JPH0320806A - 流量制御装置 - Google Patents
流量制御装置Info
- Publication number
- JPH0320806A JPH0320806A JP15547489A JP15547489A JPH0320806A JP H0320806 A JPH0320806 A JP H0320806A JP 15547489 A JP15547489 A JP 15547489A JP 15547489 A JP15547489 A JP 15547489A JP H0320806 A JPH0320806 A JP H0320806A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- rate control
- flow
- control device
- valve
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、流体の流量制御を行う流量制御装置に関する
ものである。
ものである。
従来の技術
従来より、各種流体の流量制御装置として、流量センサ
と流量制御バｐプを備え、質量流量を精度よく自動制御
する流量制御装置が利用されている。
と流量制御バｐプを備え、質量流量を精度よく自動制御
する流量制御装置が利用されている。
以下、従来の流量制御装置について説明する。
第２図は従来の流量制御装置内の概略、および流量制御
装置を用いたシステムの一部を示す図である。１が流量
制御装置であう、内部は自己加熱抵抗線２で構威された
センサ一部、層流素子３で構或サれたパイバス部、コン
トロールパルプ４で構戊されている。６は流量制御装置
をう回する配管の途中に設けられたバルプである。
装置を用いたシステムの一部を示す図である。１が流量
制御装置であう、内部は自己加熱抵抗線２で構威された
センサ一部、層流素子３で構或サれたパイバス部、コン
トロールパルプ４で構戊されている。６は流量制御装置
をう回する配管の途中に設けられたバルプである。
以上のように構或された流量制御装置について、以下そ
の動作を説明する。
の動作を説明する。
１ず、流入流体の一部がバイパス部の手前で分流されて
センサ一部に導かれる。流体が流れていない場合は自己
加熱抵抗線２の上流側と下流側に供給される電力は等し
く、流体が流れた場合は熱の移動が起きるのでその温度
差を打消すために上流側，下流側の自己加熱抵抗線２に
必要々電力には差が生じる。この差は、センサー管に流
れる流量に比例し、正確な質量流量信号が得られる。こ
の質量流量信号と流量設定信号が比較され、両者が一致
するようにコントロールパｐプ４の開閉調整をするフィ
ー〃ドバック制御が行われる。パイパヌ部の特性として
は、外的要因（圧力，温度）に関係なく、センサ一部を
流れる流量に対するバイパス部を流れる流量が一定であ
ることが必要である。そのためバイパス部を流れる流体
を層流にするためにキャピラリータイプの層流素子３を
用いられている。
センサ一部に導かれる。流体が流れていない場合は自己
加熱抵抗線２の上流側と下流側に供給される電力は等し
く、流体が流れた場合は熱の移動が起きるのでその温度
差を打消すために上流側，下流側の自己加熱抵抗線２に
必要々電力には差が生じる。この差は、センサー管に流
れる流量に比例し、正確な質量流量信号が得られる。こ
の質量流量信号と流量設定信号が比較され、両者が一致
するようにコントロールパｐプ４の開閉調整をするフィ
ー〃ドバック制御が行われる。パイパヌ部の特性として
は、外的要因（圧力，温度）に関係なく、センサ一部を
流れる流量に対するバイパス部を流れる流量が一定であ
ることが必要である。そのためバイパス部を流れる流体
を層流にするためにキャピラリータイプの層流素子３を
用いられている。
しかし、従来の流量制御装置は、センサー管が約０．３
ｆｆ程度、層流素子３が数百μｍのキャピラリー管の集
合体であること、１たコントロールバルブ４の開度も小
さいことから、反応性の高い流体を使用する場合、流量
制御装置内部でのつ１り等の問題があるため、流量制御
装置を介せずに流体をう回させるような配管が、流量制
御装置の外部に設けられていた。
ｆｆ程度、層流素子３が数百μｍのキャピラリー管の集
合体であること、１たコントロールバルブ４の開度も小
さいことから、反応性の高い流体を使用する場合、流量
制御装置内部でのつ１り等の問題があるため、流量制御
装置を介せずに流体をう回させるような配管が、流量制
御装置の外部に設けられていた。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記従来の構或では、流量制御装置の外
部に流体のう回路を設けるため、システム全体が大型化
し、複雑になることや、流体のたまり部が増大するとい
う問題があった。
部に流体のう回路を設けるため、システム全体が大型化
し、複雑になることや、流体のたまり部が増大するとい
う問題があった。
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、システム
を小型化する流量制御装置を提供することを目的とする
。
を小型化する流量制御装置を提供することを目的とする
。
課題を解決するための手段
この目的を達或するために本発明の流量制御装置は、流
