KR950003424Y1 - 전자현미경(epma)용 대형 시편받침대 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

전자현미경(EPMA)용 대형 시편받침대

제1도는 종래 시편받침대의 사시도.

제2도는 종래 시편받침대의 사용상태 정면도.

제3도는 본 고안에 의한 시편받침대의 사시도.

제4도는 본 고안의 구성요부인 시편받침대의 사시도.

제5a, b도는 본 고안의 각기 다른 예의 사용상태를 도시한 정면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 받침대본체 2 : 레일

3,4 : 측변지지대 5,6 : 높이규제판

7 : 고정나사 8 : 암나사공

11 : 시편받침판 15 : 스프링

13 : 지지나사 14 : 높이확인선

본 고안은 분석용 전자현미경(EPMA)에 사용되는 대형 시편받침대에 관한 것으로서, 특히 시편의 두께나, 경사변화에 대응하여 시편의 관찰 및 성분분석을 정확하게 수행할 수 있게한 대형 시편받침대에 관한 것이다.

일반적으로 이때까지의 전자현미경용 대형 시편받침대의 구성은 제1도 및 제2도에 도시한 바와 같이 시편(T)이 얹혀지는 대략 트랙형으로 된 받침대본체(1) 하부에 전자현미경(도시하지 않음) 내부로 받침대를 장입하기 위한 한 쌍의 레일(2)이 일체로 형성되어 있으며, 상기 받침대본체(1)의 양 옆에는 상면에 시편 높이규제판(5)(6)을 부착한 시편측면 지지대(3)(4)가 각각 부착설치되어 있는 구성으로 되어 있는 것으로, 시편(T)의 성분분석을 위해서는 먼저 시편(T)을 높이규제판(5)(6)의 높이와 양 측면지지대(3)(4) 간격에 맞도록 별도의 가공기구로서 가공하여 받침대본체(1)상에 올려 놓고 양 측면지지대(3)(4)에 관통체결된 고정나사(7)를 이용하여 시편(T)을 양측에서 고정한 후 별도의 장입기구를 양 측면지지대(3)(4)중 어느 한 쪽의 암나사공(8)에 체결하여 전자현미경내로 장입하여 시편을 관찰 및 성분분석하는 것이다.

그러나 이와 같은 종래의 대형 시편받침대는 받침대본체(1)가 자체적으로 시편(T)의 높이나 경사의 조정을 실시할 수 없기 때문에 시편(T)을 규정된 규격에 정확히 맞추어 가공해야만 하는 문제점과 아울러 시편(T)이 규정된 규격보다 얇은 열연판이나 혹은 냉연판일 경우에는 시편받침대를 전혀 사용할 수 없게 되는 등의 문제점을 지니고 있는 것이었다.

본 고안은 상기한 바와 같은 종래의 대형 시편받침대가 지닌 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 시편이 규제높이보다 얇거나, 시편의 가공도중에 약간의 변형(경사)이 발생하더라도 시편의 관찰 및 성분분석을 정확히 수행할 수 있도록 시편의 높이 및 경사조절기능을 갖춘 전자현미경용 대형 시편받침대를 제공함을 그 목적으로 하는 것으로서, 첨부도면을 참고로 상세히 설명하면 다음과 같다.

시편(T)이 얹혀지는 대략 트랙형으로 되는 받침대본체(1) 하부에 전자현미경(도시하지 않음)내부로 받침대를 장입하기 위한 한 쌍의 레일(2)이 일체로 형성되며, 상기 받침대본체(1)의 양옆에는 상면에 시편높이규제판(5)(6)을 부착한 시편측면지지대(3)(4)를 서로 대향지게 부착설치한 시편받침대에 있어서, 상기 받침대본체(1)의 상면에는 정단면이 대략형으로 되고 그 상면 모퉁이에는 다수의 높이조절나사(12)가 관통체결되는 시편받침판(11)이 양측면지지대(3)(4)사이에 위치되게 설치되고, 상기 받침대본체(1) 및 시편받침판(11)의 전, 후면에는 스프링(15)이 상하로 탄성지지되도록 다수의 지지나사(13)를 각각 설치하는 한편, 상기 측면지지대(3)(4)의 안쪽면에는 일정간격의 높이확인선(14)를 새겨서 되는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 대형 시편받침대이다.

미설명부호 9는 측면지지대(3)(4)를 받침대본체(1)에 고정부착하는 볼트, 10은 높이규제판(5)(6)을 측면지지대(3)(4)의 상면에 고정부착하는 볼트를 각각 나타낸다.

본 고안에 의한 시편받침대는 받침대본체(1)와 시편받침판(11)은 그 전후면에 다수의 지지나사(13)에 의해 설치된 스프링(15)의 당기는 힘에 의해 항상 밀착된 상태를 유지하게 되며 상기 시편받침판(11)의 상승 또는 하강동작은 시편받침판(11)의 모퉁이 여러 곳에 관통체결된 다수의 높이조절나사(12)를 회전시키는 것에 의해 그 높이조절이 가능한 동시에 상기 높이조절나사(12)의 회전량을 서로 달리하는 경우에는 시편받침판(11)의 전표면에 걸쳐 그 표면 높이를 약간씩 다르게 할 수도 있으므로 그 상면에 부착되는 시편(T)의 경사정도 또한 조정되게 되는 것이다.

