JPS63113923A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS63113923A JPS63113923A JP25964186A JP25964186A JPS63113923A JP S63113923 A JPS63113923 A JP S63113923A JP 25964186 A JP25964186 A JP 25964186A JP 25964186 A JP25964186 A JP 25964186A JP S63113923 A JPS63113923 A JP S63113923A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- iron
- cobalt
- magnetic recording
- corrosion resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- QVYYOKWPCQYKEY-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Co] Chemical compound [Fe].[Co] QVYYOKWPCQYKEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims abstract description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 12
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 13
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 13
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 9
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001337 iron nitride Inorganic materials 0.000 description 3
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 241000016649 Copaifera officinalis Species 0.000 description 1
- 239000004859 Copal Substances 0.000 description 1
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- ZGDWHDKHJKZZIQ-UHFFFAOYSA-N cobalt nickel Chemical compound [Co].[Ni].[Ni].[Ni] ZGDWHDKHJKZZIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、耐蝕性及び磁気特性に優れた磁気記録媒体を
提供するのに利用される。
提供するのに利用される。
従来の技術
第２図に示す如く、たとえば、ポリイミドフィルムから
なる基材（２）上に、磁気材料（３）を蒸着させ、磁気
記録媒体（１）とし、情報の記憶及びその再生を行なう
ことが成されている。この場合、磁気材料として、鉄（
Ｆｅ） 、コパル） （Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ） 、
これらの混合物や合金、又は、それらの窒化物を用いる
。
なる基材（２）上に、磁気材料（３）を蒸着させ、磁気
記録媒体（１）とし、情報の記憶及びその再生を行なう
ことが成されている。この場合、磁気材料として、鉄（
Ｆｅ） 、コパル） （Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ） 、
これらの混合物や合金、又は、それらの窒化物を用いる
。
一般に、磁気記録媒体は、良好な磁気特性を有すること
は勿論、実用特性上から優れた耐蝕性を兼ね備えている
ことが望ましい。そこで、前述した磁気材料を含む従来
の磁気記録媒体の磁気特性と耐蝕性とをみるに、次の事
が云える。コバルト・ニッケル（Ｃｏｘ −Ｎｄｉｙ
）系合金を含む磁気材料を基材に蒸着させた磁気記録媒
体は、磁気特性は優れているが、耐蝕性は不十分である
。又、窒化鉄（ＦｅｘＮ）を含む磁気材料を基材に蒸着
させた磁気記録媒体は、耐蝕性に関して何ら問題はない
が、磁気特性の内の飽和磁化特性が前者に比べると小さ
い。
は勿論、実用特性上から優れた耐蝕性を兼ね備えている
ことが望ましい。そこで、前述した磁気材料を含む従来
の磁気記録媒体の磁気特性と耐蝕性とをみるに、次の事
が云える。コバルト・ニッケル（Ｃｏｘ −Ｎｄｉｙ
）系合金を含む磁気材料を基材に蒸着させた磁気記録媒
体は、磁気特性は優れているが、耐蝕性は不十分である
。又、窒化鉄（ＦｅｘＮ）を含む磁気材料を基材に蒸着
