JPS6312284B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6312284B2 JPS6312284B2 JP11134681A JP11134681A JPS6312284B2 JP S6312284 B2 JPS6312284 B2 JP S6312284B2 JP 11134681 A JP11134681 A JP 11134681A JP 11134681 A JP11134681 A JP 11134681A JP S6312284 B2 JPS6312284 B2 JP S6312284B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- flow
- circuit
- gas
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 7
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 28
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B9/00—Safety arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は各種ガス類の流量を制御する装置に関
し、特に流路のつまりなどの異常を検知してすみ
やかに対策を構じられるようにした流量制御装置
に関する。
し、特に流路のつまりなどの異常を検知してすみ
やかに対策を構じられるようにした流量制御装置
に関する。
従来の質量流量制御器を第１図に示す。第１図
において、１０１はガス流入口、１０２は主ガス
流路、１０３は主ガス流路１０２に設けたセンサ
ー管、１０４は主ガス流路１０２内に配設したメ
ツシユ、１０５はセンサー管１０３の外周に巻回
した一対のサーモレジスター、１０６はブリツジ
回路、１０７は増幅回路、１０８は流量表示部、
１０９は比較制御回路、１１０は設定電圧ポテン
シヨメーター、１１１はサーマルバルブ、１１２
はガス出口、１１３は電源である。この質量流量
制御器のガス流入口１０１に流入してきたガス
は、主ガス流路１０２とセンサー管１０３に分岐
される。ガスの分岐される流量の割合は、メツシ
ユ１０４により、ある操作圧力範囲に於いて一定
となり、センサー管１０３に流れるガス流量は、
ガス流入口１０１に流入した全ガス量に比例す
る。センサー管１０３のサーモレジスター１０５
はブリツジ回路１０６を形成し、センサー管１０
３にガスが流れていない時、出力信号はOVにバ
ランスされている。流れがある時には、上流側が
冷やされ、下流側が温められるため、流量に比例
して、ブリツジ回路１０６から出力信号が得られ
る。この信号は、増幅回路１０７により、増幅、
リニアライズされ、その出力は、流量表示部１０
８と比較制御回路１０９とに入力する。比較制御
回路１０９では、増幅回路１０７からの出力電圧
と設定電圧ポテンシヨメーター１１０による設定
電圧とを比較し、それらの差信号を検出し、その
差信号が零になるまで、熱膨張を応用したサーマ
ルバルブ１１１を制御し、流量のコントロールを
行う如くなつている。
において、１０１はガス流入口、１０２は主ガス
流路、１０３は主ガス流路１０２に設けたセンサ
ー管、１０４は主ガス流路１０２内に配設したメ
ツシユ、１０５はセンサー管１０３の外周に巻回
した一対のサーモレジスター、１０６はブリツジ
回路、１０７は増幅回路、１０８は流量表示部、
１０９は比較制御回路、１１０は設定電圧ポテン
シヨメーター、１１１はサーマルバルブ、１１２
はガス出口、１１３は電源である。この質量流量
制御器のガス流入口１０１に流入してきたガス
は、主ガス流路１０２とセンサー管１０３に分岐
される。ガスの分岐される流量の割合は、メツシ
ユ１０４により、ある操作圧力範囲に於いて一定
となり、センサー管１０３に流れるガス流量は、
ガス流入口１０１に流入した全ガス量に比例す
る。センサー管１０３のサーモレジスター１０５
はブリツジ回路１０６を形成し、センサー管１０
３にガスが流れていない時、出力信号はOVにバ
ランスされている。流れがある時には、上流側が
冷やされ、下流側が温められるため、流量に比例
して、ブリツジ回路１０６から出力信号が得られ
る。この信号は、増幅回路１０７により、増幅、
リニアライズされ、その出力は、流量表示部１０
