JPS63128730U - - Google Patents

Info

Publication number
JPS63128730U
JPS63128730U JP1987021250U JP2125087U JPS63128730U JP S63128730 U JPS63128730 U JP S63128730U JP 1987021250 U JP1987021250 U JP 1987021250U JP 2125087 U JP2125087 U JP 2125087U JP S63128730 U JPS63128730 U JP S63128730U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
microscope
image
dark
television
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1987021250U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0541551Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1987021250U priority Critical patent/JPH0541551Y2/ja
Publication of JPS63128730U publication Critical patent/JPS63128730U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0541551Y2 publication Critical patent/JPH0541551Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の半導体ウエハの表面欠陥検査
装置の一実施例の全体ブロツク図、第２図は同じ
く対物レンズの斜視図、第３図は同じくスリツト
板の斜視図、第４図は同じく対物レンズとスリツ
ト板とを組合せた場合の斜視図、第５図は砒化ガ
リウムウエハのエツチピツトの説明図、第６図は
第５図のエツチピツトが重畳している場合の説明
図である。 １：ウエハ、２：ＸＹテーブル、３：明暗視野
形顕微鏡、４：自動焦点センサ、５：自動焦点コ
ントローラ、６：Ｚ軸モータ、７，１３：テレビ
カメラ、８：カメラコントローラ、９，１４：画
像処理装置、１０，１５：モニタテレビ、１１：
電磁バルブ、１２：エアシリンダ、１６：Ｘ軸モ
ータ、１７：Ｙ軸モータ、１８：制御コンピユー
タ、１９：ＸＹプロツタ、２０：ブラウン管デイ
スプレイ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウエハをセツトするＸＹテーブルと、該ウエハ
    の表面状態を拡大する顕微鏡と、該顕微鏡の拡大
    像をテレビ画像信号に変換するテレビカメラと、
    該画像信号を処理してモニタテレビに表示する画
    像処理装置と、これら各機器間の動作を制御する
    制御用コンピユータとを備える半導体ウエハの表
    面欠陥検査装置において、前記ウエハの表面状態
    を明視野像と、暗視野像とに切換えて観測できる
    明暗視野形顕微鏡と、暗視野の場合に該顕微鏡照
    明光の通過路の一部を遮断して前記照明光の方向
    を限定する対物レンズとが設けてあることを特徴
    とする半導体ウエハの表面欠陥検査装置。
JP1987021250U 1987-02-16 1987-02-16 Expired - Lifetime JPH0541551Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987021250U JPH0541551Y2 (ja) 1987-02-16 1987-02-16

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987021250U JPH0541551Y2 (ja) 1987-02-16 1987-02-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63128730U true JPS63128730U (ja) 1988-08-23
JPH0541551Y2 JPH0541551Y2 (ja) 1993-10-20

Family

ID=30817521

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1987021250U Expired - Lifetime JPH0541551Y2 (ja) 1987-02-16 1987-02-16

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0541551Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04348050A (ja) * 1990-11-30 1992-12-03 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 材料表面検査装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58151544A (ja) * 1982-03-05 1983-09-08 Nippon Jido Seigyo Kk 暗視野像による欠陥検査装置
JPS58179304A (ja) * 1982-04-14 1983-10-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 表面欠陥抽出装置
JPS5910920A (ja) * 1982-07-09 1984-01-20 Mitsubishi Electric Corp パタ−ン検査用暗視野顕微鏡
JPS5961142A (ja) * 1982-09-30 1984-04-07 Fujitsu Ltd 欠陥検出装置
JPS5977345A (ja) * 1982-10-27 1984-05-02 Toshiba Corp 表面きず検出方法
JPS6129712A (ja) * 1984-07-23 1986-02-10 Hitachi Ltd 微細パタ−ンの欠陥検出方法及びその装置
JPS6157837A (ja) * 1984-08-30 1986-03-24 Toshiba Corp 外観検査装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58151544A (ja) * 1982-03-05 1983-09-08 Nippon Jido Seigyo Kk 暗視野像による欠陥検査装置
JPS58179304A (ja) * 1982-04-14 1983-10-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 表面欠陥抽出装置
JPS5910920A (ja) * 1982-07-09 1984-01-20 Mitsubishi Electric Corp パタ−ン検査用暗視野顕微鏡
JPS5961142A (ja) * 1982-09-30 1984-04-07 Fujitsu Ltd 欠陥検出装置
JPS5977345A (ja) * 1982-10-27 1984-05-02 Toshiba Corp 表面きず検出方法
JPS6129712A (ja) * 1984-07-23 1986-02-10 Hitachi Ltd 微細パタ−ンの欠陥検出方法及びその装置
JPS6157837A (ja) * 1984-08-30 1986-03-24 Toshiba Corp 外観検査装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04348050A (ja) * 1990-11-30 1992-12-03 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 材料表面検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0541551Y2 (ja) 1993-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS62173731A (ja) 被検査物の表面検査装置
JP2008091476A (ja) 外観検査装置
US5761336A (en) Aperture optimization method providing improved defect detection and characterization
US20080079932A1 (en) Visual inspection apparatus and visual inspection method
JPS63128730U (ja)
JPH1038539A (ja) ウエハの形状認識装置
JP4560898B2 (ja) 検査装置及び検査方法
JP2000114329A (ja) 基板端部の研削面の検査方法とその装置
JPS6196644A (ja) 外観検査装置
JP4136099B2 (ja) 基板検査装置
JP2000275594A (ja) 基板検査装置
JPS6015939A (ja) 異物検査装置
JP4981703B2 (ja) 外観検査装置および外観検査方法
JP2000088764A (ja) 自動顕微鏡検査装置
JP4586272B2 (ja) 基板検査装置と基板検査方法、及び液晶表示装置の製造方法
JPH10258372A (ja) レーザ加工機における製品検査方法および加工プログラム修正方法並びにレーザ加工機
JPH08285782A (ja) マクロ画像検査装置
JP2601727B2 (ja) 液晶表示パネル検査装置
JPS6138537A (ja) カラ−フイルタ−検査方法
JPH11251386A (ja) 異物検出のための載物台位置制御装置及びその載物台位置制御方法
JPH06201784A (ja) プローブコンタクト用ステージ装置
JPH076754U (ja) 外観検査装置
JPH06174439A (ja) ボンディングワイヤ検査装置
JPH0461356A (ja) Ｘｙステージのコントロール回路
JPH06124987A (ja) 半導体部品の目視検査装置