量制御装置内に流量制御部をう回する経路を備えたもの
である。
量制御装置内に流量制御部をう回する経路を備えたもの
である。
作 用
この構戎によって、流量制御装置の外部に流体のう回路
を設ける必要がないため、システムが小型化し、流体の
た１り部も最少限に抑えることができる。
を設ける必要がないため、システムが小型化し、流体の
た１り部も最少限に抑えることができる。
実施例
以下、本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例に釦ける流量制御装置の概略
図を示したものである。自己加熱抵抗線２を有するセン
サ一部、層流素子３を有するバイパス部釦よびコントロ
ールパルブ４からなる構或、流量制御方式は従来例と同
じである。２，３．４から或る流量制御部をう回する経
路とその経路の開閉を行うパルプ６が流量制御装置１内
に収められた構或である。バルプ５のタイプを限定はし
ないが、なるべく小型で、かつリーク量が０に近いもの
を選ぶ必要がある。
図を示したものである。自己加熱抵抗線２を有するセン
サ一部、層流素子３を有するバイパス部釦よびコントロ
ールパルブ４からなる構或、流量制御方式は従来例と同
じである。２，３．４から或る流量制御部をう回する経
路とその経路の開閉を行うパルプ６が流量制御装置１内
に収められた構或である。バルプ５のタイプを限定はし
ないが、なるべく小型で、かつリーク量が０に近いもの
を選ぶ必要がある。
以上のように構或された流量制御装置内の流量制御部で
前記のようなつ筐りが発生し、流体が流れなくなった時
に、パルブ６を強制的に開けることにより、流量制御装
置の上流側の流体を抜くことが可能となり、流量制御装
置をはずして、チェックを行うことができる。
前記のようなつ筐りが発生し、流体が流れなくなった時
に、パルブ６を強制的に開けることにより、流量制御装
置の上流側の流体を抜くことが可能となり、流量制御装
置をはずして、チェックを行うことができる。
以上のように本実施例によれば、流量制御装置内に流量
制御部をう回する経路を設けたことにより、システム全
体を小型化し、流体のた渣り部の少ない信頼性の高いシ
ステムを提供できる。
制御部をう回する経路を設けたことにより、システム全
体を小型化し、流体のた渣り部の少ない信頼性の高いシ
ステムを提供できる。
発明の効果
本発明は、流量制御装置内に流量制御部をう回する経路
を設けたことにより、システムの小型化を行うことがで
きる優れた流量制御装置を実現できるものである。
を設けたことにより、システムの小型化を行うことがで
きる優れた流量制御装置を実現できるものである。
第１図は本発明の一実施例にかける流量制御装置の概略
図、第２図は従来装置の概略図である。 ２・・・・・・自己加熱抵抗線、３・・・・・・層流素
子、４・・・・・・コントローｐバルプ、５・・・・・
・パノレプ。
図、第２図は従来装置の概略図である。 ２・・・・・・自己加熱抵抗線、３・・・・・・層流素
子、４・・・・・・コントローｐバルプ、５・・・・・
・パノレプ。
Claims (1)
- 流体の流量制御機能を備えた流量制御装置において、流
量制御部をう回する経路と、前記経路の開閉を行うバル
ブを備えていることを特徴とする流量制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15547489A JPH0320806A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15547489A JPH0320806A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 流量制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0320806A true JPH0320806A (ja) | 1991-01-29 |
Family
ID=15606841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15547489A Pending JPH0320806A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 流量制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0320806A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160012678A (ko) * | 2014-07-25 | 2016-02-03 | (주) 대원씨앤알 | 더스트 커버 성형금형용 링 투입장치 |
-
1989
- 1989-06-16 JP JP15547489A patent/JPH0320806A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160012678A (ko) * | 2014-07-25 | 2016-02-03 | (주) 대원씨앤알 | 더스트 커버 성형금형용 링 투입장치 |
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