JPS63127849A

JPS63127849A - 被加工物の自動搬送装置

Info

Publication number: JPS63127849A
Application number: JP27334686A
Authority: JP
Inventors: Kenji Kotani; 小谷　賢志
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1986-11-17
Filing date: 1986-11-17
Publication date: 1988-05-31
Anticipated expiration: 2009-12-14
Also published as: JPH06102291B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、被加工物の異なる２つの姿勢に対し、同一の
加工装置で加工を行なう場合の被加工物の搬送方法およ
び搬送装置に関するものである。

従来の技術第４図、第５図に搬送装置の従来例を示す。

第４図は、１個の被加工物保持治具に対し、被加工物を
搬入−第１加ニー姿勢変換−第２加ニー搬出と順次作業
する装置の構成を示す。第５図は、加工装置を２基設け
た回転テーブルによる被加工物の搬送装置の構成を示す
。この場合は、被加工物の搬入、第１加工、姿勢変換、
第２加工、搬出の各作業はすべて独立の同時作業となる
。

発明が解決しようとする問題点しかしながら、前記の従来構成では次の様な問題点を有
している。第４図に示す構成では、必要な作業が被加工
物の搬入−第１加ニー姿勢変換移載−第２加ニー搬出の
順にすべてシリーズにつながる作業となるため、連続的
な高速生産ができない。又、第６図に示す構成では、す
べての作業が同時に行なわれるので連続的な高速生産が
可能であるが、同一の加工にもかかわらず、加工装置が
２基必要となるため、装置が大きく、高価なものになっ
てしまうという問題点を有していた。

本発明は前記従来の問題点を解決するもので、被加工物
の異なる２つの姿勢に対し同一の加工を行なう一基の加
工装置に対し、被加工物を第１加工姿勢、第２加工姿勢
交互に、かつ連続的に適用する搬送方法および搬送装置
を提供する事を目的とする。

問題点を解決するための手段この目的を達成するために、本発明の搬送方法及び搬送
装置は、奇数個の被加工物を保持する治具を等分割に取
付けたテーブルを前記治具２ピッチを１′ＩＩＩＪ出し
として割出回転させ、その２回割出回転毎に、１回の被
加工物を搬入、姿勢変換移載。

搬出する搬送方法および、前記搬送方法に基く奇数治具
の２ピッチ回転割出装置と、被加工物の搬入装置、姿勢
変換移載装置、搬出装置とから成る構成を有している。

作　　用この構成によって、被加工物を加工装置に対し２つの加
工姿勢を交互にかつ連続的に搬送する事ができる。

実施例以下本発明の一実施例について図面に沿って説明する。

第１図は本発明の実施例における装置構成を示す。第２
図は具体的実施例の検査装置外観図である。第３図はそ
の動作チャート図である。

第１図において、１はインデックステーブル、２は被加
工物保持治具で、奇数個（本実施例では５治具）がイン
デックステーブル１に等分割して取付けられている。３
はテーブル駆動装置で、テーブル１を治具２の２ピッチ
（本実施例では２／６回転）を１割出として間欠回転駆
動する。４は搬入装置、６は加工装置、６は搬出装置、
７は姿勢変換移載装置で、第１加工の済んだ被加工物を
１ピッチ隣りの治具２へ姿勢変換移載する。

第２図は、水晶ウェハーのＸ線による検査装置である。

１はインデックステーブル、２は被加工物である水晶ウ
ェハーの位置決め保持治具であり、真空吸着により被加
工物の水晶ウェハーを保持する。３はテーブル駆動装置
で、テーブル１を治具２の２ピッチ（本実施例では２／
６回転）を１割出しとして間欠回転駆動する。４は搬入
装置で、パーツフィーダー等から１ケずつ供給された被
加工物をチャックおよび９０°反転によシ治具２に搬入
する。５は加工装置のＸ線照射装置である。

６は搬出装置で、被加工物をチャック及び１８０゜反転
し、装置外へ搬出する。７は姿勢変換移載装置で、チャ
ックおよび反転によシ被加工物の水晶ウェハーを表裏反
転し、１ピッチ隣りの治具２に移載する。搬入装置４．
搬出装置６．姿勢変換移載装置７はギヤ連結により同期
して、テーブル１の２回割出しに対し、１回の動作を行
なうものである。

