JPH0725266Y2 - 基板洗浄装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、フォトマスク用ガラス基板、透明電極用ガラ
ス基板、カラーフィルター用ガラス基板などの基板表面
を洗浄液にて洗浄するための基板洗浄装置に関する。

（従来の技術） 従来の洗浄液による基板洗浄装置は、第３図に示すよう
に、被洗浄基板２を載置固定する水平回転テーブル１を
備え、該テーブル１を回転させながら、該基板２上面
に、水平軸3aに取り付けられたロール状の回転ブラシ３
を接触させながら回転し、ノズル15より洗浄液を該ブラ
シ３に供給しながら洗浄するものである。しかしなが
ら、基板２面を洗浄する間に、回転ブラシ３と基板２と
の接触面より回転ベクトル方向に洗浄液を撥ね上げて、
装置Ａ内周壁面を汚損する。

（考案の目的） 本考案の第１の目的は、上記洗浄操作時におけるブラシ
によって撥ね上げられた洗浄液によって装置内が汚損さ
れることを防止することであり、第２の目的は、洗浄に
使用したことによって汚損された該ブラシを前記装置内
で洗浄液によって洗浄する場合、その洗浄液の撥ね上げ
によって、折角洗浄した前記基板に洗浄液が再付着して
汚損することがないように防御することである。

（考案の構成） 本考案は、基板２を水平状態に載置固定する水平回転テ
ーブル１と、該テーブル１上方から該テーブル上の基板
２までの間を上下動作可能な水平軸回転ブラシ３と、該
ブラシ３近傍に設置する洗浄液噴出部16とを備え、該ブ
ラシ３の上昇動作で該ブラシ３の下側に水平状態に姿勢
を変換され下降動作で該ブラシ３の側方に起立状態に姿
勢を変換される洗浄液受皿部７とを設けたことを特徴と
する基板洗浄装置である。

（考案の作用） 本考案は、基板洗浄操作時においては、水平軸に取り付
けた洗浄のために、水平軸回転駆動可能な回転ブラシは
基板面に下降動作し、洗浄液を噴出させながら回転テー
ブルによって連続的又は間欠的に水平回転する基板面に
対して接触しながら回転動作して基板面を洗浄するもの
であるが、該ブラシの下降に追従して基板とブラシとの
接触面より回転ベクトル方向の基板面側方に洗浄液を受
け止める受皿が起立し、前記ベクトル方向に撥ね上げら
れる洗浄廃液を受け止め、装置本体の内周壁面を汚損す
ることがない。又、洗浄操作終了後は、前記回転ブラシ
は、基板上方に上昇し、その上昇動作に追従して前記受
皿は、回転ブラシの下側に水平に姿勢が変換される。こ
れによって洗浄操作後の回転ブラシ本体を洗浄液噴出部
から供給しつつ洗浄液によって洗浄する場合にも、ブラ
シ洗浄廃液を受皿によって受け止めることができ、その
下側にある基板を汚損することがない。

（実施例） 本考案を図面に従って詳細に説明すれば、第１図は、本
考案装置の一実施例の側面図であり、エアーシリンダ
ー、油圧シリンダー、電動モーターなどによって駆動す
る昇降アーム４の先端部５に軸3aを軸支し、該軸3aと一
体に水平軸ロール状の回転ブラシ３を取り付ける。該ブ
ラシ３は、軸3aを適宜駆動手段（伝動モーター）により
回転させて回転駆動させる。ブラシ３に近接してその上
側を覆う上部カバー６を先端部５に一体に設ける。該上
部カバー６の内側にブラシ３の片側又は両側円周に、該
ブラシ３に向かって洗浄液を噴出させる洗浄液噴出部16
を設ける。該回転ブラシ３の下側に水平に受皿７を設
け、該受皿７の一側方端部に該受皿７を水平に支持する
垂直支持板7aを備え、該垂直支持板7aの上端部に該垂直
支持板7aを支持し且つ前記受皿７に約平行方向に相対す
る水平な支持板7bを備え、該水平支持板7bの前記垂直支
持板7a側と反対側の端部を、前記回転ブラシ３を軸支す
る前記アーム４の先端部５上部に備えた取付板17に支点
８を介して回転自在に軸支する。これによって前記受皿
７と垂直支持板7aと水平支持板7bは、概略コの字型体を
構成する。該コの字型構造体は、上端部の前記支点８に
よつて受皿７を水平にした状態で均衡がとれるように支
点８に対するその重心位置が設定される。

前記昇降アーム４の先端部５に軸支された前記ロール状
の回転ブラシ３と、該先端部５にある取付板17に支点８
を介して取り付けられた前記コの字型構造体及び受皿７
とは、適宜駆動手段により回転する水平回転テーブル１
を備える装置本体外槽９内に設置される。該回転テーブ
ル１上には例えばガラス基板、樹脂基板、金属基板など
被洗浄基板２を載置固定する。そして、前記昇降アーム
４は、水平を維持しながら斜め方向に上昇及び下降可能
になっている。前記受皿７を支持する前記垂直取付板7a
の上端部又は下端部と、前記装置本体外槽９の上端部の
張出部10との間には、連結紐11（あるいは連結杆）によ
って連結してされている。適宜駆動手段（例えばエアー
シリンダーなど）によって昇降アーム４が上方位置から
斜め下方位置に下降動作することによってその先端部に
取り付けられた回転ブラシ３は、被洗浄基板２上面まで
下降するするとともに、前記垂直取付板7aは、連結紐11
によって上方に引っ張られ、支点８を介して均衡状態に
あるコの字型構造体の受皿７は、被洗浄基板２の側方に
水平状態から起立状態に姿勢変換されるものである。一
方、昇降アーム４の斜め上方への上昇動作によって回転
ブラシ３は前記基板２上面より離脱するとともに、前記
受皿７は、支点８を中心とする回転モーメント力によっ
てブラシ３の下側に復帰し、水平状態に姿勢変換される
ものである。

