べて長い。
また第3図に示すように、サポートパー16も屈曲して
おり、この端より半導体チップ11までのサポートパー
に沿う距離22も、サポートパーが直線である場合に比
べて長い。この長さJl+ 、 f!、zが長い分だけ
、これに沿って侵入する水分の侵入深さを抑制出来、半
導体装置10は、優れた耐湿性を有する。
おり、この端より半導体チップ11までのサポートパー
に沿う距離22も、サポートパーが直線である場合に比
べて長い。この長さJl+ 、 f!、zが長い分だけ
、これに沿って侵入する水分の侵入深さを抑制出来、半
導体装置10は、優れた耐湿性を有する。
リード13及びサポートパー16は、第2図及び第3図
に示すように屈曲してあり、半導体デツプ11は樹脂パ
ッケージ15の中心位置で封止されている。
に示すように屈曲してあり、半導体デツプ11は樹脂パ
ッケージ15の中心位置で封止されている。
次に上記半導体装置10の製造方法について説明する。
まず、ステージ12.リード13.サポートパー16を
備えたリードフレームの製造工程について説明する。
備えたリードフレームの製造工程について説明する。
第6図(A)、(B)、(C)は四段階のプレス工程を
杼て完成したリードフレーム20を示す。
杼て完成したリードフレーム20を示す。
第7図(A)、(B)は第1番目のプレス(打抜き)加
工後のリードフレーム2OAを示す。
工後のリードフレーム2OAを示す。
21は矩形状のステージ・リード形成予定部であり、そ
の四隅の個所が細幅のベントパー22゜23.24.2
5により、両側のフレーム本体26.27につながって
いる。更にフレーム本体26.27にも、スリット28
.29により相対的に形成された細幅のベントパー30
.31が形成しである。ステージ・リード形成予定部2
1の中央より第7図(A)中上下に延出しているサポー
トパー16の一部の先端が、夫々ベントパー30.31
につながっている。
の四隅の個所が細幅のベントパー22゜23.24.2
5により、両側のフレーム本体26.27につながって
いる。更にフレーム本体26.27にも、スリット28
.29により相対的に形成された細幅のベントパー30
.31が形成しである。ステージ・リード形成予定部2
1の中央より第7図(A)中上下に延出しているサポー
トパー16の一部の先端が、夫々ベントパー30.31
につながっている。
ステージ・リード形成予定部21の第7図(A)中左右
寄りの個所には、リードの前記他端側13b(第2図参
照)を形成する複数の開口窓32が形成してあり、且つ
左右端にはタイバー33.34が残置形成しである。
寄りの個所には、リードの前記他端側13b(第2図参
照)を形成する複数の開口窓32が形成してあり、且つ
左右端にはタイバー33.34が残置形成しである。
このリードフレーム2OAに第2番目のプレス(成形)
加工を施し、第7図(C)、(D)に示すように、ステ
ージ・リード形成予定部21が上方に台状とされたリー
ドフレーム20Bを1qる。
加工を施し、第7図(C)、(D)に示すように、ステ
ージ・リード形成予定部21が上方に台状とされたリー
ドフレーム20Bを1qる。
35は台状部36.37.38.39は傾斜部である。
台状部35の形成に伴ってステージ・リード形成予定部
21の周縁部は中央に引き寄せられる。このときベント
パー22〜25.30.31が第7図(C)に示すよう
に屈曲して応力を吸収し、ステージ・リード形成予定部
21はこ)に応力が残留しない状態で台状とされる。
21の周縁部は中央に引き寄せられる。このときベント
パー22〜25.30.31が第7図(C)に示すよう
に屈曲して応力を吸収し、ステージ・リード形成予定部
21はこ)に応力が残留しない状態で台状とされる。
次に、このリードフレーム20Bの台状部35に第3番
目のプレス(打抜き)加工を施し、第7図(E)、(F
)に示すように、リード13の一端側13a、ステージ
12.及びサポートパー16の中央部が形成されたリー
ドフレーム20Cを得る。
目のプレス(打抜き)加工を施し、第7図(E)、(F
)に示すように、リード13の一端側13a、ステージ
12.及びサポートパー16の中央部が形成されたリー
ドフレーム20Cを得る。
次にこのリードフレーム20Cのサポートパー16に第
4番目のプレス(成形)加工を施し、第6図(A)、(
B)、(C)に示すリードフレーム20を得る。40.
41は傾斜部である。
4番目のプレス(成形)加工を施し、第6図(A)、(
B)、(C)に示すリードフレーム20を得る。40.
