JPS6315025Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈考案の属する技術分野〉 本考案は振動減衰定盤に関し、さらに詳しくは
ハニカムサンドイツチ構造を用いた振動減衰定盤
に関する。

〈従来技術〉 LSIや磁気デイスクを初めとする各種検査設
備、精密光学実験装置などにおいては、機器を塔
載したときに機器から発生する振動を吸収減衰さ
せる振動減衰定盤が用いられている。各種の形式
のものが知られており、たとえば、一般に振動減
衰定盤は石定盤、鋳鉄定盤、アルミハニカム定
盤、フエライト複合材料を使つた定盤等がある
が、前二者は強度的に優れているが重量が大きく
て振動減衰能が小さいという欠点があり、後者の
アルミハニカム定盤とフエライト複合材料を使つ
た定盤は重量的に軽く、前二者に比べて振動減衰
能が大きいことから近年広く利用されている。し
かしながら、このハニカム定盤は機械的強度が高
いが振動減衰能が小さいという問題があつた。す
なわち、このハニカム定盤はそれ自体振動減衰能
が極めて小さく、定盤に微弱な外力が加えられた
場合、定盤面の振動が長時間持続し、実験阻害の
大きな原因となつており、時として周囲の音響に
よる音圧で定盤が振動するという問題があつた。
最近、これらの問題を改良するためにハニカム定
盤はハニカムの両端に板状の振動減衰部材を接着
してからさらにその表面に金属板を接着する方法
がとられている。

一方、フエライト複合材料を用いた定盤は振動
減衰能がきわめて高いが機械的強度に問題があつ
た。すなわちこのフエライト複合材料を用いた定
盤は主成分であるフエライトが脆性材料であるた
め、定盤に機器を塔載したときに必要な曲げ強
度、抗析強度を保障する場合、定盤の厚さが厚く
なるという問題があり、結果的に必要な機械的強
度を持つ振動減衰定盤を製作する場合、フエライ
ト複合材料の資源を多く必要としていた。要する
に従来の定盤は定盤として活用できることは勿論
のこと、小型の機器にも組み込み可能な厚さが薄
くて機械的強度があり、振動減衰能の高いものが
なかつた。

〈考案の目的〉 本考案の目的は従来の定盤の各欠点を除去する
と共に厚さが薄くて機械的強度があり、かつ振動
減衰能がきわめて高い振動減衰定盤を提供するこ
とにある。

〈考案の構成〉 本考案によればハニカム構造を用いた定盤にお
いて、前記ハニカム構造の空洞部に流し込み成形
したプラスチツクとフエライトからなる支柱状の
フエライト複合部材と、前記ハニカム構造の表裏
面を前記フエライト複合部材に連なるように構成
したフエライト複合部材の薄板層とからなる振動
減衰定盤が得られる。

〈実施例の説明〉 次に本考案の実施例について図面を参照して詳
細に説明する。

第１図は本考案による振動減衰定盤を示し、第
２図は本考案による振動減衰定盤の断面を示す。
第１図において、本考案の一実施例は基本的にハ
ニカム構造のコア２と、フエライト複合部材３と
で構成される振動減衰定盤１で、第２図に示すよ
うにハニカム構造のコア２の空洞部に支柱状にフ
エライト複合部材４が充填されており、このフエ
ライト複合部材の支柱にフエライト複合部材の薄
板層５，６が連なるように設けられている。ハニ
カム構造のコア２は通常アルミハニカムが利用さ
れ、定盤の表裏面の薄板層５，６およびコア２の
空洞部に充填されるフエライト複合部材はフエラ
イトとプラスチツク樹脂を混合したものが利用さ
れる。フエライト複合部材としては本考案の出願
人の商品名として知られる「フエリストーン」を
用いるのが良い。「フエリストーン」は
MnZnFeO・Fe₂O₃系で粒度が0.1〜10um程度の
フエライト微粒子をポリエステル系樹脂の母相中
に均一分散したもので、母相と分散粒子は重量比
で90：10、体積比で70：10で混合したもので、き
わめて高い振動減衰能を有している。

フエライト複合部材３はハニカム構造のコア２
の空洞に流し込み成形される。アルミハニカム構
造のコア２とフエライト複合部材３はその熱膨張
系数が同程度であるので熱的な問題を発生しな
い。振動減衰定盤１の振動減衰特性はプラスチツ
クの母相とフエライトの分散粒子の混合比を変え
ることにより容易に制御できる。振動減衰定盤１
のフエライト複合部材３の薄板層５，６は流し込
み成形したあと、必要に応じて研磨するなどの加
工がなされる。

このように構成された本考案の一実施例である
振動減衰定盤は中心部材としてフエライト複合部
材を充填したハニカム構造のコアを有しているた
め、ハニカム構造のコアだけで構成される定盤よ
りも高い振動減衰能を有し、フエライト複合部材
のみで構成される定盤よりも優れた機械的強度を
実現できる。すなわち、本実施例はフエライト複
合部材を用いた振動減衰定盤の中心部材にハニカ
ム構造のコアを埋め込むことにより定盤自体の剛
性を改善し、曲げ強度、あるいは抗析力を高める
ことができる。したがつて本実施例は従来のフエ
ライト複合部材のみで構成した振動減衰定盤と同
じ機械的強度と振動減衰能を実現する場合、振動
減衰定盤の盤厚を薄くできる。結果として、本実
施例はこれらの振動減衰定盤を使つた機器の小型
化、軽量化が可能となり、更にかかる振動減衰定
盤の構造をとることにより、剛性と振動減衰能が
大きくかつ軽量であるという定盤に要求される基
本特性を簡単に実現できる。更に又本実施例は実
際の使用に際して振動減衰だけでなく、床などか
らの振動伝達をできるだけ防止するため、空気バ
ネシステムなどの優れた防止装置と組み合わせて
使用することもできる。

〈考案の効果〉 本考案は以上説明したように従来の振動減衰定
盤に見られた欠点を除去でき、厚さが薄くて機械
的な強度があり振動減衰能がきわめて高い、使用
機器の小型化、軽量化を可能とする効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例である振動減衰定盤
を示す斜視図、第２図は本考案の一実施例である
振動減衰定盤を示す断面図である。 １……振動減衰定盤、２……ハニカム構造のコ
ア、３，４……フエライト複合部材、５，６……
フエライト複合部材の薄板層。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ハニカム構造を用いた定盤において、前記ハニ
   カム構造の空洞部に流し込み成形したプラスチツ
   クとフエライトからなる支柱状のフエライト複合
   部材と、前記ハニカム構造の表裏面を前記フエラ
   イト複合部材に連なるように構成したフエライト
   複合部材の薄板層とからなる振動減衰定盤。