JPS63144314A - 光学素子の調節方法 - Google Patents

光学素子の調節方法

Info

Publication number
JPS63144314A
JPS63144314A JP62292274A JP29227487A JPS63144314A JP S63144314 A JPS63144314 A JP S63144314A JP 62292274 A JP62292274 A JP 62292274A JP 29227487 A JP29227487 A JP 29227487A JP S63144314 A JPS63144314 A JP S63144314A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
light
adjusting
image
optical element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62292274A
Other languages
English (en)
Inventor
レイモンド　ジェイ　ラドナー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AT&T Corp
Original Assignee
American Telephone and Telegraph Co Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by American Telephone and Telegraph Co Inc filed Critical American Telephone and Telegraph Co Inc
Publication of JPS63144314A publication Critical patent/JPS63144314A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/58—Optical field-shaping elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
    • G02B6/4221—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements involving a visual detection of the position of the elements, e.g. by using a microscope or a camera
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/483—Containers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の背景） ［発明の属する技術分野］ 本発明は、光学素子、例えばオプトエレクトロニクス素
子めレンズへの調節方法に関する。
［従来技術の説明コ 多くの応用分野で、光学素子を光の伝搬軸に調節するの
は大変な仕事である。小さい調節許容差を実現するには
複雑な自動制御方法や探索アルゴリズムを搭載した高精
度機器がしばしば必要である。例えば、同じパッケージ
内にある発光ダイオード（ＬＥＤ）をレンズへ調節する
一つの方法は光フアイバプローブをパッケージに挿入し
、発光しているＬＥＤを動かし、プローブで検出される
光の強度が最大になる所でそれを固定することが必要で
ある。
この種の調節プロセスに使う探索アルゴリズムは時間の
かかるもので、比較的狭い近接放射パターンを有するＬ
ＥＤでは長い時間が必要となる。
例えば、いくつかのＬＥＤをレンズへ調節するには数十
秒から数分、平均して百秒以上の時間がかかる。
同様なことは光検出器のレンズへの調節にもいえる。光
検出器はＬＥＤに比べると大きな活性領域を有し、多少
困難が和らげられるにもかかわらず同様である。
光学素子の調節で探索アルゴリズムを最適化し、必要な
移動回数を最小にすることの主な困難さは調節できる可
動素子に対して正確で便利な参照物がないことである。
（発明の概要） 光学素子のレンズへの調節を簡単にするために必要な参
照物は本発明のしじ実施例として提供される。本発明で
は光がレンズに入射され、反射された光の一部で像（例
えば円、環あるいは多数の光点）を作る。それは一般に
レンズの中心に対して対称である。反射された光は検出
され、参照像を生成する。そして素子から出る光（例え
ばＬＥＤの活性領域から放射される光あるいは光検出器
の活性領域から反射された光）は検出され、素子のある
領域（例えば活性領域）の物体像を形成する。二つの像
が互いに比較され、（例えば、操作者による実像比較あ
るいはコンピュータによる電子像比較）そして素子とレ
ンズの相対位置が調節され、物体像が実際にり照像の中
心にくるようにする。　パッケージプロセスでは、素子
が典型的にはヘッダーの上に、レンズはハウジングの中
にマウントされ、上述した調節を行った後、ヘッダーと
ハウジングが互いにエポキシや別の適当な方法を用いて
固定される。
さらに本発明は正確で、便利な参照像を提供するのに加
えて、本発明はファイバプローブを必要としないから有
利である。従来の技術では、ファイバプローブを調節す
べき素子のあるパッケージに挿入し、その後引き出すこ
とが必要で、これは大変てしかも時間のかかる操作であ
った。
（実施例の説明） 第１図に本発明に従って、光学素子■０をレンズ１２に
調節するのに使用する装置を示す。索子１（］は図示さ
れるようにヘッダー１４にマウントされ、このヘッダー
１４は、可動台１６、例えばＸ−Ｙテーブル１６によっ
て支えられ、コンピュータ■８によって制御される。一
方、レンズ１２はハウジング２０の中にマウントされる
