JPH07259B2 - 被加工物の自動搬送装置 - Google Patents
被加工物の自動搬送装置Info
- Publication number
- JPH07259B2 JPH07259B2 JP17408987A JP17408987A JPH07259B2 JP H07259 B2 JPH07259 B2 JP H07259B2 JP 17408987 A JP17408987 A JP 17408987A JP 17408987 A JP17408987 A JP 17408987A JP H07259 B2 JPH07259 B2 JP H07259B2
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- transfer device
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- carry
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、被加工物の異なる２つの姿勢に対し、同一の
加工装置で加工を行なう場合の被加工物の自動搬送装置
に関するものである。
加工装置で加工を行なう場合の被加工物の自動搬送装置
に関するものである。
従来の技術 第４図，第５図に搬送装置の従来例を示す。第４図は、
１個の被加工物保持治具41に対し、被加工物を搬入（搬
入装置42）→第１加工（加工装置43）→姿勢変換（姿勢
交換装置44）→第２加工（加工装置43）→搬出（搬出装
置45）と順次作業する装置の構成を示す。第５図は、加
工装置を２基設けた回転テーブルによる被加工物の搬送
装置の構成を示す。
１個の被加工物保持治具41に対し、被加工物を搬入（搬
入装置42）→第１加工（加工装置43）→姿勢変換（姿勢
交換装置44）→第２加工（加工装置43）→搬出（搬出装
置45）と順次作業する装置の構成を示す。第５図は、加
工装置を２基設けた回転テーブルによる被加工物の搬送
装置の構成を示す。
すなわち、51は治具、52は回転テーブル、53は搬入装
置、54は第１加工装置、55は姿勢変換装置、56は第２加
工装置、57は搬出装置である。この場合は、被加工物の
搬入，第１加工，姿勢変換，第２加工，搬出の各作業は
すべて独立の同時作業となる。
置、54は第１加工装置、55は姿勢変換装置、56は第２加
工装置、57は搬出装置である。この場合は、被加工物の
搬入，第１加工，姿勢変換，第２加工，搬出の各作業は
すべて独立の同時作業となる。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら、前記の従来構成では、次の様な問題点を
有している。第４図に示す構成では、必要な作業が、被
加工物の搬入→第１加工→姿勢変換移載→第２加工→搬
出の順にすべてシリーズにつながる作業となるため、連
続的な高速生産ができない。又、第５図に示す構成で
は、すべての作業が同時に行なわれるので連続的な高速
生産が可能であるが、同一の加工にもかかわらず、加工
装置が２基必要となるため、装置が大きく、高価なもの
になってしまうという問題点を有していた。
有している。第４図に示す構成では、必要な作業が、被
加工物の搬入→第１加工→姿勢変換移載→第２加工→搬
出の順にすべてシリーズにつながる作業となるため、連
続的な高速生産ができない。又、第５図に示す構成で
は、すべての作業が同時に行なわれるので連続的な高速
生産が可能であるが、同一の加工にもかかわらず、加工
装置が２基必要となるため、装置が大きく、高価なもの
になってしまうという問題点を有していた。
本発明は前記従来の問題点を解決するもので、被加工物
の異なる姿勢に対し同一の加工を行なう一基の加工装置
に対し、被加工物を、第１加工姿勢，第２加工姿勢交互
に、かつ連続的に適用する搬送装置を提供する事を目的
とする。
の異なる姿勢に対し同一の加工を行なう一基の加工装置
に対し、被加工物を、第１加工姿勢，第２加工姿勢交互
に、かつ連続的に適用する搬送装置を提供する事を目的
とする。
問題点を解決するための手段 この目的を達成するために、本発明の搬送装置は、被加
工物を保持する保持治具を円周上等分割位置に５個配置
したテーブルと、前記テーブル上の治具１ピッチを１割
出回転として、前記テーブルを間欠割出回転させる駆動
装置と、前記被加工物の保持治具に対し被加工物を搬入
する搬入装置と、前記被加工物を搬出し姿勢を変換して
１割出回転後に前記テーブル上に前記被加工物を再搬入
する姿勢変換移載装置と、被加工物を搬出する搬出装置
と、被加工物を加工する加工装置と、前記保持治具と前
記加工装置間で、加工前被加工物と加工済被加工物とを
同時に移しかえる移載装置とを備え、前記５つの円周上
等分割位置に対応して、前記搬入装置、前記移載装置、
前記姿勢変換移載装置の順に１割出位置おきに配置し、
前記移載装置と前記姿勢変換移載装置との間の割出位置
