JPS63118069A - 耐食性・耐摩耗性部材 - Google Patents
耐食性・耐摩耗性部材Info
- Publication number
- JPS63118069A JPS63118069A JP26607686A JP26607686A JPS63118069A JP S63118069 A JPS63118069 A JP S63118069A JP 26607686 A JP26607686 A JP 26607686A JP 26607686 A JP26607686 A JP 26607686A JP S63118069 A JPS63118069 A JP S63118069A
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- corrosion
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- Pending
Links
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- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 25
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、耐食性・耐摩耗性部材Aに関し、特に銅を
基材とする耐食性・耐1?耗性部材に関づるbのである
。
基材とする耐食性・耐1?耗性部材に関づるbのである
。
[従来の技術]
電気伝シ9性や熱伝う作男の観点から銅製部材を使用し
なければなら/rい場合が多い、、 /、:とえぽ、電
気接点、端子等の電気部品、あるいは導′心ばね笠の殿
+14部品などに(よ、銅製部材が使用され−(いる。
なければなら/rい場合が多い、、 /、:とえぽ、電
気接点、端子等の電気部品、あるいは導′心ばね笠の殿
+14部品などに(よ、銅製部材が使用され−(いる。
これらの銅製品口には、その耐久性を高めるために、そ
の表面に主としてN1めつぎまたは△9めっき′ニアの
電気めつ、3が施されている。
の表面に主としてN1めつぎまたは△9めっき′ニアの
電気めつ、3が施されている。
[1明が解決しようとする問題点]
しかし、Ni被膜およびへ9′#l膜の両名とし、たど
えば11 、! S −S O2等の腐蝕性ガスに対り
る耐食性が不充分であり、よ7;: 囲動〜″)繰返し
11粍に対する耐摩耗性も劣っている。
えば11 、! S −S O2等の腐蝕性ガスに対り
る耐食性が不充分であり、よ7;: 囲動〜″)繰返し
11粍に対する耐摩耗性も劣っている。
そこで、この発明は、銅を!、(44とし、i!iJ食
性J3よび耐1?!耗性に侵れた部材を提供Jること庖
N的とづる。
性J3よび耐1?!耗性に侵れた部材を提供Jること庖
N的とづる。
1問題点を解決づるための手段]
この発明は、銅製部材のに而に81また(よ[3を被覆
してなる耐食性・耐摩耗性部材′Cある。
してなる耐食性・耐摩耗性部材′Cある。
[発明の作用効果1
銅の単一金属からなる部材は、IIM蝕性媒体に接触1
)たとさ、ぞの表面に応力腐蝕割れを起こ1ノ(破断り
ることがある。ところが、銅製品口の表rriiにSi
またはB薄膜を生成Jると、たとλこの)11X祠が腐
蝕性媒体と接触したとしても、Slま/:はB I<膜
の存在にJ:つC銅が直接腐蝕に1媒体と1炙触するの
を防止りることがでさる。l、 7ζがつ【、応力腐蝕
:!l”JれにJ、る破断し土じなくなる。
)たとさ、ぞの表面に応力腐蝕割れを起こ1ノ(破断り
ることがある。ところが、銅製品口の表rriiにSi
またはB薄膜を生成Jると、たとλこの)11X祠が腐
蝕性媒体と接触したとしても、Slま/:はB I<膜
の存在にJ:つC銅が直接腐蝕に1媒体と1炙触するの
を防止りることがでさる。l、 7ζがつ【、応力腐蝕
:!l”JれにJ、る破断し土じなくなる。
一般に、3i まl:: 11 Bは脆いが、延刊のあ
る金属の表面にii Il’)を形成づると金属の変形
に従って:i91:φらCδる程良変形りることが可能
である1、また、S1被膜33 J、びB被膜は、Ni
被膜亡△9被膜に比較して、腐蝕性ガスに対づる耐食性
、g3 J、び層勅11J繰返しII耗に対りる?f4
摩耗竹が侵れている。
る金属の表面にii Il’)を形成づると金属の変形
に従って:i91:φらCδる程良変形りることが可能
である1、また、S1被膜33 J、びB被膜は、Ni
被膜亡△9被膜に比較して、腐蝕性ガスに対づる耐食性
、g3 J、び層勅11J繰返しII耗に対りる?f4
摩耗竹が侵れている。
S(土!、:は(3がy膜の生成方法としく(、(、熱
CV Dr人、減圧(’、 V D tノいブラフv’
cVD?ム、光CVD法、スパックリング法、イAンブ
レーJ′Cング法1.4冷法などがある。上記各種方〃
、のうら、CVD?入また1よスパッタリングを人によ
れば、最も緻1若なSlまたはBRワffり)を得るこ
とができる。
CV Dr人、減圧(’、 V D tノいブラフv’
cVD?ム、光CVD法、スパックリング法、イAンブ
レーJ′Cング法1.4冷法などがある。上記各種方〃
、のうら、CVD?入また1よスパッタリングを人によ
れば、最も緻1若なSlまたはBRワffり)を得るこ
とができる。
3i ま/、:はB被膜の厚みは、好ましく(よ、0゜
1へ・20μmの範囲内にあるようにされる。被膜)l
ツみが0.1μm)L′、満であれば、基材である銅を
保護するタノ宋が少なくなる。一方、厚みが20μmを
