JPH03119483U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03119483U JPH03119483U JP1990025814U JP2581490U JPH03119483U JP H03119483 U JPH03119483 U JP H03119483U JP 1990025814 U JP1990025814 U JP 1990025814U JP 2581490 U JP2581490 U JP 2581490U JP H03119483 U JPH03119483 U JP H03119483U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- brush
- substrate
- horizontal
- changed
- whose posture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Description
第１図は本考案装置の一実施例の側面図、第２
図は本考案装置の他の実施例の側面図、第３図は
従来の基板洗浄装置の概要側面図である。 １……水平回転テーブル、２……基板、３……
水平軸回転ブラシ、４……昇降アーム、５……ア
ーム先端部、６……上部カバー、７……受皿、８
……支点、９……装置本体外槽、１０……張出部
、１１……連結紐、１２……アーム、１３……エ
アーシリダー、１４……作動連結部、１５……ノ
ズル、１６……洗浄液噴出部、１７……取付板、
１８……排出口、１９……受板、２０……排出管
。
図は本考案装置の他の実施例の側面図、第３図は
従来の基板洗浄装置の概要側面図である。 １……水平回転テーブル、２……基板、３……
水平軸回転ブラシ、４……昇降アーム、５……ア
ーム先端部、６……上部カバー、７……受皿、８
……支点、９……装置本体外槽、１０……張出部
、１１……連結紐、１２……アーム、１３……エ
アーシリダー、１４……作動連結部、１５……ノ
ズル、１６……洗浄液噴出部、１７……取付板、
１８……排出口、１９……受板、２０……排出管
。
Claims (1)
- 基板２を水平状態に載置固定する水平回転テー
ブル１と、該テーブル１上方から該テーブル上の
基板２までの間を上下動作可能な水平軸回転ブラ
シ３と、該ブラシ３近傍に設置する洗浄液噴出部
１６とを備え、該ブラシ３の上昇動作で該ブラシ
３の下側に水平状態に姿勢を変換され下降動作で
該ブラシ３の側方に起立状態に姿勢を変換される
洗浄受皿部７とを設けたことを特徴とする基板洗
浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990025814U JPH0725266Y2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 基板洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990025814U JPH0725266Y2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 基板洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03119483U true JPH03119483U (ja) | 1991-12-10 |
| JPH0725266Y2 JPH0725266Y2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=31528735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990025814U Expired - Lifetime JPH0725266Y2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | 基板洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0725266Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-03-14 JP JP1990025814U patent/JPH0725266Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0725266Y2 (ja) | 1995-06-07 |
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