第２図は、本考案の他の実施例の側面図であり、支点12
aを介して取り付けた傾斜姿勢より水平姿勢に移動可能
なアーム12の先端部５にロール状の回転ブラシ３を支軸
3aによって軸支し、該回転ブラシ３を適宜駆動モーター
によって回転させる。又、ブラシ３の周面の片側又は両
側に近接して、洗浄液を噴出させる洗浄液供給ノズルな
どの洗浄液噴出部16をアーム12の先端部５に一体に設け
る。該回転ブラシ３の下側には受皿７を水平状態に設
け、該受皿７の一端部に該受皿７を水平に支持する垂直
支持板7aを設け、該垂直支持板7aの上端部に前記受皿７
に平行に相対して水平支持板7bを設ける。該水平支持板
7bの前記垂直支持板7aと反対側端部を、前記アーム12の
端部上部に設けた取付板17に支点８を介して取り付け
る。前記受皿７と垂直支持板7aと水平支持板7bからなる
概略コの字型構造体は、支点８を介して前記受皿７を水
平状態な状態にして均衡を保持している。そのため、受
皿７は回転ブラシ３の下側に保持されている。垂直支持
板7aの下端部と、装置本体外槽９の上端部の前記張出部
10との間を連結紐11によって連結されている。アーム12
を傾斜位置から水平位置に動作させることによって、回
転ブラシ３を下降させ、基板２上面に接触させるととも
に、前記連結紐11によって垂直支持板7aの下端が引っ張
られて、受皿７は、アーム12と同じ傾斜状態からブラシ
３側方に支点８を介して起立状態に姿勢変換されるもの
である。そして、洗浄操作後は、再びアーム12を傾斜位
置に戻すことによってブラシ３は基板２面から上方に離
脱し、受皿７は、支点８を介して回転モーメント力によ
ってブラシ３の下側に水平状態に復帰するものである。

本考案は、基板の洗浄において、第１図、水平状態で回
転する回転テーブル１上に基板２を載置固定した後、昇
降アーム４を下降させて、回転ブラシ３を基板２上面に
接触させ、洗浄液を噴出ノズルなどの洗浄液噴出部16,1
6より噴出供給させながら高速回転させ、該回転テーブ
ル１を緩やかに回転させて、洗浄操作する。回転ブラシ
３の幅は、基板２が角形の場合は、その対角線の幅、あ
るいはそれより大きい幅のものを使用することが良い。
基板２と洗浄ブラシ３の接触面より回転モーメント方向
への洗浄液の撥ね上げは、その前方に起立する受皿７に
よって遮断される。

洗浄後は、昇降アーム４を上昇動作させて、回転ブラシ
３を基板２より離脱させ、受皿７を回転ブラシ３下側に
復帰させる。次に洗浄液噴出部16,16より洗浄液を噴出
させて回転ブラシ３を回転させながら該ブラシ３の自己
洗浄を行なうものである。洗浄液の回収は、受皿７の側
方、又は底部にある排出口18より受板19と排出管20を介
して外方に排出する。

本考案装置において、水平軸回転ブラシ３は、その直径
は適宜選定できるが、ブラシ周面の軸方向の有効長さ
は、回転テーブル上に載置する被洗浄基板の直径、ある
いは対角線長さ以上であることが適当である。

又、本考案の前記水平回転テーブルは、前記回転ブラシ
３に対して水平方向に適宜距離を相対的に往復移動でき
るようにしてもよい。

（考案の効果） 本考案は、基板洗浄操作中の基板洗浄ブラシによる洗浄
液の撥ね上げと、基板洗浄後のブラシの自己洗浄におけ
る洗浄液の撥ね上げによる装置本体の汚損あるいは洗浄
後の基板への洗浄液の再付着を防止することができ、基
板洗浄の仕上がり品質に良好な結果を得ることができ
る。又、本考案装置の水平回転テーブルに、フォトレジ
ストなど感光液を基板面に塗布する水平回転スピナー塗
布方式の水平回転テーブルを取り付けることによって、
レジスト塗布と基板の洗浄とを同一装置によって実施す
ることが可能になるなどの実用的価値のあるものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案装置の一実施例の側面図、第２図は本考
案装置の他の実施例の側面図、第３図は従来の基板洗浄
装置の概要側面図である。 １……水平回転テーブル、２……基板、３……水平軸回
転ブラシ、４……昇降アーム、５……アーム先端部、６
……上部カバー、７……受皿、８……支点、９……装置
本体外槽、10……張出部、11……連結紐、12……アー
ム、13……エアーシリンダー、14……作動連結部、15…
…ノズル、16……洗浄液噴出部、17……取付板、18……
排出口、19……受板、20……排出管

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】基板２を水平状態に載置固定する水平回転
   テーブル１と、該テーブル１上方から該テーブル上の基
   板２までの間を上下動作可能な水平軸回転ブラシ３と、
   該ブラシ３近傍に設置する洗浄液噴出部16とを備え、該
   ブラシ３の上昇動作で該ブラシ３の下側に水平状態に姿
   勢を変換され下降動作で該ブラシ３の側方に起立状態に
   姿勢を変換される洗浄液受皿部７とを設けたことを特徴
   とする基板洗浄装置。