CN217491338U - 晶圆喷涂治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种晶圆喷涂治具，涉及晶圆治具技术领域。该晶圆喷涂治具包括固定座、升降台和涂布喷头，固定座开设有安装孔，升降台可移动地设置在安装孔中，涂布喷头设置在固定座上，升降台用于放置晶圆；升降台用于下降以使晶圆低于涂布喷头，涂布喷头用于对晶圆喷胶，升降台用于在喷胶后上升以使晶圆高于涂布喷头。有利于取出晶圆，防止晶圆表面边缘胶层与侧面的残胶拉扯而导致表面胶层断裂，提高喷涂质量。

Description

晶圆喷涂治具

技术领域

本实用新型涉及晶圆治具技术领域，具体而言，涉及一种晶圆喷涂治具。

背景技术

经发明人研究发现，在晶圆表面采用旋转喷涂方式进行喷胶时，喷涂边缘区域在喷涂过程中存在残胶，以及喷涂过程中容易出现残胶飞溅等现象。在取出晶圆时，晶圆表面胶层极其容易与残胶拉扯，导致表面胶层断裂，影响喷涂质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆喷涂治具，其能够防止边缘残胶撕扯到晶圆表面胶层，防止表面胶层断裂，提高喷涂质量。

本实用新型的实施例是这样实现的：

本实用新型提供一种晶圆喷涂治具，包括固定座、升降台和涂布喷头，所述固定座开设有安装孔，所述升降台可移动地设置在所述安装孔中，所述涂布喷头设置在所述固定座上，所述升降台用于放置晶圆；

所述升降台用于下降以使所述晶圆低于所述涂布喷头，所述涂布喷头用于对所述晶圆喷胶，所述升降台用于在喷胶后上升以使所述晶圆高于所述涂布喷头。

在可选的实施方式中，所述涂布喷头可转动地设置在所述固定座上，所述涂布喷头包括喷洒端，所述喷洒端上设有喷胶孔，所述涂布喷头转动至第一状态，以使所述喷洒端伸入所述安装孔内，且所述喷胶孔朝向所述安装孔内；所述涂布喷头转动至第二状态，以使所述喷洒端缩回至所述安装孔外。

在可选的实施方式中，所述固定座上设有固定孔，所述涂布喷头上设有转轴，所述转轴设于所述固定孔内且可以在所述固定孔中转动，所述转轴设于远离所述喷胶孔的一端。

在可选的实施方式中，所述固定座内设有第一料槽，所述第一料槽用于存放喷涂料，所述转轴上开设有灌胶孔，所述灌胶孔的一端与所述第一料槽连通，所述灌胶孔的另一端与所述喷胶孔连通。

在可选的实施方式中，所述升降台上设有真空吸附孔，用于吸附固定所述晶圆。

在可选的实施方式中，所述升降台的外周面开设有凹槽，所述凹槽的位置与所述涂布喷头的位置相对应，且所述涂布喷头能在所述升降台升起的状态下伸入所述凹槽内。

在可选的实施方式中，所述升降台包括上表面和外周面，所述上表面与所述外周面连接，所述外周面沿所述安装孔的内壁升降，所述上表面设有真空吸附孔，所述外周面设有凹槽，所述凹槽延伸至所述上表面，以避免所述涂布喷头对所述升降台的升降运动的干涉。

在可选的实施方式中，所述凹槽的侧壁上设有清洗孔，所述清洗孔用于向所述涂布喷头喷洒清洗液。

在可选的实施方式中，所述升降台内设有第二料槽，所述第二料槽用于存放所述清洗液，所述第二料槽与所述清洗孔连通。

在可选的实施方式中，还包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件与所述升降台连接，带动所述升降台升降，所述第二驱动件与所述涂布喷头连接，用于带动所述涂布喷头转动。

本实用新型实施例的有益效果是：

本实用新型实施例提供的晶圆喷涂治具，升降台用于放置晶圆，在晶圆喷涂完成后，升降台能够上升带动晶圆一起上升，并使晶圆高于涂布喷头的位置，这样便于取出晶圆，且能防止喷涂边缘的残胶撕扯到晶圆表面胶层，防止表面胶层断裂，提高喷涂质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的晶圆喷涂治具的一种结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的晶圆喷涂治具的涂布喷头的一种结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的晶圆喷涂治具的固定座的一种结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的晶圆喷涂治具的涂布喷头的一种喷涂状态的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的晶圆喷涂治具的升降台升起的一种状态的结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的晶圆喷涂治具的升降台的一种结构示意图；

图7为本实用新型实施例提供的晶圆喷涂治具的升降台升起状态的另一种结构示意图；

图8为本实用新型实施例提供的晶圆喷涂治具，涂布喷头支撑晶圆的状态示意图。

图标：100-晶圆喷涂治具；101-晶圆；110-固定座；111-安装孔；113-固定孔；130-升降台；131-真空吸附孔；133-上表面；135-外周面；137-凹槽；139-清洗孔；150-涂布喷头；151-喷洒端；153-喷胶孔；160-转轴；161-灌胶孔。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

随着半导体行业的快速发展，晶圆级芯片封装结构广泛应用于半导体行业中，针对晶圆背面需要进行保护时或其它晶圆处理工艺中，采取的工艺通常为利用真空吸附治具方式，在晶圆表面进行喷涂胶层或蜡层，采用旋转喷涂方式，喷涂边缘区域在喷涂过程中存在残胶，以及出现喷涂过程中残胶飞溅等现象。在取出晶圆时，晶圆表面边缘胶层极其容易与残胶拉扯，导致表面胶层断裂或收到损伤，严重影响喷涂质量。

为了克服现有技术中的至少一个缺陷，本实施例提出了一种晶圆喷涂治具100，能够避免喷涂过程中残胶飞溅的情况，也能防止取出晶圆101时残胶撕扯到喷涂边缘区域的胶层，确保晶圆101取出时表面的胶层不受损伤，提高喷涂质量，便于取出晶圆101。

请参照图1，本实施例提供一种晶圆喷涂治具100，包括固定座110、升降台130和涂布喷头150，固定座110开设有安装孔111，升降台130可移动地设置在安装孔111中，涂布喷头150设置在固定座110上，升降台130用于放置晶圆101；升降台130用于下降以使晶圆101低于涂布喷头150，涂布喷头150用于对晶圆101喷胶，升降台130用于在喷胶后上升以使晶圆101高于涂布喷头150，便于晶圆101取出，并且可以防止残胶与晶圆101表面的胶层拉扯，保护晶圆101表面胶层的完整性，提高喷涂质量。

结合图2至图4，涂布喷头150可转动地设置在固定座110上，涂布喷头150包括喷洒端151，喷洒端151上设有喷胶孔153，涂布喷头150转动至第一状态，以使喷洒端151伸入安装孔111内，且喷胶孔153朝向安装孔111内；涂布喷头150转动至第二状态，以使喷洒端151缩回至安装孔111外。可以理解，晶圆101位于升降台130上，在喷涂时，升降台130下降以使晶圆101位于涂布喷头150的下方，喷胶孔153朝下喷胶，以使胶液涂布到晶圆101表面。根据不同场景的需求，可以在晶圆101的正面或背面喷胶。

可选地，固定座110上设有固定孔113，涂布喷头150上设有转轴160，转轴160设于固定孔113内且可以在固定孔113中转动，转轴160设于远离喷胶孔153的一端。喷洒端151可以相对转轴160转动，以使喷胶孔153伸入安装孔111内或转动至安装孔111外，容易理解，该转轴160为偏心设置，即没有设置在涂布喷头150的中心位置，这样设置，能在喷胶时使喷洒端151位于安装孔111内，如图4所示，也能在不喷胶时，转动至安装孔111外，且整个涂布喷头150均位于安装孔111外，如图1所示，以便于升降台130能够顺利地上升或下降，避免涂布喷头150对升降台130的升降运动的干涉或阻挡。在其它可选的实施方式中，涂布喷头150也可以采用伸缩方式实现喷洒端151相对安装孔111的移动，即需要喷涂时伸出至安装孔111内，不需要喷涂时缩回至安装孔111外，同时避免对升降台130的升降运动的干扰。

本实施例中，固定座110内设有第一料槽(图未示)，第一料槽用于存放喷涂料，喷涂料根据实际的喷涂工艺需要，包括但不限于是胶液、蜡剂或其它材料。转轴160上开设有灌胶孔161，灌胶孔161的一端与第一料槽连通，灌胶孔161的另一端与喷胶孔153连通，以便于喷涂料经过灌胶孔161到达喷胶孔153，从喷胶孔153喷出至晶圆101表面。可以理解，第一料槽与固定座110上的固定孔113连通。将灌胶孔161设置在转轴160上，结构紧凑，设计巧妙，既实现了旋转功能，又实现了喷涂功能，无需额外设置喷涂料的运输通道，结构更加简单。并且在第一料槽内的喷涂料不足时，可以拆卸涂布喷头150，便于从固定孔113中添加喷涂料。

升降台130上设有真空吸附孔131，用于吸附固定晶圆101，保证晶圆101在喷涂过程中固定可靠，防止晶圆101移位，以提高喷涂质量。

请结合图5至图7，可选地，升降台130的外周面135开设有凹槽137，凹槽137的位置与涂布喷头150的位置相对应，且涂布喷头150能在升降台130升起的状态下伸入凹槽137内。这样设置，即使涂布喷头150的喷洒端151位于安装孔111内，升降台130也可以实现顺利的升降，使得涂布喷头150不会对升降台130的升降运动产生干涉。本实施例中，升降台130包括上表面133和外周面135，上表面133与外周面135连接，外周面135沿安装孔111的内壁升降，上表面133设有真空吸附孔131，外周面135设有凹槽137，凹槽137延伸至上表面133，以避免涂布喷头150对升降台130的升降运动的干涉。

需要说明的是，若晶圆101喷涂完成后，升降台130需要升起，此时升降台130上放置有晶圆101，涂布喷头150需要转动至安装孔111外，以便于晶圆101伸出高于涂布喷头150，此时涂布喷头150再转动至安装孔111内，以使涂布喷头150位于升降台130的凹槽137内，升降台130再下将，这样晶圆101便可以落放于涂布喷头150上，涂布喷头150对晶圆101起到支撑作用，如图8所示。便于将晶圆101取出，确保晶圆101表面胶层的完整性，防止残胶撕扯对晶圆101表面胶层的破坏。

可选地，凹槽137的侧壁上设有清洗孔139，清洗孔139用于向涂布喷头150喷洒清洗液。升降台130内设有第二料槽，第二料槽用于存放清洗液，第二料槽与清洗孔139连通。可以理解，本实施例中，清洗孔139设于凹槽137的底壁上，该底壁为与上表面133平行的侧壁，即清洗孔139的开口朝上，这样，清洗液从清洗孔139中喷出，以便于对涂布喷头150的喷胶孔153进行清洗，防止喷胶孔153堵塞，便于涂布喷头150下一次顺利喷胶。可以理解，根据喷涂料的种类不同，清洗液可以是清水或其它专门的清洗剂，这里不作具体限定。

该晶圆喷涂治具100还包括第一驱动件(图未示)和第二驱动件(图未示)，第一驱动件与升降台130连接，带动升降台130升降，第二驱动件与涂布喷头150连接，用于带动涂布喷头150转动，可以实现快速喷涂作业，操作方便，喷涂效率高，也便于实现自动喷涂作业。

本实用新型实施例提供的晶圆喷涂治具100，其工作原理如下：

涂布喷头150转动至安装孔111外，升降台130升起，将晶圆101放置于升降台130上，通过升降台130上的真空吸附孔131固定。当然，也可以在升降台130未升起的状态下，将晶圆101放置于升降台130的上表面133，这里不作具体限定。

涂布喷头150旋转，以使喷洒端151位于安装孔111内，喷胶孔153位于晶圆101的上方，喷胶孔153朝晶圆101表面喷胶。容易理解，喷胶孔153位于晶圆101表面的边缘区，并没有覆盖整个晶圆101表面，利用胶体的流动性，胶体自动从边缘流动，以覆盖晶圆101表面。喷胶的厚度可以通过升降台130的下降高度来调整，下降的高度越多，可喷涂的胶层厚度越厚。

喷涂完毕后，涂布喷头150旋转至安装孔111外，升降台130载着喷有胶层的晶圆101上升，晶圆101位置高于涂布喷头150后，涂布喷头150旋转使喷胶孔153位于安装孔111内，喷洒端151位于升降台130的外周面135的凹槽137内，升降台130下降，晶圆101放置于涂布喷头150上，涂布喷头150对晶圆101起到支撑作用。

从涂布喷头150上取出晶圆101，由于没有残胶与表面边缘胶层的拉扯，可保证晶圆101表面胶层的完整性，提高喷涂质量，且取出晶圆101快捷、方便，有利于提高喷涂作业效率。

取出晶圆101后，升降台130上的清洗孔139向上喷出清洗液，对涂布喷头150的喷胶孔153进行清洗，避免喷胶孔153堵塞，便于涂布喷头150下一次顺利喷胶。

综上所述，本实用新型实施例提供的晶圆喷涂治具100，具有以下几个方面的有益效果：

本实用新型实施例提供的晶圆喷涂治具100，升降台130用于放置晶圆101，在晶圆101喷涂完成后，升降台130能够上升带动晶圆101一起上升，并使晶圆101高于涂布喷头150的位置，这样便于取出晶圆101，且能防止喷涂边缘的残胶撕扯到晶圆101表面胶层，防止表面胶层断裂，提高喷涂质量。

通过在升降台130上设置避让凹槽137，可将喷涂后的晶圆101放置于涂布喷头150上，涂布喷头150对晶圆101起到支撑作用，没有残胶与表面边缘胶层的拉扯，可保证晶圆101表面胶层的完整性，提高喷涂质量，且取出晶圆101快捷、方便，有利于提高喷涂作业效率。此外，清洗孔139可以对喷胶孔153进行清洗，便于喷胶孔153下一次顺利出胶。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆喷涂治具，其特征在于，包括固定座、升降台和涂布喷头，所述固定座开设有安装孔，所述升降台可移动地设置在所述安装孔中，所述涂布喷头设置在所述固定座上，所述升降台用于放置晶圆；

所述升降台用于下降以使所述晶圆低于所述涂布喷头，所述涂布喷头用于对所述晶圆喷胶，所述升降台用于在喷胶后上升以使所述晶圆高于所述涂布喷头。

2.根据权利要求1所述的晶圆喷涂治具，其特征在于，所述涂布喷头可转动地设置在所述固定座上，所述涂布喷头包括喷洒端，所述喷洒端上设有喷胶孔，所述涂布喷头转动至第一状态，以使所述喷洒端伸入所述安装孔内，且所述喷胶孔朝向所述安装孔内；所述涂布喷头转动至第二状态，以使所述喷洒端缩回至所述安装孔外。

3.根据权利要求2所述的晶圆喷涂治具，其特征在于，所述固定座上设有固定孔，所述涂布喷头上设有转轴，所述转轴设于所述固定孔内且能够在所述固定孔中转动，所述转轴设于远离所述喷胶孔的一端。

4.根据权利要求3所述的晶圆喷涂治具，其特征在于，所述固定座内设有第一料槽，所述第一料槽用于存放喷涂料，所述转轴上开设有灌胶孔，所述灌胶孔的一端与所述第一料槽连通，所述灌胶孔的另一端与所述喷胶孔连通。

5.根据权利要求1所述的晶圆喷涂治具，其特征在于，所述升降台上设有真空吸附孔，用于吸附固定所述晶圆。

6.根据权利要求1所述的晶圆喷涂治具，其特征在于，所述升降台的外周面开设有凹槽，所述凹槽的位置与所述涂布喷头的位置相对应，且所述涂布喷头能在所述升降台升起的状态下伸入所述凹槽内。

7.根据权利要求1所述的晶圆喷涂治具，其特征在于，所述升降台包括上表面和外周面，所述上表面与所述外周面连接，所述外周面沿所述安装孔的内壁升降，所述上表面设有真空吸附孔，所述外周面设有凹槽，所述凹槽延伸至所述上表面，以避免所述涂布喷头对所述升降台的升降运动的干涉。

8.根据权利要求6所述的晶圆喷涂治具，其特征在于，所述凹槽的侧壁上设有清洗孔，所述清洗孔用于向所述涂布喷头喷洒清洗液。

9.根据权利要求8所述的晶圆喷涂治具，其特征在于，所述升降台内设有第二料槽，所述第二料槽用于存放所述清洗液，所述第二料槽与所述清洗孔连通。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的晶圆喷涂治具，其特征在于，还包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件与所述升降台连接，带动所述升降台升降，所述第二驱动件与所述涂布喷头连接，用于带动所述涂布喷头转动。

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