JPS6313282U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6313282U JPS6313282U JP515587U JP515587U JPS6313282U JP S6313282 U JPS6313282 U JP S6313282U JP 515587 U JP515587 U JP 515587U JP 515587 U JP515587 U JP 515587U JP S6313282 U JPS6313282 U JP S6313282U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- cap
- coating liquid
- cylinder
- spindle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
図面は本考案を示す断面図で、第1図は半導体
ウエハーに塗布液を滴下している状態を示す動作
説明図、第2図はノズルをキヤツプで蓋をして溶
剤揮散を防止している動作説明図である。 1…半導体ウエハー、2…スピンドル、3…受
皿、4…ノズル、5…塗布液、6…キヤツプ、7
…キヤツプ支持棒、8…第2シリンダー、9…ノ
ズル支持棒、10…第1シリンダー、11…溶剤
、12…溶剤蒸気、13…ホース。
ウエハーに塗布液を滴下している状態を示す動作
説明図、第2図はノズルをキヤツプで蓋をして溶
剤揮散を防止している動作説明図である。 1…半導体ウエハー、2…スピンドル、3…受
皿、4…ノズル、5…塗布液、6…キヤツプ、7
…キヤツプ支持棒、8…第2シリンダー、9…ノ
ズル支持棒、10…第1シリンダー、11…溶剤
、12…溶剤蒸気、13…ホース。
Claims (1)
- 下向きとなした塗布液滴下用ノズルをスピンド
ル上方位置で第1シリンダーにより上下方向に一
定距離移動するように設けしめるのほか、そのノ
ズル下面に蓋をして密閉構造とするためのキヤツ
プを溶剤容器とホースを介して連結し、キヤツプ
内に溶剤蒸気が貯留されるようになさしめると共
に第2シリンダーにより水平移動するように設け
、不使用時はスピンドル上方の一定高さ位置でノ
ズル下面に蓋をしてノズル周囲が溶剤蒸気雰囲気
となるようにし、また塗布液の滴下時には第2シ
リンダーの作動でノズルとキヤツプとの接合を解
放すると共に、第1シリンダーの作動でノズルを
基板上へ可及的に近づくよう下降せしめて塗布液
滴下が行われるように構成したことを特徴とする
回転塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP515587U JPS6313282U (ja) | 1987-01-17 | 1987-01-17 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP515587U JPS6313282U (ja) | 1987-01-17 | 1987-01-17 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6313282U true JPS6313282U (ja) | 1988-01-28 |
Family
ID=30786478
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP515587U Pending JPS6313282U (ja) | 1987-01-17 | 1987-01-17 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6313282U (ja) |
-
1987
- 1987-01-17 JP JP515587U patent/JPS6313282U/ja active Pending
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