JPS61148411A - タ−ゲツトアライメント装置 - Google Patents
タ−ゲツトアライメント装置Info
- Publication number
- JPS61148411A JPS61148411A JP27019184A JP27019184A JPS61148411A JP S61148411 A JPS61148411 A JP S61148411A JP 27019184 A JP27019184 A JP 27019184A JP 27019184 A JP27019184 A JP 27019184A JP S61148411 A JPS61148411 A JP S61148411A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- diameter
- image
- detector
- alignment
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
- G02B7/36—Systems for automatic generation of focusing signals using image sharpness techniques, e.g. image processing techniques for generating autofocus signals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の属する技術分野
本発明は、ターゲット面上に配置されたアライメント用
ターゲットを、集光レンズによって集光されたレーザ光
で照射し、該アライメント用ターゲットの像をＣＣＤカ
メラで観測することによって集光レンズの焦点を合せる
ターゲットアライメント装置に関する。
ターゲットを、集光レンズによって集光されたレーザ光
で照射し、該アライメント用ターゲットの像をＣＣＤカ
メラで観測することによって集光レンズの焦点を合せる
ターゲットアライメント装置に関する。
従来技術
従来のこの種ターゲットアライメント装置は。
第４図に示すように、７ライメント用ターゲット３をタ
ーゲット面上に配置して、集光レンズ２で集光されたレ
ーザ光によってアライメント用ターゲットを照射して、
ＣＣＤカメラ４でアライメント用ターゲット３およびタ
ーゲット面上でのレーザ光の像を画像としてとらえ、そ
の画像をモニタテレビに表示し、人間がモニタテレビの
画像を見ながら手動でレンズ駆動装置ｌを操作して集光
しンズ２の焦点位置を調節するようにしていた。従って
、従来のターゲットアライメント装置は、調節に時間が
かかり、しかも操作者の主観により再現性が乏しいとい
う欠点があった。
ーゲット面上に配置して、集光レンズ２で集光されたレ
ーザ光によってアライメント用ターゲットを照射して、
ＣＣＤカメラ４でアライメント用ターゲット３およびタ
ーゲット面上でのレーザ光の像を画像としてとらえ、そ
の画像をモニタテレビに表示し、人間がモニタテレビの
画像を見ながら手動でレンズ駆動装置ｌを操作して集光
しンズ２の焦点位置を調節するようにしていた。従って
、従来のターゲットアライメント装置は、調節に時間が
かかり、しかも操作者の主観により再現性が乏しいとい
う欠点があった。
発明の目的
本発明の目的は、上述の従来の欠点を解決し、迅速かつ
高精度にターゲットアライメントをすることができるタ
ーゲットアライメント装置を提供することにある。
高精度にターゲットアライメントをすることができるタ
ーゲットアライメント装置を提供することにある。
発明の構成
本発明のターゲットアライメント装置は、ターゲット面
上に配置されたアライメント用ターゲットと、後記レン
ズ駆動装置に駆動されて光軸上を移動してターゲット面
に焦点を合せることができる集光レンズと、前記アライ
メント用ターゲットの像を画像信号゛に変換出力するＣ
ＣＤカメラと。
上に配置されたアライメント用ターゲットと、後記レン
ズ駆動装置に駆動されて光軸上を移動してターゲット面
に焦点を合せることができる集光レンズと、前記アライ
メント用ターゲットの像を画像信号゛に変換出力するＣ
ＣＤカメラと。
ｕｃｃＤカメラの出力画像面上の前記アライメント用タ
ーゲットおよびレーザ光の画像の直径を検出する直径検
出器と、該直径検出器の出力するアライメント用ターゲ
ットおよびレーザ光の画像の直径と実際の７ライメント
用ターゲットの直径とからターゲット面上での実際のレ
ーザ光のビーム径を算出するビーム径検出器と、該ビー
ム径検出器の出力するレーザ光のビーム径と前記集光レ