41は傾斜部である。
第6図(A>、(B)に示すように、リード13は高さ
方向に屈曲している。こ)でリード13の一端側13a
は、上記ようにペン1〜バー22〜25.30.31の
屈曲を伴って形成された台状部35を打ち扱いて形成さ
れているため、各リード13は残留応力が無い状態で形
成され、然して残留応力に因る狂いを起こすことなく高
精度に形成され、後述するワイヤボンディングの際にボ
ンディングミスは起こらない。
方向に屈曲している。こ)でリード13の一端側13a
は、上記ようにペン1〜バー22〜25.30.31の
屈曲を伴って形成された台状部35を打ち扱いて形成さ
れているため、各リード13は残留応力が無い状態で形
成され、然して残留応力に因る狂いを起こすことなく高
精度に形成され、後述するワイヤボンディングの際にボ
ンディングミスは起こらない。
また第6図(A)、(C)に示すように、ステージ12
はリード13の一端側13aより一段低く形成しである
。
はリード13の一端側13aより一段低く形成しである
。
次に、第8図(A)、(B)に示すように、リードフレ
ーム20のステージ12上に半導体チップ11を固着し
、半導体デツプ11の電極部とこれを囲むように配され
ているリード13の一端側13aとの間をワイヤ14で
接続する。リード13の一端側13aは前記のように高
′M麿に形成されているため、ワイヤボンディングはボ
ンディングミスを起こすことなく行なわれる。
ーム20のステージ12上に半導体チップ11を固着し
、半導体デツプ11の電極部とこれを囲むように配され
ているリード13の一端側13aとの間をワイヤ14で
接続する。リード13の一端側13aは前記のように高
′M麿に形成されているため、ワイヤボンディングはボ
ンディングミスを起こすことなく行なわれる。
次いで、リードフレーム20を金型にセットし、第8図
(A)、(B)、(C)で示すように樹脂成形して、半
導体チップ11.及びリード13等を封止する。
(A)、(B)、(C)で示すように樹脂成形して、半
導体チップ11.及びリード13等を封止する。
次に、金型より取り出されたリードフレーム20と樹脂
パッケージ15とが一体化されたちのに、第9図(A>
、(B)、(C)に示すようにリード13の他端側13
bに半田揚げ(フェースボンド)してこの下面に半田1
7を盛る。
パッケージ15とが一体化されたちのに、第9図(A>
、(B)、(C)に示すようにリード13の他端側13
bに半田揚げ(フェースボンド)してこの下面に半田1
7を盛る。
最後に、第8図(A)及び第9図(A)、(8)、(C
)に示すように、切断線42〜45に沿ってリード13
及びサポートパー16を切断する。
)に示すように、切断線42〜45に沿ってリード13
及びサポートパー16を切断する。
リード13については、タイバー33.34の内側の個
所で切断され、サポートパー16については樹脂パッケ
ージ15の長手方向上両端の位置で切断される。
所で切断され、サポートパー16については樹脂パッケ
ージ15の長手方向上両端の位置で切断される。
これにより、第1図乃至第5図に示す半導体装置10が
得られる。
得られる。
第10図及び第11図は夫々本発明の他の実施例になる
表面実装型半導体装置50を示す。各図中、第2図及び
第3図に示す構成部分と実質上対応する部分には同一符
号を付し、その説明を省略する。
表面実装型半導体装置50を示す。各図中、第2図及び
第3図に示す構成部分と実質上対応する部分には同一符
号を付し、その説明を省略する。
この半導体装置50は、ステージ12をリード13より
上方に形成して、半導体チップ11をステージ12の下
面に固着してなる構成である。
上方に形成して、半導体チップ11をステージ12の下
面に固着してなる構成である。
本発明によれば、リードのうち端子となる部分が樹脂パ
ッケージの底面に露出してなる構成であるため、リード
の樹脂パッケージより側方への張り出しを極く短くし得
、更にはこの張り出しを無くすることも出来、これより
実装密度の向上を図り得る構造を実現出来、またリード
の張り出し部の曲げ加工が不要であり、このための金型
も不要となり、製造コストの低減を図ることが出来、ま
たリードは樹脂パッケージ内で高さ方向に屈曲しである
ため、半導体チップはリードの一端に対応する個所で完
全に樹脂により封止しされ得るという特長を有する。
ッケージの底面に露出してなる構成であるため、リード
の樹脂パッケージより側方への張り出しを極く短くし得
、更にはこの張り出しを無くすることも出来、これより
実装密度の向上を図り得る構造を実現出来、またリード
の張り出し部の曲げ加工が不要であり、このための金型
も不要となり、製造コストの低減を図ることが出来、ま
たリードは樹脂パッケージ内で高さ方向に屈曲しである
ため、半導体チップはリードの一端に対応する個所で完
全に樹脂により封止しされ得るという特長を有する。
第1図は本発明の表面実装型半導体装置の一実施例の斜
視図、 第2図及び第3図は夫々第1図の半導体装置の内部の構
造を示す。第1図中■−■線、及び■−■線に沿う断面
矢視図、 第4図及び第5図は夫々第1図の半導体装置の平面図及
び底面図、 第6図(A)はリードフレームの平面図、第6図CB)
、(C)は夫々第6図(A)中VIB−VIB線、及び
VIC−VICmmに沿う断面矢視図、 第7図(A)乃至(F)は第6図のリードフレームを製
造する工程を説明する図、 第8図<A)は第6図(A)のリードフレームに半導体
チップが固着されワイヤボンディングされた状態の平面
図、 第8図(B)、(C)は夫々第8図(A)中■B−■B
線、及び■C−■C線に沿う断面矢視図、 第9図(A)、(B)、(C)は夫々樹脂成形、して半
田揚げした後の状態の一部を拡大して示す平面図、断面
図、底面図、 第10図及び第11図は夫々本発明の表面実装型半導体
装置の別の実施例の、第2図及び第3図に対応する断面
図、 第12図及び第13図は夫々従来の表面実装型半導体装
置の各個の斜視図である。 図中において、 10.50は表面実装型半導体装置、 11は半導体チップ、 12はステージ、 13はリード、 13aは一端側、 13bは他端側、 13b−+は露出部、 13b 2は延出部、 14はワイヤ、 15は樹脂パッケージ、 15aは底面、 16はサポートバー、 17は半田、 18は端子、 20は完成したリードフレーム、 20A〜20Cはリードフレーム、 21はステージ・リード形成予定部、 22〜25.30.31はベントバー、26、.27は
フレーム本体′、 28.29はスリット、 32は間口窓、 33.34はタイバー、 35は台状部、 36〜41は傾斜部、 42〜45は切断線である。 ・・〜ご、−・ “−7′ 第1図 嘗づ圓申ト■暉11刀つ斡l大罠Σ 第2図 +1−に7L−−ム1ホイ因 第6図 0A (B) (A) 11−Yフレームリ製樹t=イ111炉y呵オる図(C
