JPS63152121A - 試料の固定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の属する技術分野］ 本発明は荷電ビーム描画装貯等における試料の固定装置
に係り特に大型試料の固定装置に関する。

荷電ビーム描画装置等において、試料の描画面の高さは
荷電ビーム鏡筒の焦点に高さを一致させるように構成し
である。

［従来技術］ 荷電ビーム描画装置における従来の試料固定装置の一例
を第４図により述べる。ホルダ本体２１の底面に一側を
接したクランプバネ２４により試料２３は上方に押圧さ
れ、その１面がホルダ本体２１に固着された基準片２２
に接することにより、試料２３は厚さが変化しても描画
面の高さ方向の位置は変化しないようになっている。

このような方式において試料２３が大型になると、これ
を基準片２２に押し付けかつ横方向にも位置ずれを起こ
させないようにするには、クランプバネ２４の押付力を
大きくする必要がありこのためホルダ本体２１が大きく
なる欠点があった。

第５図は試料固定装置の従来の他側である。この例では
複数の基準ピン２６を挿入した基準板２８の上面に試料
２３は、Ｉｆされ、基準ピン２６の上面の高さは不図示
プリセット機構により試料２３の上面に等しくされてい
る。基準ピン２６はその下方をホルダ本体２７に一側を
接しているクランプバネ２９に押し圧され、その上面は
ホルダ本体２７に固着された基準片２５の下面に接して
いる。また基準板２８は横押しバネ３０を介して基準ピ
ン２６を押圧することによりその高さ方向の位置を保持
している。従って試料２３は厚さが変ってもその描画面
の高さは基準片２５の下面と常に同一である。

この方式において基準板２８は横押しバネ３０により基
準ピン２６に位置決めされておりこのときの押圧力は、
試料２３の重量を含む基準板２８の重量に対し、横押し
バネ３０の押圧力に摩擦係数をかけた数値以上の押圧力
にする必要がある。このため試料２３の大型化にともな
って基準板２８も大型になり、さらにクランプバネ２９
や横押しバネ３０も大型になってホルダ本体２７を含む
装置全体が大型になる欠点があった。

［発明の目的］ 本発明はこのような欠点を除去したものでその目的は、
試料を上方向に向けてクランプするための押圧力を大き
くせずまた基準板の基準ピンに対する押圧力を大きくし
ないことにより、装設を大きくしないようにした試料の
固定装置を提供することにある。

［発明の要点］ 本発明における試料の固定装置は、試料を重力方向に支
持固定する縦基準面を有すると共に水平方向の位置を決
めるため力の作用する方向に対し２個の横基準面を形成
した孔を３個以上有するホルダ本体と、孔に挿入されそ
の一側をステージに接すると共にホルダ本体に対しその
長手方向の相対移動が自在でありかつ２個の横基準面に
接合する面を有する基準ピンと、基準ピンをホルダ本体
に押し付ける押付機構と、基準ピンとホルダ本体との間
に取り付けられることによりホルダ本体の高さ方向位置
を設定する魯噂カムとからなることを特徴にしている。

［発明の実施例］ 以下本発明の一実施例を示した第１図および第２図につ
いて説明する。試料２３はホルダ本体ｌの重力方向であ
る縦基準面上に載置され不図示のバネを有するクランプ
機構２により固定されている。ホルダ本体ｌには一例と
して３個の孔３があけられ番孔３は内側に向って角部を
形成する２面が横基準面として設けてあり、この孔３に
は２面の横基準面に接する面を有する基準ピン４が挿入
されている。

基準ピン４は横基準面に接する側の反対側を平面にし、
この平面をホルダ本体ｌに設けた押付機構５が押し付け
ていることによりホルダ本体ｌと基準ピン４とは係合し
ている。押付機構５は先端を大径部６にした頭付ピン７
と皿状をなしホルダ本体ｌの端面に固着したバネ押さえ
８と、頭付ピン７の大径部６とバネ押え８との間に設け
たバネ９により構成されている。