。このハウジング２０は第１図には示されていないが第
３図と第４図に描かれている。
レンズ１２と素子ｌＯは顕微鏡２４によって観察され、
そしてレンズは例えば顕微ｍ２４を囲む環形光源２２に
よって照明される。または光源２２は顕微鏡２４の中に
組み込まれ、顕微鏡２４の対物レンズ２６を通してレン
ズ１２を照らすこともできる。顕微ｖｔ２４に形成され
る光学像は適当な検出器、例えばＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ
−ｃｏｕｐｌｅ−ｄｅｖｉｃｅ）カメラ２８によって電
気信号に変換される。操作者に視覚イメージを提供する
ため、電気信号はモニタ３０あるいは他の適当なディス
プレー装置に与えられることかできる。
また操作者は操縦器３２あるいは他の電気機械操縦器を
使ってコンピュータ１８に制御信号を与え、Ｘ−Ｙテー
ブルＩ６を動かして素子１０をレンズＩ２の中心に調節
することができる。このような半自動調節を容易にする
ため、公知の表示システム３４が利用できる。例えば十
字線あるいは他の基準マークをモニタ上の参照像の中心
に表示する。
人を介せず、全自動操作をするには、カメラ２８からの
電気信号が表示システム３４に与えられ、そこで画像情
報が保存され、像の中心に対して決められた計算を行な
い、コンピュータ１８に情報を提供する。コンピュータ
はテーブル１６を動かすのに必要な制御信号を与えるよ
うにプログラミングされている。ふされしい表示システ
ムはカリフォルニヤのカールスベッド（Ｃａｒｌｓｂｅ
ｄ）インターナションナルロボメーションインテリジェ
ンス（ＩＲＩ）によって製造されたＰ２５６表示システ
ムである。
表示システムの本発明は多くの分野、特に光量の変動、
干渉パターン及び画像で“雑音“が生じることのある所
で適用できる。表示システムはこのような画像を処理し
、そして必要なパターンと必要のないパターンを区別し
、信号対雑音比を改善することができる。
素子ＪＯとレンズ１２の調節を可能にするための正確で
便利な参照像はつぎの方法で生成される。光源２２から
の光は光線２３によってレンズ１２に入射される。この
光の一部はレンズ１２によって光線２５として反射され
、参照像を生成し、それは一般にはレンズＩ２の中心に
対して対称である。参照像はいくつかの対称形を呈する
ことができ、例えば円周上に等間隔に配置される多数の
光点４２、光量４２′あるいは円４２″、これらはそれ
ぞれ第１図のモニタ３０．３０′及び３０′の上に表示
される。光点４２あるいは光量４２′の形の参照像は例
えば環形光源２２の上の適当なマスクによって得ること
ができる。
しかし、円形参照像４２′は公知の技術で顕微鏡２４の
レンズ２６を通して照らすことによって得ることができ
る。
球形レンズ１２（あるいは他の対称レンズ）では、反射
された光は対称（たとえば円）でそして対称パターンの
中心（４Ｌ　４１’　、４１’　）はレンズの実軸であ
る。
どの場合でも、レンズ１２から反射された光２５はカメ
ラ２８によって検出され、参照像を提供する。
そして素子１０から出る光２７は同様に検出され、素子
のある領域の物体像を形成する。素子１０から出る光は
例えばＬＥＤの活性領域から放射される光、あるいは光
検出器の活性領域によって反射された光である。ＬＥＤ
の場合、第１図に示されるように光源２２からの光がレ
ンズ１２のみに集光すればよい。しかし、光検出器の場
合は光源の光がまずレンズに集光されてり照像を生成し
、（例えば表示システムのメモリに）蓄積される。
そして次に光検出器に集光され、物体像を生成する。こ
れも蓄積できる。どの場合でも、二つの像が互いに比較
され、そして素子とレンズが相対的に動かされる。こう
して物体像が実際に参照像の中心にくる。
２つの像の比較は操作者を介して半自動的に行うことが
でき、またコンピュータ制御で全自動に行うこともでき
る。前者の場合では、操作者はモニタ３０．３０′及び
３０′上の画像を観測する。
簡単のため第１図ではレンズ１２の円形像４０．４０′
、４０″および参照像４２．４２’　、４２’　Ｌか示
されていない。しかし、第２図の拡大図では、具体例と
して物体像４４も示されている。そこでは参照像は４つ
の光点である。レンズ像４０．４０′　と４０′は参照
像４２．４２′　と４２′より大きな直径を持つ。これ
は後者は集光された光によって形成されているからであ
る。操作者は物体像と参照像の相に・１位置を観ρ１し
、操縦器３２を使ってＸ−Ｙテーブル１６、つまり素子
ｌＯを動かし、素子１０の物体像４４．４４′　と４４
′を参照像４２．４２′　と４２′の中心に調節する。
一方、操作者の介在はづ照像と物体ＩＬ￥を直接表示シ
ステム３４に与えることによって省略でき、それらは増
幅され、修正あるいは他の方法で処理される。表示シス
テムは市販の応用プログラムをｉｌｌ用して、二つの像
の中心を計算し、コンピュータ１８に中心の座はを与え
る。コンピュータは索子１０をレンズ】２に２Ｊ節する
のに必要なテーブル１６の移動距離と角度をを決める。
こうして！１１−ステップの調節が考えられ、たたし、
Ｘ−Ｙテーブル１６がその様な動作をできる場合に限ら
れる。そうでない場合には、多ステップ調節を使わなけ
ればならない。図心計算機として知られるこの様な応用
プログラムの一つはＩＲＩシステムに与えられている。
それは照らされている絵素の領域に基すいて像の中心を
決める。池のプログラム、例えば照らされている領域（
像）から最良の円を決めるローパートのこう記法は接線
を計算する平明なプログラムと結合でき、基本的な幾何
学原理を使って物体像の中心を決める。表示システムが
中心を計算したら、コンピュータ１８は素子ｌＯをレン
ズ１２に調節するための制御に利用できる。
素子ＩＯとレンズ１２の調節が完成した後、多くの応用