８と比較制御回路１０９とに入力する。比較制御
回路１０９では、増幅回路１０７からの出力電圧
と設定電圧ポテンシヨメーター１１０による設定
電圧とを比較し、それらの差信号を検出し、その
差信号が零になるまで、熱膨張を応用したサーマ
ルバルブ１１１を制御し、流量のコントロールを
行う如くなつている。
従つて、この質量流量制御器では、メツシユ１
０４の部分が異物のためつまつた場合、センサー
管１０３にのみガスが流れ、この流量によりサー
マルバルブ１１１が制御され、流量表示部１０８
はみかけ上正常な設定流量を表示するが、実際に
は設定流量の一部がセンサー管１０３にのみ流れ
るという事態が発生し、故障の判別ができないと
いう欠点があつた。
０４の部分が異物のためつまつた場合、センサー
管１０３にのみガスが流れ、この流量によりサー
マルバルブ１１１が制御され、流量表示部１０８
はみかけ上正常な設定流量を表示するが、実際に
は設定流量の一部がセンサー管１０３にのみ流れ
るという事態が発生し、故障の判別ができないと
いう欠点があつた。
本発明は従来の上記の如き欠点に鑑み、流量検
出部の検出信号にて制御される流量制御弁によ
り、供給流体の流量を制御する流量制御装置にお
いて、前記供給流体の流路を２系統に分岐せしめ
ると共に各系統の流路に前記流量検出部を設け、
その出力信号を比較回路で比較することにより、
正常・異常を検知するようにしたもので、その目
的とするところは、流路のつまりなどによる故障
を迅速に検知することができるようにした流量制
御装置を提供することにある。以下本発明を図面
について詳細に説明する。
出部の検出信号にて制御される流量制御弁によ
り、供給流体の流量を制御する流量制御装置にお
いて、前記供給流体の流路を２系統に分岐せしめ
ると共に各系統の流路に前記流量検出部を設け、
その出力信号を比較回路で比較することにより、
正常・異常を検知するようにしたもので、その目
的とするところは、流路のつまりなどによる故障
を迅速に検知することができるようにした流量制
御装置を提供することにある。以下本発明を図面
について詳細に説明する。
第２図は本発明の一実施例を示すものであつ
て、２０１はガス流入口、２０２ａ，２０２ｂは
ガス流入口２０１の直後で分岐し後記サーマルバ
ルブ２１１の直前にて合流する二つの主ガス流
路、２０３ａ，２０３ｂは前記二つの主ガス流路
２０２ａ，２０２ｂにそれぞれ設けたセンサー
管、２０４ａ，２０４ｂは前記主ガス流路２０２
ａ，２０２ｂ内に配設したメツシユ、２０５ａ，
２０５ｂはセンサー管２０３ａ，２０３ｂの外側
に隣接して巻かれているサーモレジスターであ
る。２０６ａ，２０６ｂは前記サーモレジスター
２０５ａ，２０５ｂと共に形成されたブリツジ回
路で、センサー管２０３ａ，２０３ｂにガスが流
れていない時、出力信号はOVにバランスされて
おり、流れがある時には、上流側が冷やされ、下
流側が温められるため、流量に比例して、出力信
号が得られる如くなつている。２０７は増幅回
路、２０８は流量表示部、２０９は比較制御回
路、２１０は設定電圧ポテンシヨメーター、２１
１は熱膨張を応用したサーマルバルブ、２１２は
ガス出口、２１３は電源である。２１４は比較回
路で、前記ブリツジ回路２０６ａ，２０６ｂの出
力信号を入力とし、同じ値の信号の入力以外は増
幅回路２０７に出力信号を送出しないように設定
されている。
て、２０１はガス流入口、２０２ａ，２０２ｂは
ガス流入口２０１の直後で分岐し後記サーマルバ
ルブ２１１の直前にて合流する二つの主ガス流
路、２０３ａ，２０３ｂは前記二つの主ガス流路
２０２ａ，２０２ｂにそれぞれ設けたセンサー
管、２０４ａ，２０４ｂは前記主ガス流路２０２
ａ，２０２ｂ内に配設したメツシユ、２０５ａ，
２０５ｂはセンサー管２０３ａ，２０３ｂの外側
に隣接して巻かれているサーモレジスターであ
る。２０６ａ，２０６ｂは前記サーモレジスター
２０５ａ，２０５ｂと共に形成されたブリツジ回
路で、センサー管２０３ａ，２０３ｂにガスが流
れていない時、出力信号はOVにバランスされて
おり、流れがある時には、上流側が冷やされ、下
流側が温められるため、流量に比例して、出力信
号が得られる如くなつている。２０７は増幅回
路、２０８は流量表示部、２０９は比較制御回
路、２１０は設定電圧ポテンシヨメーター、２１
１は熱膨張を応用したサーマルバルブ、２１２は
ガス出口、２１３は電源である。２１４は比較回
路で、前記ブリツジ回路２０６ａ，２０６ｂの出
