JPH0170326U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0170326U JPH0170326U JP1987165098U JP16509887U JPH0170326U JP H0170326 U JPH0170326 U JP H0170326U JP 1987165098 U JP1987165098 U JP 1987165098U JP 16509887 U JP16509887 U JP 16509887U JP H0170326 U JPH0170326 U JP H0170326U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recess
- circular plate
- rotating circular
- board
- spacer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図イは本考案の回転円形板の平面図、第１
図ロは同上のＡ―Ｂ線の断面図、第２図は回転円
形板に基板をセツトした場合の断面図、第３図は
回転円形板と基板とを断面にした使用状態を示す
図面である。 符号ａ……回転円形板、ｂ……基板、ｃ……真
空チヤツク台、ｄ……ノズル、１……凹窪部、２
……スペーサー、３……溝。
図ロは同上のＡ―Ｂ線の断面図、第２図は回転円
形板に基板をセツトした場合の断面図、第３図は
回転円形板と基板とを断面にした使用状態を示す
図面である。 符号ａ……回転円形板、ｂ……基板、ｃ……真
空チヤツク台、ｄ……ノズル、１……凹窪部、２
……スペーサー、３……溝。
Claims (1)
- 回転円形板の中央に正方形又は矩形状の基板を
嵌入する凹窪部を設けるとともに、その中央部に
上記の基板を支えるスペーサーを突設し、このス
ペーサーをして、これに載置して上記の凹窪部に
嵌入した基板の表面が上記の回転円形板の表面に
対して平行にして、これより僅かに低い位置とな
る高さとしたスピンコーテイングによるレジスト
塗布用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165098U JPH0170326U (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165098U JPH0170326U (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0170326U true JPH0170326U (ja) | 1989-05-10 |
Family
ID=31451276
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987165098U Pending JPH0170326U (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0170326U (ja) |
-
1987
- 1987-10-28 JP JP1987165098U patent/JPH0170326U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0170326U (ja) | ||
| JPS61202241U (ja) | ||
| JPS6410549U (ja) | ||
| JPS59109140U (ja) | ウエ−ハバキユ−ムチヤツクテ−ブル | |
| JPS59146266U (ja) | 台車 | |
| JPS59152041U (ja) | フリ−アクセスフロア用支持脚 | |
| JPS62163692U (ja) | ||
| JPS6220887U (ja) | ||
| JPS60193165U (ja) | 植木鉢載置台 | |
| JPS6231974U (ja) | ||
| JPS6384981U (ja) | ||
| JPH0325239U (ja) | ||
| JPS6242880U (ja) | ||
| JPS6456733U (ja) | ||
| JPH01121921U (ja) | ||
| JPH0325719U (ja) | ||
| JPH02112237U (ja) | ||
| JPH0253330U (ja) | ||
| JPH0193071U (ja) | ||
| JPS6263928U (ja) | ||
| JPH0192651U (ja) | ||
| JPS627995U (ja) | ||
| JPH0264331U (ja) | ||
| JPH0462751U (ja) | ||
| JPS6319500U (ja) |