例ではそれらの）Ｄ対位置を固定する必要がある。第３
図と第４図に示されるように、光学素子パッケージの製
造では位置はエポキシあるいは他の方法でヘッダー１４
をハウジング２０に付けることによって固定される。第
４図ではコネクタ５２にマウントされている光ファイバ
５０をも示した。コネクタはハウジング２０に挿入され
、従ってファイバ５０の伝搬軸はレンズ１２と素子ｌＯ
に調節される二二で理解されたいのは上述の配置は単に
本発明の原理を応用した多くの＝Ｔ能な発明の実例にす
ぎない。これらの原理にしたがって当業者によって多数
の異なる配置が発明できて、それらは本発明の精神と範
囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す装置のブロック図、 第２図は１周節する前のレンズ１象、参照像と物体像を
示す図、 第３図はＬＥＤをレンズに調節するのに使われる第１図
の装置の一部断面図、 第４図はレンズを通してＬＥＤに結合される先ファイバ
コネクタを持つ第３図の装置を示す図である。 １０・・・索子　　　　　　　１２・・・レンズ１４・
・・ヘッダ−１８・・・Ｘ−Ｙｙ−１ルＩ８・・・コン
ピュータ　　　２ｏ・・・ハウジング２２・・・環形光
源　　　　　２３・・・光線２４・・・顕徹鏡　　　　
　　２５・・・光線２６・・・対物レンズ　　　　２６
・・・素子から出る光２８・・・カメラ ３０．３０’　、３０’・・・モニタ ３２・・・操縦器　　　　　　３４・・・表示システム
４０．４０’　、４０’・・・レンズ像４１．４１’　
、４１’・・・中心 ４２．４２′、４２′・・・参照像 ４４・・・物体像　　　　　　５０・・・光ファイバ５
２・・・コネクタ 出　願　人ニアメリカン　テレフォン　アンド一二一 ＦＩＣ；、　３　　　　　　　　　　　　３／３ＦＩＣ
，４

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）（ａ）光をレンズに入射し、レンズから反射され
    た光の一部で、ほぼレンズの中心に対して対称である像
    を生成するステップ、 （ｂ）素子をレンズの中心に定めるため の参照像を提供するために反射された光を検出するステ
    ップ、 （ｃ）素子のある領域の物体像を形成す るために素子から出た光を検出するステップ、（ｄ）参
    照像と物体像を互いに比較する ステップ、 （ｅ）物体像を参照像の中心に置く為に 素子とレンズとの相対位置を調節するステップからなる
    ことを特徴とする光学素子の調節方法。
  2. （２）ステップ（ａ）で、ほぼ円である参照像を生成す
    ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学素
    子の調節方法。
  3. （３）ステップ（ａ）で、ほぼ環状である参照像を生成
    することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学
    素子の調節方法。
  4. （４）ステップ（ａ）で、ほぼ点列であ参照像を生成す
    ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学素
    子の調節方法。
  5. （５）素子が発光ダイオード（ｌｉｇｈｔ−ｅｍｍｉｔ
    ｔｉｎｇ　ｄｉｏｄｅ）で、光はダイオードの活性領域
    より放射されることを特徴とする特許請求の範囲第１項
    記載の光学素子の調節方法。
  6. （６）素子が光検出器で、光は光検出器の活性領域より
    反射されることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
    の光学素子の調節方法。
  7. （７）ファイバーの伝搬軸にレンズのほぼ中心を置くよ
    うに、レンズと光ファイバの位置を定めるステップを含
    むことを特徴とする特許請求の範囲第５項あるいは第６
    項記載の光学素子の調節方法。
  8. （８）ステップ（ｅ）の後に、素子とレンズの相対位置
    を固定するステップを含むことを特徴とする特許請求の
    範囲第１項から第６項記載の光学素子の調節方法。
JP62292274A 1986-11-24 1987-11-20 光学素子の調節方法 Pending JPS63144314A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US934198 1986-11-24
US06/934,198 US4772123A (en) 1986-11-24 1986-11-24 Alignment of optical components

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63144314A true JPS63144314A (ja) 1988-06-16

Family

ID=25465142

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62292274A Pending JPS63144314A (ja) 1986-11-24 1987-11-20 光学素子の調節方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4772123A (ja)
EP (1) EP0269337A3 (ja)
JP (1) JPS63144314A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02277009A (ja) * 1989-04-19 1990-11-13 Fujitsu Ltd 光出射手段とレンズの相対位置調整方法
