JPS63147881A - 炭化珪素−有機高分子複合材 - Google Patents
炭化珪素−有機高分子複合材Info
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- JPS63147881A JPS63147881A JP29477286A JP29477286A JPS63147881A JP S63147881 A JPS63147881 A JP S63147881A JP 29477286 A JP29477286 A JP 29477286A JP 29477286 A JP29477286 A JP 29477286A JP S63147881 A JPS63147881 A JP S63147881A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はメカニカルシール等密封摺動部品として特に有
用な炭化珪素複合材に関するものである。
用な炭化珪素複合材に関するものである。
(従来の技術およびその問題点〉
近年、開発された多くのセラミックスの中で、無加圧焼
結炭化珪素は、耐摩耗性、耐食性に優れていることから
、メカニカルシール等の密封摺動部品分野においても活
発に用途開発がなされてきた。
結炭化珪素は、耐摩耗性、耐食性に優れていることから
、メカニカルシール等の密封摺動部品分野においても活
発に用途開発がなされてきた。
炭化珪素焼結体の製造方法としては、例えば特開昭50
−78609号公報、特開昭51−148712号公報
等に記載の方法がある。しかし、前記製造方法により得
られる緻密質炭化珪素焼結体は摺動部品として使用した
場合、潤滑不十分な条件下では摩擦係数が高くなり、摺
動相手材の摩耗が激しく、また炭化珪素焼結体自体もク
ラックを生じ易い欠点があった。
−78609号公報、特開昭51−148712号公報
等に記載の方法がある。しかし、前記製造方法により得
られる緻密質炭化珪素焼結体は摺動部品として使用した
場合、潤滑不十分な条件下では摩擦係数が高くなり、摺
動相手材の摩耗が激しく、また炭化珪素焼結体自体もク
ラックを生じ易い欠点があった。
この欠点を改良する方法として特開昭61−58861
号公報には、焼結助剤を含む炭化珪素粉末を比較的低温
で焼結し、炭化珪素多孔質焼結体(以下、多孔体という
)を得、これに熱硬化性樹脂を含浸して摺動材を得る方
法が記載されている。前記方法により得られる摺動材は
多孔体密度が24g/−以下では樹脂含浸後でも強度、
耐!や耗性ともに不十分であるため、実際には多孔体密
度2.68g/−のものを用いている。しかし、その場
合、樹脂含有1ニーが7重量%と少ないため5含浸樹脂
による潤滑作用も不十分なものであった。
号公報には、焼結助剤を含む炭化珪素粉末を比較的低温
で焼結し、炭化珪素多孔質焼結体(以下、多孔体という
)を得、これに熱硬化性樹脂を含浸して摺動材を得る方
法が記載されている。前記方法により得られる摺動材は
多孔体密度が24g/−以下では樹脂含浸後でも強度、
耐!や耗性ともに不十分であるため、実際には多孔体密
度2.68g/−のものを用いている。しかし、その場
合、樹脂含有1ニーが7重量%と少ないため5含浸樹脂
による潤滑作用も不十分なものであった。
(発明の目的)
本発明は、前記欠点を解決し、含浸樹脂の十分な潤滑作
用で耐摩耗性が良好な摺動部材を提供することを目的と
する。
用で耐摩耗性が良好な摺動部材を提供することを目的と
する。
(問題点を解決するための技術的手段)本発明は炭化珪
素粉末が有機珪素化合物の熱分解により生成する主とし
てSlとCからなる無機物により結合された多孔体に、
有機高分子を含浸させてなる炭化珪素−有機高分子複合
材に関する。
素粉末が有機珪素化合物の熱分解により生成する主とし
てSlとCからなる無機物により結合された多孔体に、
有機高分子を含浸させてなる炭化珪素−有機高分子複合
材に関する。
本発明において、炭化珪素粉末としては、α、βいずれ
でも良く、純度、粒径についても特別な制限はないが、
多孔体の強度を保持する上で、サブミクロン粉末を用い
ることが望ましい。
でも良く、純度、粒径についても特別な制限はないが、
多孔体の強度を保持する上で、サブミクロン粉末を用い
ることが望ましい。
有機珪素化合物としては、不活性ガス雰囲気下、100
0℃以上で熱処理することにより主としてSi とCか
らなる無機物に転換されるものが用いられる。特に、珪
素と炭素との結合を主な骨格成分とする有機珪素重縮合