) (A)第8図 第9図 呈署幻灸挨量11陣畳 第0図 ±
視図、 第2図及び第3図は夫々第1図の半導体装置の内部の構
造を示す。第1図中■−■線、及び■−■線に沿う断面
矢視図、 第4図及び第5図は夫々第1図の半導体装置の平面図及
び底面図、 第6図(A)はリードフレームの平面図、第6図CB)
、(C)は夫々第6図(A)中VIB−VIB線、及び
VIC−VICmmに沿う断面矢視図、 第7図(A)乃至(F)は第6図のリードフレームを製
造する工程を説明する図、 第8図<A)は第6図(A)のリードフレームに半導体
チップが固着されワイヤボンディングされた状態の平面
図、 第8図(B)、(C)は夫々第8図(A)中■B−■B
線、及び■C−■C線に沿う断面矢視図、 第9図(A)、(B)、(C)は夫々樹脂成形、して半
田揚げした後の状態の一部を拡大して示す平面図、断面
図、底面図、 第10図及び第11図は夫々本発明の表面実装型半導体
装置の別の実施例の、第2図及び第3図に対応する断面
図、 第12図及び第13図は夫々従来の表面実装型半導体装
置の各個の斜視図である。 図中において、 10.50は表面実装型半導体装置、 11は半導体チップ、 12はステージ、 13はリード、 13aは一端側、 13bは他端側、 13b−+は露出部、 13b 2は延出部、 14はワイヤ、 15は樹脂パッケージ、 15aは底面、 16はサポートバー、 17は半田、 18は端子、 20は完成したリードフレーム、 20A〜20Cはリードフレーム、 21はステージ・リード形成予定部、 22〜25.30.31はベントバー、26、.27は
フレーム本体′、 28.29はスリット、 32は間口窓、 33.34はタイバー、 35は台状部、 36〜41は傾斜部、 42〜45は切断線である。 ・・〜ご、−・ “−7′ 第1図 嘗づ圓申ト■暉11刀つ斡l大罠Σ 第2図 +1−に7L−−ム1ホイ因 第6図 0A (B) (A) 11−Yフレームリ製樹t=イ111炉y呵オる図(C
) (A)第8図 第9図 呈署幻灸挨量11陣畳 第0図 ±
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)半導体チップ(11)と、 該半導体チップ(11)が固着されたステージ(12)
と、 夫々の一端側(13a)が該半導体チップ (11)とワイヤ接続された複数のリード(13)と、 該半導体チップ(11)を、上記ステージ (12)及び上記複数のリード(13)と共に封止する
樹脂パッケージ(15)とよりなり、該複数のリード(
13)は、該樹脂パッケージ(15)内でこの高さ方向
に屈曲してあり、夫々の他端側(13b)が端子(18
)として該樹脂パッケージ(15)の底面(15a)に
露出してなる構成としたことを特徴とする表面実装型半
導体装置。 (2)リードフレーム(20A)をプレス加工して、リ
ード(13)を段状に形成すると共にステージ(12)
を形成する工程と、 半導体チップ(11)と該ステージ(12)に固着して
該半導体チップ(11)と上記リード(13)の一端側
(13a)との間にワイヤ(14)を接続する工程と、 該半導体チップ(11)を取り囲み、該リードの他端側
(13b)が樹脂パッケージ(15)の底面(15a)
より露出するように樹脂封止する工程とよりなることを
特徴とする表面実装型半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61160273A JPS6315453A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 表面実装型半導体装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61160273A JPS6315453A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 表面実装型半導体装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6315453A true JPS6315453A (ja) | 1988-01-22 |
Family
ID=15711429
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61160273A Pending JPS6315453A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 表面実装型半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6315453A (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02298057A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-10 | Sanyo Electric Co Ltd | リードフレームとその加工方法、および半導体装置の製法 |
JPH02305456A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-19 | Sanyo Electric Co Ltd | リードフレームとその加工方法、および半導体装置の製法 |
EP0623954A1 (en) * | 1993-05-07 | 1994-11-09 | AT&T Corp. | Molded plastic packaging of electronic devices |
US5519251A (en) * | 1992-10-20 | 1996-05-21 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and method of producing the same |
US5760471A (en) * | 1994-04-20 | 1998-06-02 | Fujitsu Limited | Semiconductor device having an inner lead extending over a central portion of a semiconductor device sealed in a plastic package and an outer lead exposed to the outside of a side face of the plastic package |
US5801439A (en) * | 1994-04-20 | 1998-09-01 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and semiconductor device unit for a stack arrangement |