JP2002202440A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Japan Aviation Electronics Industry Ltd 光モジュールの実装構造及び実装方法

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4997279A (en) * 1986-09-02 1991-03-05 Amp Incorporated Optical bench for a semiconductor laser and method
US5054925A (en) * 1989-01-06 1991-10-08 Zygo Corporation Method for aligning an interferometer
US5296916A (en) * 1991-04-18 1994-03-22 International Business Machines Corp. Mask alignment system for components with extremely sensitive surfaces
EP0527429A1 (en) * 1991-08-14 1993-02-17 Sumitomo Electric Industries, Ltd Elements aligning/coupling apparatus and method
US5319182A (en) * 1992-03-04 1994-06-07 Welch Allyn, Inc. Integrated solid state light emitting and detecting array and apparatus employing said array
JPH0629577A (ja) * 1992-07-10 1994-02-04 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体発光素子の製造方法
US5337151A (en) * 1992-07-28 1994-08-09 Optical Radiation Corporation Double-sided circuit board exposure machine and method with optical registration and material variation compensation
GB9217732D0 (en) * 1992-08-20 1992-09-30 Bt & D Technologies Ltd Optical devices
US5383118A (en) * 1992-09-23 1995-01-17 At&T Corp. Device alignment methods
JP3208902B2 (ja) * 1993-03-11 2001-09-17 ミノルタ株式会社 レンズ系光軸調整装置及びレンズ系光軸調整方法
JP3412224B2 (ja) * 1994-01-07 2003-06-03 住友電気工業株式会社 レンズ実装方法と装置
US5446274A (en) * 1994-02-22 1995-08-29 Leica Inc. Instructive display for assisting in centering an optical path element on a path
US5742441A (en) * 1995-04-07 1998-04-21 Discovision Associates Method and apparatus for aligning an objective lens
JP3365598B2 (ja) * 1995-08-31 2003-01-14 富士通株式会社 光モジュール組立体の製造方法および製造装置
GB9616191D0 (en) * 1996-08-01 1996-09-11 Phillips Michael J Inspection apparatus
US5764349A (en) * 1996-12-12 1998-06-09 Laserline Manufacturing, Inc. Self-aligning baseline plane instrument
JP3374736B2 (ja) * 1997-12-16 2003-02-10 ミノルタ株式会社 レンズ調整装置
EP1003212A3 (en) * 1998-11-18 2003-11-19 Fuji Photo Film Co., Ltd. Method of and apparatus for bonding light-emitting element
JP2002140831A (ja) * 2000-11-02 2002-05-17 Sharp Corp 光ピックアップ装置
US6799902B2 (en) 2000-12-26 2004-10-05 Emcore Corporation Optoelectronic mounting structure
US7021836B2 (en) * 2000-12-26 2006-04-04 Emcore Corporation Attenuator and conditioner
US6905260B2 (en) * 2000-12-26 2005-06-14 Emcore Corporation Method and apparatus for coupling optical elements to optoelectronic devices for manufacturing optical transceiver modules
US6863444B2 (en) 2000-12-26 2005-03-08 Emcore Corporation Housing and mounting structure