体が好ましい。例えば、特開昭51−126300号公
報、特開昭52−112700号公報、特開昭54−6
1299号公報および特開昭57−16029号公報に
記載されている主としてカルボシラン骨格よりなる高分
子有機珪素化合物が本発明の使用に適している。
0℃以上で熱処理することにより主としてSi とCか
らなる無機物に転換されるものが用いられる。特に、珪
素と炭素との結合を主な骨格成分とする有機珪素重縮合
体が好ましい。例えば、特開昭51−126300号公
報、特開昭52−112700号公報、特開昭54−6
1299号公報および特開昭57−16029号公報に
記載されている主としてカルボシラン骨格よりなる高分
子有機珪素化合物が本発明の使用に適している。
有機高分子としては熱可塑性樹脂、熱硬化、その他の硬
化性樹脂のいずれを用いてもよいが、経済性、含浸の難
易、摺動部材としての耐摩耗性、潤滑性を考1のすると
フェノール系、フラン系、エポキシ系、不飽和ポリエス
テル系等の熱硬化性樹脂および特開昭51−12630
0号公報に記載されている有機珪素重縮合体が適してい
る。
化性樹脂のいずれを用いてもよいが、経済性、含浸の難
易、摺動部材としての耐摩耗性、潤滑性を考1のすると
フェノール系、フラン系、エポキシ系、不飽和ポリエス
テル系等の熱硬化性樹脂および特開昭51−12630
0号公報に記載されている有機珪素重縮合体が適してい
る。
本発明の炭化珪素−有機高分子複合材は以下の製法によ
り得られる。
り得られる。
まず炭化珪素粉末に結合剤として有機珪素化合物を混合
する。炭化珪素粉末と有機珪素化合物の混合は加圧ニー
ダ−等を用いて行う、この際、成形性を良くするため、
滑剤として例えば高級脂肪酸等を添加してもよい。
する。炭化珪素粉末と有機珪素化合物の混合は加圧ニー
ダ−等を用いて行う、この際、成形性を良くするため、
滑剤として例えば高級脂肪酸等を添加してもよい。
次いで得られた混合物を押出成形等により所望の形状に
成形し、これを焼成することにより多孔体が得られる。
成形し、これを焼成することにより多孔体が得られる。
焼成温度は1200〜2200℃、特に1600〜22
00℃が望ましい、温度が低すぎると多孔体の強度が不
十分となる。
00℃が望ましい、温度が低すぎると多孔体の強度が不
十分となる。
本発明における多孔体は、炭化珪素粉末が焼結助剤を用
いず、有機珪素化合物の熱分解により生成する主として
SlとCからなる無機物により結合された多孔体である
ため、1.8〜2.4 g /−という低密度であるに
もかかわらず、25〜35kg/−という高強度を有す
る。
いず、有機珪素化合物の熱分解により生成する主として
SlとCからなる無機物により結合された多孔体である
ため、1.8〜2.4 g /−という低密度であるに
もかかわらず、25〜35kg/−という高強度を有す
る。
次に、多孔体に有機高分子を含浸する。多孔体への有機
高分子の含浸は通常の方法、例えば多孔体を真空で有機
高分子に浸漬する方法で行われる。
高分子の含浸は通常の方法、例えば多孔体を真空で有機
高分子に浸漬する方法で行われる。
あるいはさらに、静水圧プレス等で有機高分子を加圧す
ることにより、気孔の細部まで十分に有機高分子を含浸
することかできる。前記有機高分子として熱硬化性樹脂
を使用した場合は、さらに熱硬化性樹脂を含浸させた多
孔体を樹脂硬化温度に加熱して、樹脂を硬化させる。
ることにより、気孔の細部まで十分に有機高分子を含浸
することかできる。前記有機高分子として熱硬化性樹脂
を使用した場合は、さらに熱硬化性樹脂を含浸させた多
孔体を樹脂硬化温度に加熱して、樹脂を硬化させる。
以上により、耐摩耗性に優れた炭化珪素−有機高分子複
合材が得られる。
合材が得られる。
(実施例)
以下、実施例において本発明を説明する。
実施例1
平均粒径0.3μmの炭化珪素粉末81重量部、ポリチ
タノカルボシラン10重量部およびステアリン酸9重量
部を加圧ニーダーを用いて90分間混合した。得られた
混合物を粉砕後、押出成形によりパイプ状の成形体を得
た。この成形体を550℃までゆるやかに昇温し、ステ
アリン酸を脱脂後、1950℃で焼成し、外径440、
内径30曜の焼結体を得た。この焼結体は密度205g
/−の多孔体であり、抗折強度は34.1 kg/−で
あった、この焼結体を厚さLoomに切断して多孔体リ
ングを得た。
タノカルボシラン10重量部およびステアリン酸9重量
部を加圧ニーダーを用いて90分間混合した。得られた
混合物を粉砕後、押出成形によりパイプ状の成形体を得
た。この成形体を550℃までゆるやかに昇温し、ステ
