JPS63137169A - 真空処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は予備室と反応室が仕切弁によって仕切られてい
る真空処理装置に関し、特に仕切弁の開く機構に関する
。

〔従来の技術〕

従来この株の真空処理装置は、第２図に示す様に反応室
１の圧力と予備室２の圧力をそれぞれ真空セン？−３，
４で測定し予備室２の圧力が反応室１と同圧か、又はそ
れに近いある設定した圧力になったことを真空センサー
３が感知し、真空センサー３からの信号で仕切弁５が開
くという機構になっていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の機構では、予備室２が反応室１と同圧に
なった時に、真空センサー３が仕切弁を開ける信号を出
すことにしても、真空センサー３゜４の精度及び零点の
ずれなどから画処理室には微妙な圧力差があｐ、この様
な圧力差の下で仕切弁５が開くと、反応室１と予備室２
の間に気体の流れが生じてしまう。この気体の流れは真
空処理には悪影響を及はすパーティクル発生の原因とな
るといり欠点があった。

本発明は上記欠点を解釈し反応室１と予備室２に圧力差
が無い状態で、仕切弁５が開き、パーティクル発生を防
ぐことを提供するものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の真空処理装置は、反応室、予備室のそれぞれの
真空度を測る真空センブ、この真空センサーからの信号
で作動し、両室の圧力差を見るための１つの圧力センサ
ー、およびこの圧力センサーからの信号で両室の圧力を
微調整する圧力鉤整器と仕切弁より構成される。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例である。反応室１と予備室２
を圧力センサー７で結び、圧力センサー７と両室の間に
バルブ８を設ける。仕切弁６を閉じ、予備室２の真空排
気を行なう。反応室１は真空に保たれておシ１両室は真
空セン”ｊ−３，４でσ用足する。

真空セン？−３で予備室２の圧力が真空センサ−４での
反応室１の圧力と同程度になったことが検知されると、
この信号によってバルブ８が開き画室の差圧が圧力セン
？−７によって測定される。

圧力センサー７の構造は、２つの固定電極９間に隔膜１
０が張られておシ、圧力変化で隔膜間の静電容量の変化
が電圧計１１に出力されるというものである。電圧計１
１の出力電圧に応じて、圧力調整器１２が働き、反応室
１と予備室２の圧力の微調整を行ない、出力電圧が零に
なると、この信号が仕切弁５に送られ、これが開く。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は反応室と予備室に圧力差が
無い状態で仕切弁を開けることにより、両室間に生ずる
気体の流れを防ぐことができ、真空処理工程におけるパ
ーティクルの発生を激減できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は従来の真
空処理装置の概念図である。 １・・・反応室、２・・・予備室、３，４・・・真空セ
ンサー、５．６・・・仕切弁、７・・・圧力センサー、
８・・・バルブ、９・・・電極、１０・・・隔膜、１１
・・・電圧計、１２・・・圧力調整器。 憂　１　回 茅　２Ｔ５！Ｊ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 反応室と予備室が仕切弁によって仕切られている真空処
   理装置において、前記両室の圧力を測定する真空センサ
   ーと、前記両室の差圧を測定する圧力センサーと、前記
   両室の圧力を調整する手段とを具備し、該真空センサー
   で前記両室の圧力がほぼ同程度になると、該圧力センサ
   ーで前記両室の圧力差を測り、ここで前記両室の差圧を
   ほぼ零に調整して前記仕切弁が開ようにした機能を有す
   ることを特徴とする真空処理装置。