以上のように構成された搬送装置について、以下その搬
送方法を第３図のチャートに沿って説明する。

第３図において、（１）〜（１１）は１割出回転毎のテ
ーブル１上の状態を示す。Ｉ−Ｖはテーブル１上の５ケ
の治具２の位置を示す。Ａ−Ｆは被加工物を示し、■〜
■は第１加工された被加工物を示し、Φ〜◎は第２加工
された被加工物を示す。即ち、Ａ、■、＠によシ、被加
工物Ａの加工前、第１加工、第２加工の状態を区別する
。次に（１）〜（１１）に沿って、テーブル上に被加工
物のない状態から順次説明する。（１）は治具２のＩに
被加工物Ａが搬入された状態を示す。この時テーブル上
に先行するワークがあれば、治具２の■において第２加
工、治具２のＶからは第１加工済被加工物が姿勢変換移
載のため取出される。これを破線にて架空動作として示
す。（梼は治具２ピッチの１回割出回転後で、被加工物
のは第１加工が行なわれる。この時先行の被加工物があ
れば、治具２の■から搬出され、治具２の■には姿勢変
換された被加工物が移載される。以下被加工物および治
具２という名称は省略し、単に記号にてＡ−Ｆ、ｌ〜■
にて記す。

（３）にて■は姿勢変換移載取出しされ、Ｈに新しくＢ
が搬入される。この時、■にて先行被加工物の第２加工
が行なわれる。（４）にてのは■に姿勢変換移載搬入さ
れ、■にて■が第１加工され、■からは先行ワークの取
出しが行なわれる。（鴫において０は第２加工され、■
から■は姿勢変換移載取出しされ、■に新しいＣが搬入
される。（→にてのは搬出、■はＩに姿勢変換移載搬入
、◎は第１加工が行なわれる。ここまでの５回割出回転
によりテーブルは計２回転（７２０’　）の回転を行な
い（＠において（１）と同様の治具位置となる。以下同
様に被加工物搬入位置においては、新規被加工物の搬入
と、第１加工済の被加工物の姿勢変換移載搬入が交互に
繰り返えされる。又加工位置においては、第１加工と第
２加工が交互に繰返され、搬出位置にては、第１加工済
の被加工物の姿勢変換移載取出しと、第２加工終了の被
加工物の搬出が交互に、繰返され、１０回の割出回転を
経た（１１）において、テーブル上の治具配置および治
具上の被加工物の状態がまったく同様の（１）に戻る。

（７）〜（１１）はその過程を示す。

発明の効果以上のように本発明は、奇数治具の２ピッチ割出し回転
と、２回の割出しに対し、１回の搬入。

姿勢変換移載、搬出作業の組合せにより、毎回同一加工
を行なう一基の加工装置に対し、被加工物を２姿勢交互
に連続的に適用する搬送装置を実現できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例における搬送装置の要部平面図
、第２図は本発明の実施例における検査装置の外観斜視
図、第３図は本発明の実施例における搬送方法を示す搬
送チャート、第４図および第５図は従来例の装置構成を
示すブロック図である。１・・・・・・テーブル、２・・・・・・被加工物保持
治具、３・・・・・・テーブル、駆動装置、４・・・・
・・搬入装置、５・・・・・・加工装置、６・・・・・
・搬出装置、了・・・・・・姿勢変換移載装置。代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図第２図第３図第４図第５図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被加工物を保持する治具の奇数個をテーブル円周
上等分割位置に配置し、前記テーブル上の治具２ピッチ
を１割出回転として、前記テーブルを間欠割出回転させ
、テーブルの２回割出回転毎に１回ずつ被加工物の搬入
、姿勢変換、搬出作業を行なう事により、テーブルの割
出回転と同期して毎回作業を行なう加工工程に対し、被
加工物の第１加工、姿勢変換後の第２加工を交互に行な
わせると共に、被加工物を連続的に加工する被加工物の
自動搬送方法。
（２）被加工物を保持する治具の奇数個を円周上等分割
位置に配置したテーブルと、前記テーブルを前記テーブ
ル上の治具２ピッチを１割出回転として間欠割出回転さ
せる駆動装置と、前記被加工物の治具に対し、被加工物
を搬入する装置と、被加工物の姿勢を変換し移載する装
置と、被加工物を搬出する装置とを備え、前記テーブル
の２回割出回転に対し、前記搬入装置、姿勢変換移載装
置、搬出装置を１回作業させる事により、被加工物の第
１加工および第２加工姿勢を交互に、かつ連続的に行な
う被加工物の自動搬送装置。