JPH0373437U - - Google Patents

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JPH0373437U
JPH0373437U JP11625790U JP11625790U JPH0373437U JP H0373437 U JPH0373437 U JP H0373437U JP 11625790 U JP11625790 U JP 11625790U JP 11625790 U JP11625790 U JP 11625790U JP H0373437 U JPH0373437 U JP H0373437U
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tank
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は、従来実施されているエツチング反応
停止装置の概念図。第2図は、本考案によるエツ
チング反応停止装置と一実施例の部分斜視図。第
3図及び第4図は、本考案によるエツチング反応
停止装置の一実施例の部分断面図。 4……エツチング液、5……ウエーハ、6……
ウエーハホルダー、7……水槽、8……自動揺動
機、9……腕、10……ストツパー、11……エ
ツチング槽、12……回転支持棒。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウエーハのエツチング停止装置において
    、水槽内の一定高さに、エツチング槽を備えた構
    成であつて、エツチング槽は、その一縁部が、水
    槽側面に設けた回転支持棒を軸として支えられ、
    水槽側面の回転支持棒と異なる位置には、エツチ
    ング槽の他の縁部に係合する開放可能なストツパ
    ーを有し、前記一定高さが、前記回転支持棒を軸
    としたエツチング槽の回転半径より高い位置であ
    ることを特徴とする半導体ウエーハのエツチング
    停止装置。
JP11625790U 1990-11-07 1990-11-07 Expired JPH0419794Y2 (ja)

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JP11625790U JPH0419794Y2 (ja) 1990-11-07 1990-11-07

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Publication Number Publication Date
JPH0373437U true JPH0373437U (ja) 1991-07-24
JPH0419794Y2 JPH0419794Y2 (ja) 1992-05-06

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ID=31664540

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JP11625790U Expired JPH0419794Y2 (ja) 1990-11-07 1990-11-07

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JPH0419794Y2 (ja) 1992-05-06

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