越えるのであれば、銅製部材をたとえば曲げたどき、3
i またはB被膜にクラックが入りやすくなる。被膜に
クランクが入れば、その部分に腐蝕性媒体が溜まりやす
くなり、銅と腐蝕性媒体とが直接接触づる原因ともなる
。
1へ・20μmの範囲内にあるようにされる。被膜)l
ツみが0.1μm)L′、満であれば、基材である銅を
保護するタノ宋が少なくなる。一方、厚みが20μmを
越えるのであれば、銅製部材をたとえば曲げたどき、3
i またはB被膜にクラックが入りやすくなる。被膜に
クランクが入れば、その部分に腐蝕性媒体が溜まりやす
くなり、銅と腐蝕性媒体とが直接接触づる原因ともなる
。
銅製部材の全表面に3i またはBを被覆してもよいが
、特に腐蝕が起こりやJい部分にだ1ノ3iまた(より
を被覆Jるように1)でらよい。
、特に腐蝕が起こりやJい部分にだ1ノ3iまた(より
を被覆Jるように1)でらよい。
[実施例1]
11□ガスをキャリアガスとし、s:cp−、をソース
ガスとする混合ガスが供給されでいるCVD反応容器内
へ、400℃に加熱されている厚さ2゜Qmmの銅板を
連続的に供給し、13.56Mtlzのラジオ波を印加
づ゛ると、銅板表面に3iの膜が連続的に生成された。
ガスとする混合ガスが供給されでいるCVD反応容器内
へ、400℃に加熱されている厚さ2゜Qmmの銅板を
連続的に供給し、13.56Mtlzのラジオ波を印加
づ゛ると、銅板表面に3iの膜が連続的に生成された。
こうして、銅板表面に厚さ5μmのSi被膜を生成した
。
。
こう]ノて1!lられた3i被覆銅板に対1ノ、110
0ppのS O2ガス中で乾湿を繰返づガスvA蝕試験
を行なった。その結果、2週間経過後もこの銅板に腐蝕
は見られず、Niめっきや△9めっきを施しノζ銅製部
材に比し漫れ/、:耐食性を示した。1[実施例2] i1□ガスをキャリアガスとし、BCfL3をソースガ
スどす゛る混合ガスが供給されているCVD反応容器内
へ、400℃に加熱されているJ’7さ2゜Qmmの銅
板をj■続的に供給し、13.56M1−1zのラジオ
波を印加づると、銅板表面にBの膜が連を1°C的に生
成された。こうして、厚ざ571m(1)B被膜を生成
した1゜ こうして11ノられたB被覆銅板に対して、上記実施例
1と同様のガスIll蝕試験を行なつl、:ところ、2
週間経過後も腐蝕は見られなかった。
0ppのS O2ガス中で乾湿を繰返づガスvA蝕試験
を行なった。その結果、2週間経過後もこの銅板に腐蝕
は見られず、Niめっきや△9めっきを施しノζ銅製部
材に比し漫れ/、:耐食性を示した。1[実施例2] i1□ガスをキャリアガスとし、BCfL3をソースガ
スどす゛る混合ガスが供給されているCVD反応容器内
へ、400℃に加熱されているJ’7さ2゜Qmmの銅
板をj■続的に供給し、13.56M1−1zのラジオ
波を印加づると、銅板表面にBの膜が連を1°C的に生
成された。こうして、厚ざ571m(1)B被膜を生成
した1゜ こうして11ノられたB被覆銅板に対して、上記実施例
1と同様のガスIll蝕試験を行なつl、:ところ、2
週間経過後も腐蝕は見られなかった。
Claims (2)
- (1)銅製部材の表面にSiまたはBを被覆してなる、
耐食性・耐摩耗性部材。 - (2)前記SiまたはB被膜の厚みが、0.1〜20μ
mの範囲内にある、特許請求の範囲第1項記載の耐食性
・耐摩耗性部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26607686A JPS63118069A (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 耐食性・耐摩耗性部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26607686A JPS63118069A (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 耐食性・耐摩耗性部材 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63118069A true JPS63118069A (ja) | 1988-05-23 |
Family
ID=17426016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26607686A Pending JPS63118069A (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 耐食性・耐摩耗性部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63118069A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013528187A (ja) * | 2010-05-28 | 2013-07-08 | ダウ コーニング コーポレーション | ジオルガノジハロシランの調製方法 |
-
1986
- 1986-11-07 JP JP26607686A patent/JPS63118069A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013528187A (ja) * | 2010-05-28 | 2013-07-08 | ダウ コーニング コーポレーション | ジオルガノジハロシランの調製方法 |
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