させた磁気記録媒体は、耐蝕性に関して何ら問題はない
が、磁気特性の内の飽和磁化特性が前者に比べると小さ
い。
本発明が解決しようとする問題点
前述した如く、蒸着型磁気記録媒体の磁気特性と耐蝕性
とを良好な状態で両立させることは困難な事となってい
る。それ故に、本発明は、実用上何んら支障がなく、又
、良好な磁気特性と耐蝕性を示す蒸着型の磁気記録媒体
を提供することを解決すべき課題とする。この課題解決
のために、本発明は、鉄・コバルト合金を蒸着材料とし
て用い、基材上にこの合金の窒化膜を形成する概念を導
入する。
とを良好な状態で両立させることは困難な事となってい
る。それ故に、本発明は、実用上何んら支障がなく、又
、良好な磁気特性と耐蝕性を示す蒸着型の磁気記録媒体
を提供することを解決すべき課題とする。この課題解決
のために、本発明は、鉄・コバルト合金を蒸着材料とし
て用い、基材上にこの合金の窒化膜を形成する概念を導
入する。
問題点を解決するための手段
本発明は、前述した問題点を解決するために、基材上に
、３５〜５０重量％のコバルトを含み且つ４００ ＜ｅ
、ｍ、ｕ ／ｃｃ）以上の飽和磁化特性を示す鉄・コバ
ルト合金系窒化膜を蒸着させる手段を用いる。
、３５〜５０重量％のコバルトを含み且つ４００ ＜ｅ
、ｍ、ｕ ／ｃｃ）以上の飽和磁化特性を示す鉄・コバ
ルト合金系窒化膜を蒸着させる手段を用いる。
基材上への鉄・コバルト合金系窒化膜形成は、たとえば
、次の手段で成される。即ち、基材面に立てた垂線と鉄
・コバルト合金系物質の蒸気流とのなす角度（蒸着物質
の入射角）を２０度以上に保って、基材上に鉄・コバル
ト合金系物質を蒸着させること；基材周辺の窒素ガス圧
力を５．０×１０−’ Ｔｏｒｒ以下に保つこと；鉄・
コバルト合金系物質の蒸着と同時に、基材面に立てた垂
線に対して一４５度〜＋４５度の角度から窒素のイオン
ビームを照射すること；窒素イオンビームの基材に対す
る加速電圧を１００ＯＶ以下に保つこと；窒素イオンビ
ームが基材に照射されることによりもたらされる基材表
面上でのイオン電流密度０．１〜１０人／ｄとすること
よりなる手段を用いる。
、次の手段で成される。即ち、基材面に立てた垂線と鉄
・コバルト合金系物質の蒸気流とのなす角度（蒸着物質
の入射角）を２０度以上に保って、基材上に鉄・コバル
ト合金系物質を蒸着させること；基材周辺の窒素ガス圧
力を５．０×１０−’ Ｔｏｒｒ以下に保つこと；鉄・
コバルト合金系物質の蒸着と同時に、基材面に立てた垂
線に対して一４５度〜＋４５度の角度から窒素のイオン
ビームを照射すること；窒素イオンビームの基材に対す
る加速電圧を１００ＯＶ以下に保つこと；窒素イオンビ
ームが基材に照射されることによりもたらされる基材表
面上でのイオン電流密度０．１〜１０人／ｄとすること
よりなる手段を用いる。
基材としてポリイミド、ポリエチレン、ポリ塩化ビ゛ニ
ール、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリア
ミド、ポリスチレン等の合成樹脂のフィルム、或いは、
アルミニウム、ステンレス箔やガラスやセラミック板等
の公知材料を用いる。
ール、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリア
ミド、ポリスチレン等の合成樹脂のフィルム、或いは、
アルミニウム、ステンレス箔やガラスやセラミック板等
の公知材料を用いる。
鉄・コバルト合金系窒化膜は、７００〜２５００人とし
、又、成膜速度２−５人／秒をすると良い。
、又、成膜速度２−５人／秒をすると良い。
作用
本発明による磁気記録媒体は、第１図に示すように、コ
バルト含有量が３０重量％を越えても、飽和磁化（Ｍｓ
）がさらに高くなる値を示す。かくして、高い飽和磁化
特性を有す高品質の磁気記録媒体が、本発明により提供
可能となる。
バルト含有量が３０重量％を越えても、飽和磁化（Ｍｓ
）がさらに高くなる値を示す。かくして、高い飽和磁化
特性を有す高品質の磁気記録媒体が、本発明により提供
可能となる。
耐蝕性についてみると、第２表に示すように、本発明に
拘る鉄・コバルト系窒化膜を有する磁気記録媒体は、５
％ＮａＣＩＩ溶液に浸しても、その飽和磁化特性の低下
は見られず、５％ＮａＣｒ７！？’ｅｉ液に浸たさない
ものとの比（Ｍｓ（ｔ）／Ｍｓ（ｏ） ）に変化がほと
んどない。尚、第２表の場合は、Ｆｅ５５・Ｃ０４５Ｎ
の成分の鉄・コバルト合金系の窒化膜（Ｆａｘ ・Ｃ
ｏｙＮ）を有する磁気記録媒体のテスト結果である。
拘る鉄・コバルト系窒化膜を有する磁気記録媒体は、５
％ＮａＣＩＩ溶液に浸しても、その飽和磁化特性の低下
は見られず、５％ＮａＣｒ７！？’ｅｉ液に浸たさない
ものとの比（Ｍｓ（ｔ）／Ｍｓ（ｏ） ）に変化がほと
んどない。尚、第２表の場合は、Ｆｅ５５・Ｃ０４５Ｎ
の成分の鉄・コバルト合金系の窒化膜（Ｆａｘ ・Ｃ
ｏｙＮ）を有する磁気記録媒体のテスト結果である。
又、比較例として窒化鉄の膜（ＦｅｘＮ）の例を示す。
本発明による磁気記録媒体の保磁力（Ｈｃ）と角形比（