に前記搬出装置を配置し、前記移載装置は前記テーブル
の割出回転と同期して毎回作動し、前記移載装置の作動
にともなって前記加工装置が作動するとともに、前記搬
入装置の作動と前記姿勢変換移載装置が前記テーブル上
に前記被加工物を再搬入する動作とを２割出回転に１度
ずつ同じ割出回転時に行い、前記搬入装置が作動してい
ない割出回転時に、前記搬出装置の作動と前記姿勢変換
移載装置が被加工物を姿勢変換のために搬出する動作と
を行うものである。
工物を保持する保持治具を円周上等分割位置に５個配置
したテーブルと、前記テーブル上の治具１ピッチを１割
出回転として、前記テーブルを間欠割出回転させる駆動
装置と、前記被加工物の保持治具に対し被加工物を搬入
する搬入装置と、前記被加工物を搬出し姿勢を変換して
１割出回転後に前記テーブル上に前記被加工物を再搬入
する姿勢変換移載装置と、被加工物を搬出する搬出装置
と、被加工物を加工する加工装置と、前記保持治具と前
記加工装置間で、加工前被加工物と加工済被加工物とを
同時に移しかえる移載装置とを備え、前記５つの円周上
等分割位置に対応して、前記搬入装置、前記移載装置、
前記姿勢変換移載装置の順に１割出位置おきに配置し、
前記移載装置と前記姿勢変換移載装置との間の割出位置
に前記搬出装置を配置し、前記移載装置は前記テーブル
の割出回転と同期して毎回作動し、前記移載装置の作動
にともなって前記加工装置が作動するとともに、前記搬
入装置の作動と前記姿勢変換移載装置が前記テーブル上
に前記被加工物を再搬入する動作とを２割出回転に１度
ずつ同じ割出回転時に行い、前記搬入装置が作動してい
ない割出回転時に、前記搬出装置の作動と前記姿勢変換
移載装置が被加工物を姿勢変換のために搬出する動作と
を行うものである。
作用 この構成によって、被加工物を、加工装置に対し、２つ
の加工姿勢を交互かつ連続的に搬送する事ができる。
の加工姿勢を交互かつ連続的に搬送する事ができる。
実施例 以下本発明の一実施例について図面に沿って説明する。
第１図は本発明の実施例におけるウエハーのＸ線による
検査装置の概略構成を示す。第２図はその外観図であ
る。第３図はその動作チャート図である。
第１図は本発明の実施例におけるウエハーのＸ線による
検査装置の概略構成を示す。第２図はその外観図であ
る。第３図はその動作チャート図である。
第１図，第２図において、１はインデックステーブル、
２は被加工物である水晶ウエハーの保持治具で、奇数個
（本実施例では５治具）がインデックステーブル１に等
分割して取付けられている。３はテーブル駆動装置で、
テーブル１を治具２のピッチ（本実施例では1/5回転）
に従い間欠割出回転駆動する。４はパーツフィーダー等
から１ケづつ供給された被加工物を真空チャックおよび
昇降，搬送により治具２に搬入する搬入装置、５は加工
装置としてのＸ線照射装置、６は搬出装置で、治具２よ
り被加工物を搬出する。７は姿勢変換移載装置で、第１
加工の済んだ被加工物を一旦保持治具２から搬出し、表
裏反転の姿勢変換を行ない、この間に１ピッチ回転移動
した次の保持治具２に再搬入という形で、姿勢変換移載
する。８は、治具２上の加工前被加工物と、加工装置５
上の加工後被加工物を同時に移しかえる移載装置であ
り、２ヘッドの真空チャックおよび昇降，反転動作によ
り移載を行なう。
２は被加工物である水晶ウエハーの保持治具で、奇数個
（本実施例では５治具）がインデックステーブル１に等
分割して取付けられている。３はテーブル駆動装置で、
テーブル１を治具２のピッチ（本実施例では1/5回転）
に従い間欠割出回転駆動する。４はパーツフィーダー等
から１ケづつ供給された被加工物を真空チャックおよび
昇降，搬送により治具２に搬入する搬入装置、５は加工
装置としてのＸ線照射装置、６は搬出装置で、治具２よ
り被加工物を搬出する。７は姿勢変換移載装置で、第１
加工の済んだ被加工物を一旦保持治具２から搬出し、表
裏反転の姿勢変換を行ない、この間に１ピッチ回転移動
した次の保持治具２に再搬入という形で、姿勢変換移載
する。８は、治具２上の加工前被加工物と、加工装置５
上の加工後被加工物を同時に移しかえる移載装置であ
り、２ヘッドの真空チャックおよび昇降，反転動作によ
り移載を行なう。
搬入装置4,搬出装置6,姿勢変換装置７はテーブル１の２
回割出回転に対し１回の動作を行なうものである。ま
た、移載装置８はテーブル１の１割出回転毎に同期して
作業する。
回割出回転に対し１回の動作を行なうものである。ま
た、移載装置８はテーブル１の１割出回転毎に同期して
作業する。
以上のように構成された搬送装置について、以下その搬
送方法を第３図の搬送チャートに沿って説明する。
送方法を第３図の搬送チャートに沿って説明する。
第３図において、(1)〜(12)は１割出回転毎のテーブル
１上の状態を示す。Ｉ〜Ｖはテーブル１上の５ケの治具
２の位置を示す。Ａ〜Ｆは被加工物を示し、〜は第
１加工された被加工物を示し、 は第２加工された被加工物を示す。即ち により被加工物Ａの加工前，第１加工，第２加工の状態
を区別する。次に(1)〜(12)に沿って、テーブル上に被
加工物のない状態から順次説明する。(1)は治具２のＩ
に被加工物Ａが搬入された状態を示す。この時テーブル
上に先行する被加工物があれば、治具２のIIIにおい
て、加工装置との被加工物の入れ換え移載，治具２のＶ
には姿勢変換後の被加工物が再搬入される。これを破線
にて架空動作として示す。以下被加工物および治具２と
いう名称は省略し、単に記号Ａ〜F,I〜Ｖにて記す。(2)
は１回割出回転後で、Ａは１ピッチ進むのみである。こ
の時先行の被加工物があれば、IIにおいて加工装置との
被加工物移し換えが行なわれ、IIIからは第２加工終了
被加工物が搬出される。IVからは第１加工後の被加工物
が姿勢変換移載のため搬出される。以下、前記(1)と(2)
の状態が交互に繰り返される。即ち搬入位置では１回お
きに新しい被加工物が搬入され、加工位置では、第１加
工と第２加工が交互に行なわれ、搬出位置では１回おき
に第２加工終了被加工物が搬出され、姿勢変換位置では
第１加工済被加工物の姿勢変換のための搬出と、姿勢変
換後の再搬入が交互に行なわれる。以下Ａの動きに沿っ
て説明する。(3)においてＡはＩより加工装置へ移載さ
れ第１加工される。(4)において加工装置よりＶへ移載
される。(5)は１回割出回転移動のみで、(6)においてＶ
より搬出され姿勢変換される。(7)において姿勢変換後
の姿勢でIVに再搬入される。(8)および(9)は割出回転移
動のみで、(10)にてIVより加工装置へ移載され第２加工
される。(11)にて加工装置よりIIIに移載され、(12)に
おいてIIIより搬出される。前記の通り、すべての被加
工物が順次搬入後11回の割出回転後、２工程の加工をさ
れ搬出されるものである。
１上の状態を示す。Ｉ〜Ｖはテーブル１上の５ケの治具
２の位置を示す。Ａ〜Ｆは被加工物を示し、〜は第
１加工された被加工物を示し、 は第２加工された被加工物を示す。即ち により被加工物Ａの加工前，第１加工，第２加工の状態
を区別する。次に(1)〜(12)に沿って、テーブル上に被
加工物のない状態から順次説明する。(1)は治具２のＩ
に被加工物Ａが搬入された状態を示す。この時テーブル
上に先行する被加工物があれば、治具２のIIIにおい
て、加工装置との被加工物の入れ換え移載，治具２のＶ
には姿勢変換後の被加工物が再搬入される。これを破線
にて架空動作として示す。以下被加工物および治具２と
いう名称は省略し、単に記号Ａ〜F,I〜Ｖにて記す。(2)
は１回割出回転後で、Ａは１ピッチ進むのみである。こ
の時先行の被加工物があれば、IIにおいて加工装置との
被加工物移し換えが行なわれ、IIIからは第２加工終了
被加工物が搬出される。IVからは第１加工後の被加工物
が姿勢変換移載のため搬出される。以下、前記(1)と(2)
の状態が交互に繰り返される。即ち搬入位置では１回お
きに新しい被加工物が搬入され、加工位置では、第１加
工と第２加工が交互に行なわれ、搬出位置では１回おき
に第２加工終了被加工物が搬出され、姿勢変換位置では
第１加工済被加工物の姿勢変換のための搬出と、姿勢変
換後の再搬入が交互に行なわれる。以下Ａの動きに沿っ
て説明する。(3)においてＡはＩより加工装置へ移載さ
れ第１加工される。(4)において加工装置よりＶへ移載
される。(5)は１回割出回転移動のみで、(6)においてＶ
より搬出され姿勢変換される。(7)において姿勢変換後
の姿勢でIVに再搬入される。(8)および(9)は割出回転移
動のみで、(10)にてIVより加工装置へ移載され第２加工
される。(11)にて加工装置よりIIIに移載され、(12)に
おいてIIIより搬出される。前記の通り、すべての被加
工物が順次搬入後11回の割出回転後、２工程の加工をさ
れ搬出されるものである。
発明の効果 以上のように本発明は、奇数治具の割出回転と同期して
毎回同一作業を行なう一基の加工装置に対し、毎回被加
工物の移し換え移載を行なう装置と、２回の割出回転に
対し１回の搬入，姿勢交換移載，搬出作業の組合せによ
り被加工物の２姿勢交互にかつ連続的に適用する自動搬
送装置を実現できるものである。
毎回同一作業を行なう一基の加工装置に対し、毎回被加
工物の移し換え移載を行なう装置と、２回の割出回転に
対し１回の搬入，姿勢交換移載，搬出作業の組合せによ
り被加工物の２姿勢交互にかつ連続的に適用する自動搬
送装置を実現できるものである。
第１図は本発明の実施例における搬送装置の概略構成
図、第２図は同搬送装置の外観斜視図、第３図は同搬送
装置による搬送方法を示す搬送チャート図、第４図およ
び第５図は従来例の装置構成図である。 １……テーブル、２……被加工物保持治具、３……テー
ブル駆動装置、４……搬入装置、５……加工装置、６…
…搬出装置、７……姿勢変換移載装置、８……治具〜加
工装置間被加工物移載装置。
図、第２図は同搬送装置の外観斜視図、第３図は同搬送
装置による搬送方法を示す搬送チャート図、第４図およ