力信号を入力とし、同じ値の信号の入力以外は増
幅回路２０７に出力信号を送出しないように設定
されている。
従つて、流路に異常がなく、各センサー管２０
３ａ，２０３ｂに流れるガス流量が同じ場合に
は、ブリツジ回路２０６ａ，２０６ｂより同じ値
の出力信号が比較回路２１４に入力し、比較回路
２１４より出力信号が増幅回路２０７に送出され
るので、従来例と同様に、この信号は増幅回路２
０７により、増幅、リニアライズされ、その出力
は流量表示部２０８と比較制御回路２０９とに入
力する。流量表示部２０８では流量表示が行なわ
れ、比較制御回路２０９では増幅回路２０７から
の出力電圧と設定電圧ポテンシヨメーター２１０
による設定電圧とを比較し、それらの差信号を検
出し、その差信号が零になるまでサーマルバルブ
２１１を制御し、流量の制御を行なう。ところ
で、もし片方のメツシユ２０４ａ，２０４ｂに異
物が付着し、片方の流路の流量が異なつた場合、
各ブリツジ回路２０６ａ，２０６ｂからは異なる
出力信号が得られ比較回路２１４に入力するの
で、比較回路２１４は出力信号を増幅回路２０７
に送出せず、従つて流量表示部２０８に流量表示
が行なわれない。
３ａ，２０３ｂに流れるガス流量が同じ場合に
は、ブリツジ回路２０６ａ，２０６ｂより同じ値
の出力信号が比較回路２１４に入力し、比較回路
２１４より出力信号が増幅回路２０７に送出され
るので、従来例と同様に、この信号は増幅回路２
０７により、増幅、リニアライズされ、その出力
は流量表示部２０８と比較制御回路２０９とに入
力する。流量表示部２０８では流量表示が行なわ
れ、比較制御回路２０９では増幅回路２０７から
の出力電圧と設定電圧ポテンシヨメーター２１０
による設定電圧とを比較し、それらの差信号を検
出し、その差信号が零になるまでサーマルバルブ
２１１を制御し、流量の制御を行なう。ところ
で、もし片方のメツシユ２０４ａ，２０４ｂに異
物が付着し、片方の流路の流量が異なつた場合、
各ブリツジ回路２０６ａ，２０６ｂからは異なる
出力信号が得られ比較回路２１４に入力するの
で、比較回路２１４は出力信号を増幅回路２０７
に送出せず、従つて流量表示部２０８に流量表示
が行なわれない。
この様に、本実施例では、主ガス流路を２系統
に分離し、各流路２０２ａ，２０２ｂに独立にセ
ンサー管２０３ａ，２０３ｂ、サーモレジスター
２０５ａ，２０５ｂ、ブリツジ回路２０６ａ，２
０６ｂからなる流量検出部を設置することによ
り、独立に各流路２０２ａ，２０２ｂを流れる流
量に比例した出力信号を得ることができるため、
その出力信号を比較回路２１４で比較し、どちら
かの流路に流れるガスの流量が異物等の付着によ
り変化した場合、比較回路２１４から出力信号を
送出しないようにして、流量表示部２０８の流量
表示を停止することにより、故障発生を検知でき
るようにしたものである。
に分離し、各流路２０２ａ，２０２ｂに独立にセ
ンサー管２０３ａ，２０３ｂ、サーモレジスター
２０５ａ，２０５ｂ、ブリツジ回路２０６ａ，２
０６ｂからなる流量検出部を設置することによ
り、独立に各流路２０２ａ，２０２ｂを流れる流
量に比例した出力信号を得ることができるため、
その出力信号を比較回路２１４で比較し、どちら
かの流路に流れるガスの流量が異物等の付着によ
り変化した場合、比較回路２１４から出力信号を
送出しないようにして、流量表示部２０８の流量
表示を停止することにより、故障発生を検知でき
るようにしたものである。
以上説明した如く、本発明によれば、流量検出
部の検出信号にて制御される流量制御弁により、
供給流体の流量を制御する流量制御装置におい
て、前記供給流体の流路を２系統に分岐せしめる
と共に各系統の流路に前記流量検出部を設け、そ
の出力信号を比較回路で比較することにより、正
常・異常を検知するようにしてなるので、装置の
故障発生を迅速に且つ適確に判断することがで
き、すみやかに対策を構ずることができ、ガスラ
インのような高い安全性が要求されるシステムの
流体流量制御に利用することができる。
部の検出信号にて制御される流量制御弁により、
供給流体の流量を制御する流量制御装置におい
て、前記供給流体の流路を２系統に分岐せしめる
と共に各系統の流路に前記流量検出部を設け、そ
の出力信号を比較回路で比較することにより、正
常・異常を検知するようにしてなるので、装置の
故障発生を迅速に且つ適確に判断することがで
き、すみやかに対策を構ずることができ、ガスラ