Ｒｓｇ ）は、第１図に示すように、コバルト含有量が
４０−５０重量％の場合でも、その値の低下はな（、実
用上問題となることは全くない。
Ｒｓｇ ）は、第１図に示すように、コバルト含有量が
４０−５０重量％の場合でも、その値の低下はな（、実
用上問題となることは全くない。
実施例
第３図に示す装置を用い、ポリイミドフィルムからなる
基材１０をベース１１に一定角度で支持させ、容器１２
内に配す。容器１２内は、パイプ１３を介して真空源に
導通させ、容器１２内を５．０〜６．ＯＸ １０−’
Ｔｏｒｒの真空状態とさせる。
基材１０をベース１１に一定角度で支持させ、容器１２
内に配す。容器１２内は、パイプ１３を介して真空源に
導通させ、容器１２内を５．０〜６．ＯＸ １０−’
Ｔｏｒｒの真空状態とさせる。
容器１２内のカウフマン型イオン銃１４をパイプ１５を
介して窒素ガスボンベに導通させる。
介して窒素ガスボンベに導通させる。
容器１２内の電子銃１６により鉄・コバルト系合金１７
を加熱し、その蒸気流１８を基材１０に向ける。又、カ
ウフマン型イオン銃１４が、窒素ガスをイオン化し、加
速させて基材１０へ入射させるが、このときの基材表面
に達する窒素イオンのイオン電流密度を１．０人／Ｍと
させる。さらに、窒素イオンビームの基材１０に対する
加速電圧を５００■とする。又、鉄・コバルト系合金１
７の蒸発源に対する基材斜方角を７５度とする。
を加熱し、その蒸気流１８を基材１０に向ける。又、カ
ウフマン型イオン銃１４が、窒素ガスをイオン化し、加
速させて基材１０へ入射させるが、このときの基材表面
に達する窒素イオンのイオン電流密度を１．０人／Ｍと
させる。さらに、窒素イオンビームの基材１０に対する
加速電圧を５００■とする。又、鉄・コバルト系合金１
７の蒸発源に対する基材斜方角を７５度とする。
上記の如く、第３図に示す装置をセットした後、第１表
に示す試料を同装置にて処理した。
に示す試料を同装置にて処理した。
第１表
（重量％）
各試料の磁気特性を第３表に示す。
第３表
第３表に示す結果をグラフ図とすると第１図の如くなる
。この第１図からも明らかなように、鉄・コバルト系窒
化膜の磁気特性は、コバルト成分の増加に伴い、保磁力
（Ｈｃ）と角形比（Ｒｓｑ）については殆ど変化しない
が、しかし、飽和磁気（Ｍｓ）は、増力旧噴量を示す。
。この第１図からも明らかなように、鉄・コバルト系窒
化膜の磁気特性は、コバルト成分の増加に伴い、保磁力
（Ｈｃ）と角形比（Ｒｓｑ）については殆ど変化しない
が、しかし、飽和磁気（Ｍｓ）は、増力旧噴量を示す。
従って、コバルトを３５−５０重量％含有する鉄・コバ
ルト合金系窒化膜は、約４００ｅ、ｍ、ｕ／ｃｃ以上の
飽和磁化を有す優れた磁気特性を有することが分る。
ルト合金系窒化膜は、約４００ｅ、ｍ、ｕ／ｃｃ以上の
飽和磁化を有す優れた磁気特性を有することが分る。
耐蝕特性を調べる目的のために、試料Ａに相当する鉄・
コバルト合金系窒化物（Ｆｅ５５・Ｃｏ４５Ｎ）及び窒
化鉄（ＦｅｘＮ）の膜を有する磁気記録媒体を、ＮａＣ
ｌ溶液を浸した脱脂綿上に放置し、経時的な磁気特性の
変化を調べた。その結果を第２表に示す。鉄・コバルト
合金系窒化膜を有する磁気記録媒体は、３００時間を経
過しても磁気特性に変化はみられず、優れた耐蝕性を有
することが分った５効果 従来より僅かにコバルトの含有量を増加させるのみで、
飽和磁化を著しく向上させることができ一高品質の磁気
記録媒体の提供が可能となる。
コバルト合金系窒化物（Ｆｅ５５・Ｃｏ４５Ｎ）及び窒
化鉄（ＦｅｘＮ）の膜を有する磁気記録媒体を、ＮａＣ
ｌ溶液を浸した脱脂綿上に放置し、経時的な磁気特性の
変化を調べた。その結果を第２表に示す。鉄・コバルト
合金系窒化膜を有する磁気記録媒体は、３００時間を経
過しても磁気特性に変化はみられず、優れた耐蝕性を有
することが分った５効果 従来より僅かにコバルトの含有量を増加させるのみで、
飽和磁化を著しく向上させることができ一高品質の磁気
記録媒体の提供が可能となる。
第１図は鉄・コバルト合金系窒化膜の磁気特性を示すグ
ラフ図、第２図は磁気記録媒体の断面図第３図は磁気記
録媒体を製造する装置を示す図である。 図中： １・・−−−−一磁気記録媒体、 ２・・−・
−基材、３−・−−−−一磁性材料。 代理人 弁理士 桑 原 英 明 Ｃｏ含有量（％）
ラフ図、第２図は磁気記録媒体の断面図第３図は磁気記
録媒体を製造する装置を示す図である。 図中： １・・−−−−一磁気記録媒体、 ２・・−・
−基材、３−・−−−−一磁性材料。 代理人 弁理士 桑 原 英 明 Ｃｏ含有量（％）
Claims (1)
- 基材と、この基材上に蒸着された鉄・コバルト合金系窒
化膜とを少なくとも有し、該鉄・コバルト合金系窒化膜
が、３５〜５０重量％のコバルトを含み且つ４００（ｅ
．ｍ．ｕ．／ｃｃ）以上の飽和磁化を示すことを特徴と
する磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61259641A JPH07101503B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61259641A JPH07101503B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63113923A true JPS63113923A (ja) | 1988-05-18 |
| JPH07101503B2 JPH07101503B2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=17336880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61259641A Expired - Lifetime JPH07101503B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07101503B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6154024A (ja) * | 1984-08-24 | 1986-03-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1986
- 1986-10-31 JP JP61259641A patent/JPH07101503B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6154024A (ja) * | 1984-08-24 | 1986-03-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07101503B2 (ja) | 1995-11-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2435887A1 (de) | Geraet zur herstellung von magnetischen aufzeichnungsmedien | |
| JPS6228487B2 (ja) | ||
| JPS63113923A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| KR960010327B1 (ko) | 자기기록매체 | |
| JPS5841443A (ja) | 磁気記録媒体の製法 | |
| JPH0462163B2 (ja) | ||
| JPS61250827A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS59198707A (ja) | 垂直磁気記録体 | |
| JPS6398823A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS62120624A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS58212623A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH07111773B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH04143925A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS61214120A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0384723A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6166220A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPS62120626A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS61214115A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS59124036A (ja) | 磁気記録媒体の製造法 | |
| JPS63167424A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6378336A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS60209927A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造法 | |
| JPH0222449B2 (ja) | ||
| JPS60217518A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS5940507A (ja) | 高保磁力を有する磁気記録媒体薄膜 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |