JPH0373437U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0373437U JPH0373437U JP11625790U JP11625790U JPH0373437U JP H0373437 U JPH0373437 U JP H0373437U JP 11625790 U JP11625790 U JP 11625790U JP 11625790 U JP11625790 U JP 11625790U JP H0373437 U JPH0373437 U JP H0373437U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- etching
- support rod
- edge
- stop device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第１図は、従来実施されているエツチング反応
停止装置の概念図。第２図は、本考案によるエツ
チング反応停止装置と一実施例の部分斜視図。第
３図及び第４図は、本考案によるエツチング反応
停止装置の一実施例の部分断面図。 ４……エツチング液、５……ウエーハ、６……
ウエーハホルダー、７……水槽、８……自動揺動
機、９……腕、１０……ストツパー、１１……エ
ツチング槽、１２……回転支持棒。
停止装置の概念図。第２図は、本考案によるエツ
チング反応停止装置と一実施例の部分斜視図。第
３図及び第４図は、本考案によるエツチング反応
停止装置の一実施例の部分断面図。 ４……エツチング液、５……ウエーハ、６……
ウエーハホルダー、７……水槽、８……自動揺動
機、９……腕、１０……ストツパー、１１……エ
ツチング槽、１２……回転支持棒。
Claims (1)
- 半導体ウエーハのエツチング停止装置において
、水槽内の一定高さに、エツチング槽を備えた構
成であつて、エツチング槽は、その一縁部が、水
槽側面に設けた回転支持棒を軸として支えられ、
水槽側面の回転支持棒と異なる位置には、エツチ
ング槽の他の縁部に係合する開放可能なストツパ
ーを有し、前記一定高さが、前記回転支持棒を軸
としたエツチング槽の回転半径より高い位置であ
ることを特徴とする半導体ウエーハのエツチング
停止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11625790U JPH0419794Y2 (ja) | 1990-11-07 | 1990-11-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11625790U JPH0419794Y2 (ja) | 1990-11-07 | 1990-11-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0373437U true JPH0373437U (ja) | 1991-07-24 |
| JPH0419794Y2 JPH0419794Y2 (ja) | 1992-05-06 |
Family
ID=31664540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11625790U Expired JPH0419794Y2 (ja) | 1990-11-07 | 1990-11-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0419794Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-11-07 JP JP11625790U patent/JPH0419794Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0419794Y2 (ja) | 1992-05-06 |
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