상기와 같은 구성으로 되는 본 고안에 의한 시편받침대의 사용상태를 설명하면, 제5a, b도에 도시한 바와 같이 먼저 관찰 및 분석하고자 하는 시편(T)(T′) 두께에 따라 시편받침판(11)의 사용면을 선택하는데, 이때 시편(T)의 두께가 얇은 판재일 경우에는 제5a도에서와 같이 정단면이형인 시편받침판(11)을 그대로 사용하고, 시편(T′)의 두께가 두꺼울 경우에는 시편받침판(11)의 전, 후면에 체결된 스프링지지나사(13)를 풀어 스프링(15)의 일단을 해체한 후 시편받침판(11)을 받침대본체(1)로부터 제거한 다음 높이조절나사(12)들은 모두 풀어 빼낸다.

그 다음에 시편받침판(11)을 뒤집어 정단면이형으로 되게 받침대본체(1)상에 안착시킨 후 풀어놓았던 높이조절나사(12)들을 다시 체결하고 스프링(15)을 지지나사(13)에 걸어 다시 체결시키면 제5b도에 도시한 바와 같은 상태로 되는 것이다.

이상에서와 같이 시편받침판(11)의 사용면이 결정되면 시편(T)(T′)의 두께에 따라 다수(본 예에서는 4개)의 높이조절나사(12)를 이용하여 측면 지지대(3)(4)에 새겨진 높이확인선(14)에 시편받침판(11)의 상단 양끝면을 맞춘다. 이때 시편받침판(11)을 제5a도의 경우와 같이형으로 하여 사용할 때, 다시 말해 두께가 두꺼운 시편(T′)을 관찰 및 분석하고자 할 때는 시편(T′)이 시편받침판(11)의형 홈내에 부착되므로 홈깊이만큼 경감된 두께로 계산하여 높이확인선(14)에 맞춘다.

이렇게 해서 시편받침판(11)을 양 측면지지대(3)(4)의 높이확인선(14)에 맞춘 다음에는 별도의 접착제로서 시편(T)(T′)을 시편받침판(11)의 상면 혹은형 요홈면에 접착한 후 부착된 시편(T)(T′)의 높이와 높이규제판(5)(6)의 수평이 맞는지를 받침대본체(1) 측면에서 관찰, 확인하고 맞지 않았을 경우에는 시편받침판(11)의 상면에 체결된 다수의 높이조절나사(12)를 회전시켜 미세조정하면서 시편(T)(T′)의 높이 및 수평을 다시 맞춘다. 이와 같이하여 조정이 완료되면 별도의 장입기구를 측면지지대(3)(4)의 일측에 형성된 암나사공(8)에 연결하여 전자현미경 내부로 장입하는 것에 의해 시편(T)(T′)의 정확한 관찰 및 성분분석이 가능하게 되는 것이다.

이상에서 분명히 알 수 있는 바와 같이 본 고안에 의한 대형 시편받침대는 시편받침판의 높이 및 경사조정이 가능하기 때문에 시편이 규정치보다 훨씬 얇거나 두껍다 하더라도 시편의 관찰 및 성분분석이 가능하게 되며 특히 시편의 가공도중에 약간의 경사가 발생하더라도 시편의 보다 상세한 관찰 및 성분분석을 정확하게 실시할 수 있는 동시에 특히 크기가 작고 두께가 일정한 시편이 그 수량이 많을 때에는 시편받침판의 상면 혹은형 홈에 시편을 나란히 부착하여 사용할 수 있으므로 전자 현미경의 가동을 중단하지 않고 연속적으로 시편을 관찰, 분석할 수 있으므로 시편분석작업의 효율을 높일 수 있는 등의 유용한 효과를 제공한다.

Claims (1)

1. 대략 트랙형으로 되는 받침대본체(1) 하부에 한 쌍의 레일(2)을 일체로 형성하고, 상기 받침대본체(1)의 양 옆에는, 상면에 높이규제판(5)(6)을 부착하고 외측에는 암나사공(8) 및 고정나사(7)가 관통형성된 측면지지대(3)(4)를 서로 대향설치한 시편받침대에 있어서 상기 받침대본체(1)의 상면에는 정단면이 대략형으로 되고 다수의 높이조절나사(12)가 관통체결되는 시편받침판(11)이 양 측면지지대(3)(4) 사이에 설치되고, 상기 받침대본체(1) 및 시편받침판(11) 측면에는 스프링(15)이 탄성지지되는 다수의 지지나사(13)를 각각 설치하는 한편 상기 측면지지대(3)(4)의 안쪽면에는 높이확인선(14)을 새겨서 되는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 대형 시편받침대.