US6867377B2 (en) 2000-12-26 2005-03-15 Emcore Corporation Apparatus and method of using flexible printed circuit board in optical transceiver device
WO2002070987A1 (en) * 2001-03-01 2002-09-12 Corning Incorporated System and method of aligning two optical axis towards each other
TW510122B (en) * 2001-05-15 2002-11-11 Dynacolor Inc Positioning method and device to position the lens set of optical image sensor and array sensing device correctly, and the method to calibrate and compensate the image distortion of lens set
JP2002365508A (ja) * 2001-06-08 2002-12-18 Nippon Sheet Glass Co Ltd 光モジュールのアライメント方法、光モジュール、光モジュールのアライメント装置
US6825977B2 (en) * 2002-06-06 2004-11-30 Soluris Inc. Fixture for microscope component alignment
US20040119988A1 (en) * 2002-10-28 2004-06-24 Finisar Corporation System and method for measuring concentricity of laser to cap
US6863453B2 (en) 2003-01-28 2005-03-08 Emcore Corporation Method and apparatus for parallel optical transceiver module assembly
US7202952B2 (en) * 2003-08-27 2007-04-10 Finisar Corporation Fabrication and alignment device
US20050179041A1 (en) * 2004-02-18 2005-08-18 Lumileds Lighting U.S., Llc Illumination system with LEDs
US7315414B2 (en) * 2004-03-31 2008-01-01 Swift Instruments, Inc. Microscope with adjustable stage
US20050219689A1 (en) * 2004-03-31 2005-10-06 Copeland David J Microscope with retractable cord
EP2151680A1 (de) * 2008-08-05 2010-02-10 F. Hoffmann-Roche AG Montageverfahren zur Herstellung eines Analysesystems
JPWO2012011406A1 (ja) * 2010-07-23 2013-09-09 コニカミノルタ株式会社 絞り位置測定方法、絞り位置測定装置、絞り位置決め方法及び絞り位置決め装置
CN102073148B (zh) * 2011-01-14 2012-07-04 北京理工大学 一种微小型结构件高精度视觉同轴光学对位装配系统
KR102009904B1 (ko) * 2012-10-24 2019-08-12 삼성전자주식회사 광학부재 실장장치 및 이를 이용한 발광장치 제조방법
AT513747B1 (de) 2013-02-28 2014-07-15 Mikroelektronik Ges Mit Beschränkter Haftung Ab Bestückungsverfahren für Schaltungsträger und Schaltungsträger
US10228531B2 (en) * 2015-10-08 2019-03-12 Finisar Germany Gmbh Lens device
CN108801177B (zh) * 2018-06-15 2020-05-05 湖南品胜生物技术有限公司 一种用于显微系统自动调节垂直度的方法及其校准玻片
US11280978B2 (en) 2018-10-01 2022-03-22 Corning Incorporated Methods of aligning a cylindrical lens in a lens fixture and in an optical system
TWI734535B (zh) * 2020-06-19 2021-07-21 新加坡商巴奇尼資本私人有限公司 主動式對準系統以及主動式對準方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61148411A (ja) * 1984-12-21 1986-07-07 Nec Corp タ−ゲツトアライメント装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1824879U (de) * 1960-11-12 1961-01-12 August Dr Wetthauer Achsenlage-pruefgeraet fuer optische systeme.