び第５図は従来例の装置構成図である。 １……テーブル、２……被加工物保持治具、３……テー
ブル駆動装置、４……搬入装置、５……加工装置、６…
…搬出装置、７……姿勢変換移載装置、８……治具〜加
工装置間被加工物移載装置。
Claims (1)
- 【請求項１】被加工物を保持する保持治具を円周上等分
割位置に５個配置したテーブルと、前記テーブル上の治
具１ピッチを１割出回転として、前記テーブルを間欠割
出回転させる駆動装置と、前記被加工物の保持治具に対
し被加工物を搬入する搬入装置と、前記被加工物を搬出
し姿勢を変換して１割出回転後に前記テーブル上に前記
被加工物を再搬入する姿勢変換移載装置と、被加工物を
搬出する搬出装置と、被加工物を加工する加工装置と、
前記保持治具と前記加工装置間で、加工前被加工物と加
工済被加工物とを同時に移しかえる移載装置とを備え、
前記５つの円周上等分割位置に対応して、前記搬入装
置、前記移載装置、前記姿勢変換移載装置の順に１割出
位置おきに配置し、前記移載装置と前記姿勢変換移載装
置との間の割出位置に前記搬出装置を配置し、前記移載
装置は前記テーブルの割出回転と同期して毎回作動し、
前記移載装置の作動にともなって前記加工装置が作動す
るとともに、前記搬入装置の作動と前記姿勢変換移載装
置が前記テーブル上に前記被加工物を再搬入する動作と
を２割出回転に１度ずつ同じ割出回転時に行い、前記搬
入装置が作動していない割出回転時に、前記搬出装置の
作動と前記姿勢変換移載装置が被加工物を姿勢変換のた
めに搬出する動作とを行う被加工物の自動搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17408987A JPH07259B2 (ja) | 1987-07-13 | 1987-07-13 | 被加工物の自動搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17408987A JPH07259B2 (ja) | 1987-07-13 | 1987-07-13 | 被加工物の自動搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6420949A JPS6420949A (en) | 1989-01-24 |
| JPH07259B2 true JPH07259B2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=15972457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17408987A Expired - Lifetime JPH07259B2 (ja) | 1987-07-13 | 1987-07-13 | 被加工物の自動搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07259B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07266174A (ja) * | 1994-03-30 | 1995-10-17 | Mitsubishi Chem Corp | 円筒状ワークのパレット |
| JPH09282971A (ja) * | 1996-04-12 | 1997-10-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の組立装置 |
| JPH09300168A (ja) * | 1996-05-16 | 1997-11-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の加工用装置 |
| JP2001310819A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-11-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 搬送方法および搬送装置 |
| JP6861093B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2021-04-21 | トーヨーエイテック株式会社 | 加工装置及びそれを用いた加工方法 |
| CN110842500B (zh) * | 2019-10-25 | 2020-12-01 | 山东中天盛科自动化设备有限公司 | 一种基于轴承加工流水线上的旋转导向装置 |
-
1987
- 1987-07-13 JP JP17408987A patent/JPH07259B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6420949A (en) | 1989-01-24 |
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