ンズの焦点距離とから前記集光レンズの焦点位置のずれ
を算出するずれ量検出器と、該ずれ量検出器の出力に応
じて前記集光レンズを移動させるレンズ駆動装置とを備
えたことを特徴とする。
ーゲットおよびレーザ光の画像の直径を検出する直径検
出器と、該直径検出器の出力するアライメント用ターゲ
ットおよびレーザ光の画像の直径と実際の７ライメント
用ターゲットの直径とからターゲット面上での実際のレ
ーザ光のビーム径を算出するビーム径検出器と、該ビー
ム径検出器の出力するレーザ光のビーム径と前記集光レ
ンズの焦点距離とから前記集光レンズの焦点位置のずれ
を算出するずれ量検出器と、該ずれ量検出器の出力に応
じて前記集光レンズを移動させるレンズ駆動装置とを備
えたことを特徴とする。
発明の実施例
次に、本発明について１図面を参照して詳細に説明する
。
。
１ｉ ＄ １図は、本発明の一実施例を示す一部側面図
を含むブロック図である。すなわち、ターゲット面上に
配置されたアライメント用ターゲット３を、集光レンズ
２で集光されたレーザ光によって照射し、アライメント
用ターゲット３の像をＣＣＤカメラ４によって画像信号
に変換出力して画像メモリ５に格納する。ＣＣＤカメラ
４がとらえたアライメント用ターゲット３の画像の周辺
には。
を含むブロック図である。すなわち、ターゲット面上に
配置されたアライメント用ターゲット３を、集光レンズ
２で集光されたレーザ光によって照射し、アライメント
用ターゲット３の像をＣＣＤカメラ４によって画像信号
に変換出力して画像メモリ５に格納する。ＣＣＤカメラ
４がとらえたアライメント用ターゲット３の画像の周辺
には。
第２図に示すようにターゲット面上のレーザ光も画像と
して得られている。そして、直径検出器６は、画像メモ
リ５に記憶された画像から、アライメント用ターゲット
３およびその周辺のレーザ光の画像の直径ｄ、、Ｄ２を
求めてビーム径検出器７に出力する。
して得られている。そして、直径検出器６は、画像メモ
リ５に記憶された画像から、アライメント用ターゲット
３およびその周辺のレーザ光の画像の直径ｄ、、Ｄ２を
求めてビーム径検出器７に出力する。
第３図に示すように７ライメント用ターゲット３および
ターゲット面上のレーザ光の実際の直径をｄｌおよびＤ
ｌとし、その画像の直径をそれぞれｄ２ 、Ｄ、 とす
れば、ターゲット面上のレーザ光の直径Ｄ□は、 Ｄ、＝Ｄ２ ・ｄｒ／ｄａ として算出することができる。ビーム径検出器７は、上
式によってＤｌを求めてずれ量検出器８に出力する。
ターゲット面上のレーザ光の実際の直径をｄｌおよびＤ
ｌとし、その画像の直径をそれぞれｄ２ 、Ｄ、 とす
れば、ターゲット面上のレーザ光の直径Ｄ□は、 Ｄ、＝Ｄ２ ・ｄｒ／ｄａ として算出することができる。ビーム径検出器７は、上
式によってＤｌを求めてずれ量検出器８に出力する。
集光レンズ２の焦点の目標位置からのずれＸは、集光レ
ンズ２の焦点距離をＦとすれば、ターゲット面上のレー
ザ光の直径Ｄ１から、ｘ＝ＦＸＤｔ として算出することができる。ずれ量検出器８は上記演
算を行なってレンズ駆動装置ｌに供給する。そして、レ
ンズ駆動装置ｌがずれ量検出器８の出力に応じて集光レ
ンズ２を移動させることにより集光レンズ２の焦点位置
を目標位置に正確に合せることができる。
ンズ２の焦点距離をＦとすれば、ターゲット面上のレー
ザ光の直径Ｄ１から、ｘ＝ＦＸＤｔ として算出することができる。ずれ量検出器８は上記演
算を行なってレンズ駆動装置ｌに供給する。そして、レ
ンズ駆動装置ｌがずれ量検出器８の出力に応じて集光レ
ンズ２を移動させることにより集光レンズ２の焦点位置
を目標位置に正確に合せることができる。
従って１本実施例は、操作者の主観によることなく、正
確迅速に自動的にターゲットアライメントを行なうこと
ができるという効果がある。
確迅速に自動的にターゲットアライメントを行なうこと
ができるという効果がある。
発明の効果
以上のように１本発明においては、レンズによって集光
されたレーザ光で７ライメント用ターゲットを照射し、
ＣＣＤカメラで上記アライメント用ターゲットの像を両
送信号として出力し、レーザ光に埋もれアライメント用
ターゲットの像およびレーザ光の画像上の直径から集光
レンズの焦点のずれ量を算出して、該ずれ着に応じて集
光レンズを移動させるように構成したから、正確かつ迅
速にターゲットアライメントを行なうことができるとい
う効果がある。
されたレーザ光で７ライメント用ターゲットを照射し、
ＣＣＤカメラで上記アライメント用ターゲットの像を両
送信号として出力し、レーザ光に埋もれアライメント用