JPS58108745A (ja) * 1981-12-23 1983-06-28 Canon Inc 転写装置
JPS59133516A (ja) * 1983-01-20 1984-07-31 Takashi Mori 光導体の受光端をレンズの焦点に合わせるための装置
JPH0229202B2 (ja) * 1983-04-04 1990-06-28 Hitachi Ltd Fukusukogakuyosonokojikukatamukichoseihoho
JPS59229515A (ja) * 1983-06-13 1984-12-24 Nippon Sheet Glass Co Ltd 屈折率分布型レンズと光フアイバとの光軸を合わせる方法
JPS60142318A (ja) * 1983-12-28 1985-07-27 Fuji Xerox Co Ltd 半導体レ−ザ用コリメ−タレンズ調整装置
JP3655703B2 (ja) * 1996-06-14 2005-06-02 帝人株式会社 磁気記録媒体用二軸配向積層ポリエステルフイルム

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61148411A (ja) * 1984-12-21 1986-07-07 Nec Corp タ−ゲツトアライメント装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02277009A (ja) * 1989-04-19 1990-11-13 Fujitsu Ltd 光出射手段とレンズの相対位置調整方法
JP2002202440A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Japan Aviation Electronics Industry Ltd 光モジュールの実装構造及び実装方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0269337A3 (en) 1989-02-08
US4772123A (en) 1988-09-20
EP0269337A2 (en) 1988-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS63144314A (ja) 光学素子の調節方法
US5038258A (en) Illuminating arrangement for illuminating an object with incident light
US5410410A (en) Non-contact type measuring device for measuring three-dimensional shape using optical probe
KR100420272B1 (ko) 오프셋 측정방법, 툴위치 검출방법 및 본딩장치
JP2018525638A (ja) ３次元イメージャ
US5700084A (en) Optical source position adjustment device
JPH02129942A (ja) 三次元物体の自動分析方法および装置
JPS62168125A (ja) ビジヨンシステム用の対象物照明装置
JP6462823B2 (ja) 画像検査装置
US5801822A (en) Ophthalmic lens inspection system
US20130120712A1 (en) Method and device for determining the eye position
JPH08201304A (ja) 光学検査装置
JP2016126176A (ja) 干渉対物レンズ、および光干渉測定装置
JP2019074470A (ja) 画像測定装置の調整方法
JP2010216864A (ja) 測光装置
JP2008164324A (ja) 形状情報取得装置、欠陥検出装置、形状情報取得方法および欠陥検出方法
JP2000131037A (ja) 物体形状検査装置
US9078602B2 (en) Fundus camera
JP5197712B2 (ja) 撮像装置
CN108139205A (zh) 光学元件特性测定装置
JPS61102505A (ja) 照明装置
JPH10176905A (ja) 光沢を有する球冠状突起の撮像，位置特定方法およびシステム
CN106814547B (zh) 一种测校装置及测校方法
JP2000250100A (ja) 光学測定機用照明装置
KR20030076285A (ko) 와이어 본더의 이미지 인식 시스템과 모세관 사이의 벡터거리를 결정하기 위한 방법 및 장치