JPS63128537A - Ｘ線源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＸ線源に関し、主としてｘｍ露光用Ｘ線源に関
する。

〔従来の技術〕

従来、Ｘ線源としては、アルミニウム・ターゲート表面
にレーザー光を集束して照射し、プラズマ・ピンチを発
生させ、該プラズマ・ピンチ部から発生するＸ線をｘＩ
ｌ源とする方式や、炭素チップ間に高電圧を印加して、
放電させ、放電時に発生するプラズマのピンチ部からの
ｘｌｓをＸ線源とする方式が用いられていた。

〔発明が解決しようとする問題〕

しかし、上記従来技術によると、プラズマ化したアルミ
ニウムや炭素が単原子あるいは単分子に戻るに際し、ｘ
ＩＩ発生装置容器の側壁や窓部に付着したり、あるいは
被照射体表面に付着して、Ｘ線の照射効率を低下させた
り、被照射体表面を汚染するという問題点があった。

本発明は、かかる従来技術の問題点をなくし、高効率で
且つ披゛照射体表面の汚染等のないＸ線源を提供する事
を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点を解決する為に、本発明はプラズマ生成元素
を水素、酸素、窒素、硝酸、塩酸、弗酸、アンモニア等
の化合分子から成る溶液、氷、水溶液等にレーザー照射
あるいは高電圧印加を施し、プラズマ・ピンチ現象を発
生させる手段をとる〔実施例〕 以下、本発明の実施例を第１図により詳述する第１図に
おいて、１はレーザー発生源、２は真空容器、３はレー
ザー７が通るレーザー通過室、４は氷、５はＸ線通過窓
、６はＸ線である。

いま、真空容器２内に氷４を設置し、該氷に工午シマ・
レーザー７による短波長紫外線を集束して真空容器に設
けられた窓３から照射すると、氷表面にてプラズマ・ピ
ンチ現象が発生、シ、該プラズマ・ピンチ部からＸ線６
が発生する。この発生したＸ線６は真空容器内の被照射
物に照射するか効果がある。

、あるいは真空容器に設けられた窓５を通して真空容器
外の被照射物に照射する事ができるが、その場合、プラ
ズマ・ピンチ部からは、水素あるいは酸素はガス化して
、真空容器外に排出され、氷の成分の真空容器内や、窓
、あるいは被照射物への付着によるＸ線発生効率の低下
や汚染はない。

更に、いま、硝酸水溶液の液滴間に高電圧を印加して、
放電させてプラズマ・ピンチ現象を発生させると、該プ
ラズマ゛・ピンチ部からＸ＠が発生すると共に、硝酸水
溶液を構成する元素はガス化して大気中に放散する為に
、Ｘ線発生効率が高く得られると共に、被照射物への汚
染もないクリーンなＸ線源となる。

〔発明の効果〕

本発明の如く、水素、ｌ！１素、窒素、ハロゲン。

ガス等のガス成分を構成成分とする溶液、水溶液あるい
は氷をターゲットにしたレーザー照射あるいは高電圧放
電によるプラズマ・ピンチ現象からのＸ線は、高効率で
且つクリーンなＸ線源となる

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例によるＸ＠源を示す概略図で
ある。 １・・・・・・・・・レーザー発生源 ２・・・・・・・・・真空容器 ３・・・・・・・・・レーザー通過窓 ４・・・・・・・・・氷 ５・・・・・・・・・Ｘ線通過窓 ６・・・・・・・・・Ｘ線 ７・・・・・・・・・レーサー 以　　上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 硝酸、塩酸、弗酸、アンモニア等の窒素、水素、酸素、
   ハロゲン・ガス等のガス化成分を主成分とする液体、水
   溶液またはそれらを氷結させた固体、氷または水にレー
   ザーを照射するか、高電圧放電するかさせて、プラズマ
   ・ピンチ現象を発生させ、該プラズマ・ピンチ部よりＸ
   線を発生させることを特徴とするＸ線源。