JPS6278746U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6278746U JPS6278746U JP17108985U JP17108985U JPS6278746U JP S6278746 U JPS6278746 U JP S6278746U JP 17108985 U JP17108985 U JP 17108985U JP 17108985 U JP17108985 U JP 17108985U JP S6278746 U JPS6278746 U JP S6278746U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- carrier
- window hole
- wafer
- processing tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第１図と第２図は共に本考案に係る半導体製造
装置の一実施例を示す動作説明図を兼ねた側断面
図、第３図は本考案に係る半導体製造装置の他の
実施例を示す側断面図である。第４図は従来のウ
エツト処理用半導体製造装置の側断面図、第５図
はウエーハ収納用キヤリアの側断面図、第６図は
ウエーハ収納用キヤリアの部分平面図である。 １……ウエーハ、２……ウエーハ収納用キヤリ
ア、３，７……ステージ、３ａ，７ａ……キヤリ
ア載置部、３ｂ，７ｂ……窓孔、４……処理液、
５……処理槽、６……回転円筒体。
装置の一実施例を示す動作説明図を兼ねた側断面
図、第３図は本考案に係る半導体製造装置の他の
実施例を示す側断面図である。第４図は従来のウ
エツト処理用半導体製造装置の側断面図、第５図
はウエーハ収納用キヤリアの側断面図、第６図は
ウエーハ収納用キヤリアの部分平面図である。 １……ウエーハ、２……ウエーハ収納用キヤリ
ア、３，７……ステージ、３ａ，７ａ……キヤリ
ア載置部、３ｂ，７ｂ……窓孔、４……処理液、
５……処理槽、６……回転円筒体。
Claims (1)
- 処理液を満たした処理槽と、上下に開口したウ
エーハ収納用キヤリアを載置し上記処理槽内で上
下動すると共にキヤリア載置部にキヤリア内のウ
エーハに対向する窓孔を穿設したステージと、上
記窓孔の直下位置にあつて上記ステージの上下動
に伴いステージに対し相対的に変位し、ステージ
の下降に伴いステージに接近して上記窓孔を通り
上記キヤリア内のウエーハ下縁に周面が接触する
と共にステージの上昇に伴いステージより離れる
回転円筒体とを具備したことを特徴とする半導体
製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17108985U JPS6278746U (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17108985U JPS6278746U (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6278746U true JPS6278746U (ja) | 1987-05-20 |
Family
ID=31106404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17108985U Pending JPS6278746U (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6278746U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5632438B2 (ja) * | 1978-04-05 | 1981-07-28 |
-
1985
- 1985-11-06 JP JP17108985U patent/JPS6278746U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5632438B2 (ja) * | 1978-04-05 | 1981-07-28 |