インのような高い安全性が要求されるシステムの
流体流量制御に利用することができる。
第１図は従来の質量流量制御器の概略構成図、
第２図は本発明の一実施例を示す概略構成図であ
る。 ２０１……ガス流入口、２０２ａ，２０２ｂ…
…主ガス流路、２０３ａ，２０３ｂ……センサー
管、２０４ａ，２０４ｂ……メツシユ、２０５
ａ，２０５ｂ……サーモレジスター、２０６ａ，
２０６ｂ……ブリツヂ回路、２０７……増幅回
路、２０８……流量表示部、２０９……比較制御
回路、２１０……設定電圧ポテンシヨメーター、
２１１……サーマルバルブ、２１２……ガス出
口、２１３……電源、２１４……比較回路。
第２図は本発明の一実施例を示す概略構成図であ
る。 ２０１……ガス流入口、２０２ａ，２０２ｂ…
…主ガス流路、２０３ａ，２０３ｂ……センサー
管、２０４ａ，２０４ｂ……メツシユ、２０５
ａ，２０５ｂ……サーモレジスター、２０６ａ，
２０６ｂ……ブリツヂ回路、２０７……増幅回
路、２０８……流量表示部、２０９……比較制御
回路、２１０……設定電圧ポテンシヨメーター、
２１１……サーマルバルブ、２１２……ガス出
口、２１３……電源、２１４……比較回路。
Claims (1)
- １ 流量検出部の検出信号にて制御される流量制
御弁により、供給流体の流量を制御する流量制御
装置において、前記供給流体の流路を２系統に分
岐せしめると共に各系統の流路に前記流量検出部
を設け、その出力信号を比較回路で比較すること
により、正常・異常を検知するようにしてなる流
量制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11134681A JPS5814218A (ja) | 1981-07-16 | 1981-07-16 | 流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11134681A JPS5814218A (ja) | 1981-07-16 | 1981-07-16 | 流量制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5814218A JPS5814218A (ja) | 1983-01-27 |
| JPS6312284B2 true JPS6312284B2 (ja) | 1988-03-18 |
Family
ID=14558858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11134681A Granted JPS5814218A (ja) | 1981-07-16 | 1981-07-16 | 流量制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5814218A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02271492A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-06 | Kubota Corp | カップ式自動販売機におけるカップミキシング方法 |
| JPH03282696A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-12 | Kubota Corp | カップ式自動販売機 |
-
1981
- 1981-07-16 JP JP11134681A patent/JPS5814218A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02271492A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-06 | Kubota Corp | カップ式自動販売機におけるカップミキシング方法 |
| JPH03282696A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-12 | Kubota Corp | カップ式自動販売機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5814218A (ja) | 1983-01-27 |
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