ターゲットの像およびレーザ光の画像上の直径から集光
レンズの焦点のずれ量を算出して、該ずれ着に応じて集
光レンズを移動させるように構成したから、正確かつ迅
速にターゲットアライメントを行なうことができるとい
う効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す一部側面図を含むブロ
ック図、第２図はアライメント用ターゲットおよびレー
ザ光の像を示す図、第３図はレーザ光と７ライメント用
ターゲットとの関係を示す図、第４図は従来のターゲッ
トアライメント装置の一例を示す図である。 図において、１：レンズ駆動装置、２：集光レンズ、３
：アライメント用ターゲット、４：ＣＣＤカメラ、５：
画像メモリ、６：直径検出器、７：ビーム径検出器、８
：ずれ量検出器。
ック図、第２図はアライメント用ターゲットおよびレー
ザ光の像を示す図、第３図はレーザ光と７ライメント用
ターゲットとの関係を示す図、第４図は従来のターゲッ
トアライメント装置の一例を示す図である。 図において、１：レンズ駆動装置、２：集光レンズ、３
：アライメント用ターゲット、４：ＣＣＤカメラ、５：
画像メモリ、６：直径検出器、７：ビーム径検出器、８
：ずれ量検出器。
Claims (1)
- ターゲット面上に配置されたアライメント用ターゲット
と、後記レンズ駆動装置に駆動されて光軸上を移動して
ターゲット面に焦点を合せることができる集光レンズと
、前記アライメント用ターゲットの像を画像信号に変換
出力するＣＣＤカメラと、該ＣＣＤカメラの出力画像面
上の前記アライメント用ターゲットおよびレーザ光の画
像の直径を検出する直径検出器と、該直径検出器の出力
するアライメント用ターゲットおよびレーザ光の画像の
直径と実際のアライメント用ターゲットの直径とからタ
ーゲット面上での実際のレーザ光のビーム径を算出する
ビーム径検出器と、該ビーム径検出器の出力するレーザ
光のビーム径と前記集光レンズの焦点距離とから前記集
光レンズの焦点位置のずれを算出するずれ量検出器と、
該ずれ量検出器の出力に応じて前記集光レンズを移動さ
せるレンズ駆動装置とを備えたことを特徴とするターゲ
ットアライメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27019184A JPS61148411A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | タ−ゲツトアライメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27019184A JPS61148411A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | タ−ゲツトアライメント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61148411A true JPS61148411A (ja) | 1986-07-07 |
Family
ID=17482788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27019184A Pending JPS61148411A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | タ−ゲツトアライメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61148411A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63144314A (ja) * | 1986-11-24 | 1988-06-16 | アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー | 光学素子の調節方法 |
-
1984
- 1984-12-21 JP JP27019184A patent/JPS61148411A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63144314A (ja) * | 1986-11-24 | 1988-06-16 | アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー | 光学素子の調節方法 |
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