EP0999591A1 (en) * | 1998-11-05 | 2000-05-10 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor package |
US6084309A (en) * | 1992-10-20 | 2000-07-04 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and semiconductor device mounting structure |
US6175150B1 (en) * | 1997-04-17 | 2001-01-16 | Nec Corporation | Plastic-encapsulated semiconductor device and fabrication method thereof |
US6462424B1 (en) | 1992-10-20 | 2002-10-08 | Fujitsu Limited | Semiconductor device, method of producing semiconductor device and semiconductor device mounting structure |
JP2007048993A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体デバイスおよびその製造方法 |
JP2016001763A (ja) * | 1999-06-30 | 2016-01-07 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
1986
- 1986-07-08 JP JP61160273A patent/JPS6315453A/ja active Pending
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02298057A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-10 | Sanyo Electric Co Ltd | リードフレームとその加工方法、および半導体装置の製法 |
JPH02305456A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-19 | Sanyo Electric Co Ltd | リードフレームとその加工方法、および半導体装置の製法 |
US5773313A (en) * | 1992-10-20 | 1998-06-30 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and method of producing the same |
US5519251A (en) * | 1992-10-20 | 1996-05-21 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and method of producing the same |
US6084309A (en) * | 1992-10-20 | 2000-07-04 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and semiconductor device mounting structure |
US6462424B1 (en) | 1992-10-20 | 2002-10-08 | Fujitsu Limited | Semiconductor device, method of producing semiconductor device and semiconductor device mounting structure |
US5548087A (en) * | 1993-05-07 | 1996-08-20 | At&T Corp. | Molded plastic packaging of electronic devices |
EP0623954A1 (en) * | 1993-05-07 | 1994-11-09 | AT&T Corp. | Molded plastic packaging of electronic devices |
US5760471A (en) * | 1994-04-20 | 1998-06-02 | Fujitsu Limited | Semiconductor device having an inner lead extending over a central portion of a semiconductor device sealed in a plastic package and an outer lead exposed to the outside of a side face of the plastic package |
US5801439A (en) * | 1994-04-20 | 1998-09-01 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and semiconductor device unit for a stack arrangement |
US6175150B1 (en) * | 1997-04-17 | 2001-01-16 | Nec Corporation | Plastic-encapsulated semiconductor device and fabrication method thereof |
EP0999591A1 (en) * | 1998-11-05 | 2000-05-10 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor package |
JP2016001763A (ja) * | 1999-06-30 | 2016-01-07 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US9484288B2 (en) | 1999-06-30 | 2016-11-01 | Renesas Technology Corporation | Semiconductor device and a method of manufacturing the same and a mounting structure of a semiconductor device |
JP2007048993A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体デバイスおよびその製造方法 |
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