アリン酸を脱脂後、1950℃で焼成し、外径440、
内径30曜の焼結体を得た。この焼結体は密度205g
/−の多孔体であり、抗折強度は34.1 kg/−で
あった、この焼結体を厚さLoomに切断して多孔体リ
ングを得た。
この多孔体リングにレゾールタイプのフェノール樹脂を
含浸後、150℃で30分熱硬化を行い、密度2.52
g/F、樹脂含有率1a6重量%の複合材リングを得
た。
含浸後、150℃で30分熱硬化を行い、密度2.52
g/F、樹脂含有率1a6重量%の複合材リングを得
た。
得られた複合材リングに相手材として、フェノール樹脂
含浸カーボンを用い、100℃熱水中で、。
含浸カーボンを用い、100℃熱水中で、。
摺動試験を行った。試験条件は液圧7kg/cj、回転
数5000rpm、200時間であった。摩耗量は複合
材側0.15μm、相手材側0.30μmであった。
数5000rpm、200時間であった。摩耗量は複合
材側0.15μm、相手材側0.30μmであった。
比較例1
焼結助剤として炭化ホウ素粉末1.5重量部およびレゾ
ールタイプフェノール樹脂5.6重量部とステアリン酸
1重量部および残部が炭化珪素粉末からなる混合物をエ
タノール中で湿式ボールミル混合後、エタノール留去し
、粉砕した。得られた粉末を1. Oion / cx
Xの圧力で静水圧プレスした後、真空中1850℃で焼
成し、外径44mm、内径30m、厚さ10m+aの焼
結体を得た。この多孔体の密度は2.75 g/J、抗
折強度は15.0kg/−であった、この多孔体に実施
例1と同様な方法でフェノール樹脂を含浸硬化させたと
ころ、密度2.93 g / oA、樹脂含有率6.3
%であった。実施例1と同条件で摺動試験を行った結果
、摩耗量は複合材(!I!I0.5 μ’m、相手材(
ITJl、 2 、cz m テtr> ツタ。
ールタイプフェノール樹脂5.6重量部とステアリン酸
1重量部および残部が炭化珪素粉末からなる混合物をエ
タノール中で湿式ボールミル混合後、エタノール留去し
、粉砕した。得られた粉末を1. Oion / cx
Xの圧力で静水圧プレスした後、真空中1850℃で焼
成し、外径44mm、内径30m、厚さ10m+aの焼
結体を得た。この多孔体の密度は2.75 g/J、抗
折強度は15.0kg/−であった、この多孔体に実施
例1と同様な方法でフェノール樹脂を含浸硬化させたと
ころ、密度2.93 g / oA、樹脂含有率6.3
%であった。実施例1と同条件で摺動試験を行った結果
、摩耗量は複合材(!I!I0.5 μ’m、相手材(
ITJl、 2 、cz m テtr> ツタ。
比較例2
比較例1と同様な方法で得られた成形体を真空中で21
00℃で焼結し、密度3.16 g / Cxjの焼結
体ど得た。抗折強度は491g/−であった、樹脂含浸
は行わず、実施例1と同様な条件で摺動試験を行った結
果、焼結体側摩耗量は5.1μm、相手材側は4.5μ
mと激しく摩耗していた。
00℃で焼結し、密度3.16 g / Cxjの焼結
体ど得た。抗折強度は491g/−であった、樹脂含浸
は行わず、実施例1と同様な条件で摺動試験を行った結
果、焼結体側摩耗量は5.1μm、相手材側は4.5μ
mと激しく摩耗していた。
(発明の効果)
本発明による炭化珪素−有機高分子複合材は、炭化珪素
と有機高分子とからなり、後者の潤滑作用により、炭化
珪素単独のものよりはるかに低い摩擦係数を示す、また
本発明の炭化珪素−有機高分子複合材は、十分な強度お
よび硬度を持っており、したがって、本発明の炭化珪素
−有機高分子複合材は、潤滑性と耐摩耗性を兼備した優
れた摺動部材である。さらに、炭化珪素多孔木登製造す
る際に、はとんど収縮がないことも、寸法精度良く摺動
部材を製造する上で有利である。
と有機高分子とからなり、後者の潤滑作用により、炭化
珪素単独のものよりはるかに低い摩擦係数を示す、また
本発明の炭化珪素−有機高分子複合材は、十分な強度お
よび硬度を持っており、したがって、本発明の炭化珪素
−有機高分子複合材は、潤滑性と耐摩耗性を兼備した優
れた摺動部材である。さらに、炭化珪素多孔木登製造す
る際に、はとんど収縮がないことも、寸法精度良く摺動
部材を製造する上で有利である。
Claims (2)
- (1)炭化珪素粉末が有機珪素化合物の熱分解により生
成する主としてSiとCからなる無機物により結合され
た炭化珪素多孔質焼結体に、有機高分子を含浸させてな
る炭化珪素−有機高分子複合材。 - (2)炭化珪素多孔質焼結体の密度が1.8〜2.4g