前記説明の孔３において内側に向う角部の２面を横基準
面にしたが、第３図に示す非円形の孔は先づ円形の基準
ピン４Ａと同径の孔３Ａをホルダ本体ＩＡにあけ、この
孔３Ａの圧押付機構５側のほぼ１２００の部分を横基準
面にし、横基準面以外の部分を上記孔３Ａより若干小径
の孔３５で削る。

調整することによりホルダ本体ｌの高さ方向位置を設定
しており、偏心カム１１の偏心量を小さくすることによ
り偏心カム１１がホルダ本体１等の荷重を受けたとき自
転しないようにしである。

１２はホルダ本体１や基準ピン４等を載置するステージ
であって基準ピン４はその下側がステージ１２に接し、
上側はステージ１２上に固着された台１３に回転自在に
取り付けられたクランプ片１４に接し、かつクランプ片
１４がクランプバネ１５を介して下方に付勢されている
ことにより基準ピン４等はステージ１２に固定される。

なお基準ピン４等は一例として３個設けたがこれに限定
することなく、横基準面を互いに向い合う方向にして４
個以上設けてもよい。

次に前述した実施例の動作を説明する。先づホルダ本体
１と基準ピン４等をステージ１２から取り外し不図示の
プリセット機構にこれらを載置する０次に頭付ピン７を
引いてこれの押圧力が基準ピン４に（動かないようにし
て、偏心カム１１を回転させてホルダ本体１を上下動さ
せることにより、試料２３の厚さに対応した規定量だけ
基準ピン４をホルダ本体ｌから突出させる。この後頭付
ピン７を自由状態にして基準ピン４を押圧しこれとホル
ダ本体１とを係合させる。

このようにセットされたホルダ本体１と基準ピン４等を
ステージ１２上に搬送しクランプ片１４により基準ピン
４等をステージ１２にクランプする。基準ピン４がステ
ージ１２上にクランプされた結果ホルダ本体１の上下方
向は偏心カム１１に支えられ、水平方向はホルダ本体１
と基準［発明の効果］ 本発明における試料の固定装置は以上説明したように、
試料を載置固定するホルダ本体に対しこれとの相対移動
を自在にした基準ピンを３個以上挿入し、かつこの挿入
孔に設けた横基準面に基準ピンを押付機構により押し付
けて両者の隙間をなくして係合させると共に、基準ピン
とホルダ本体との間には参参カムを設けてホルダ本体を
支持しかつその高さ方向位舒を設定するように構成した
。そして基準ピンをクランプ片を介してステージ上に固
定するようにした。

このためホルダ本体は４噂カムに位置決めされかつ支持
されることにより従来のように試料を上方向に向けて押
し圧するクランプバネは不要になる。またホルダ本体の
水平方向の位置決めはホルダ本体の孔に設けた横基準面
に基準ピンをバネに圧 より押しｘして行っているが、このバネは基準ピンを水
平方向に移動させればよいため小型でありステージ上で
の移動時の加速度や振動による力を考慮する必要はない
、この結果固定装置は構造が小さくかつ重量も大幅に軽
減されてコストが低くなる利点を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の一実施例を示し第１図は
平面図、第２図は第１図の２−２９断面図、第３図は本
発明の他の実施例を示す部分平面図、第４図および第５
図は異なる形状の従来例の断面図である。 ｌ・・・ホルダ本体、３・・・孔、４・・・基準ピン、
５・・・押付機構、１１・・・番中カム、１２・・・ス
テージ。 ２３・・・試料。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 試料を重力方向に支持固定する縦基準面を有すると共に
   水平方向の位置を決めるため力の作用する方向に対し２
   個の横基準面を形成した孔を３個以上有するホルダ本体
   と、前記孔に挿入されその一側をステージに接すると共
   に前記ホルダ本体に対しその長手方向の相対移動が自在
   でありかつ前記２個の横基準面に接合する面を有する基
   準ピンと、同基準ピンを前記ホルダ本体に押し付ける押
   付機構と、前記基準ピンと前記ホルダ本体との間に取り
   付けられて前記ホルダ本体の高さ方向位置を設定するカ
   ムとからなる試料の固定装置。