/cm^3である特許請求の範囲第1項記載の炭化珪素
−有機高分子複合材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29477286A JPS63147881A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 炭化珪素−有機高分子複合材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29477286A JPS63147881A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 炭化珪素−有機高分子複合材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63147881A true JPS63147881A (ja) | 1988-06-20 |
JPH0510304B2 JPH0510304B2 (ja) | 1993-02-09 |
Family
ID=17812095
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29477286A Granted JPS63147881A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 炭化珪素−有機高分子複合材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63147881A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120312518A1 (en) * | 2009-12-11 | 2012-12-13 | Sgl Carbon Se | Resin-impregnated body made of silicon carbide and method of producing the resin-impregnated body |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5848503A (ja) * | 1981-09-18 | 1983-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | アンテナ装置 |
JPS61132575A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-20 | イビデン株式会社 | 炭化ケイ素質複合体 |
JPS61174182A (ja) * | 1985-01-26 | 1986-08-05 | イビデン株式会社 | 寸法精度と摺動特性の優れた炭化珪素質複合体の製造方法 |
-
1986
- 1986-12-12 JP JP29477286A patent/JPS63147881A/ja active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5848503A (ja) * | 1981-09-18 | 1983-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | アンテナ装置 |
JPS61132575A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-20 | イビデン株式会社 | 炭化ケイ素質複合体 |
JPS61174182A (ja) * | 1985-01-26 | 1986-08-05 | イビデン株式会社 | 寸法精度と摺動特性の優れた炭化珪素質複合体の製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120312518A1 (en) * | 2009-12-11 | 2012-12-13 | Sgl Carbon Se | Resin-impregnated body made of silicon carbide and method of producing the resin-impregnated body |
JP2013513772A (ja) * | 2009-12-11 | 2013-04-22 | エスゲーエル カーボン ソシエタス ヨーロピア | 樹脂含浸された炭化ケイ素からなる成形品 |
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