JPS6154024A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気記録媒体に関し、より詳細にはビデオテー
プ等として使用される非バインダー型の磁気記録媒体に
関するものである。

（従来技術） 従来より磁気記録媒体としては、有機バインダー中に分
散させた粉末磁性材料を非磁性基体上に塗布し乾燥させ
てなる塗布型のものが広く使用されてきている。しかし
ながら、従来の塗布型磁気記録媒体は、磁性材料として
強磁性金属よりも飽和磁化の小さい金属酸化物を主とし
て用いているため高密度記録には適しておらず、また製
造工程が複雑であり、溶剤回収あるいは公害防止のため
に大規模な附帯設備を有するという欠点を有している。

これに対し、近年Ｂ密度記録への要求の高まりと共に真
空蒸着、スパッタリング、イオンブレーティング等のペ
ーパーデポジション法あるいは電気メッキ、無電解メッ
キ等のメッキ法により形成される強磁性ｖＪ膜を磁気記
録層とする、バインダーを使用しない、いわゆる非バイ
ングー型磁気記録媒体が実用化されるに到った。非バイ
ングー型磁気記録媒体においては塗布型磁気記録媒体に
使用される金属酸化物よりも飽和磁化の大きな強磁性金
属をバインダーのごとき非磁性物質を含有しない状態で
薄膜として形成させることが可能であるため、塗布型と
比較して高保磁力化および薄層化が達成でき、しかも製
造工程が簡略化され、有機溶媒による公害も防止される
という利点を有している。特に非バインダー型磁気記録
媒体記録層はその厚さを塗布型よりも一桁小さな値とす
ることが可能であるため、高密度記録用磁気記録媒体と
して注目されている。

しかしながら、非バイングー型磁気記録媒体の磁性薄膜
は腐蝕されやすいため、該記録媒体は塗布型磁気記録媒
体と比較して耐候性および耐錆性が劣っている。特にビ
デオテープ等として使用される磁気記録媒体は記録・再
生時に該媒体表面が磁気ヘッドで擦られるため、極めて
軽度であっても精が該媒体表面上に存在しているとヘッ
ドに目詰りが生じ、この結果、媒体およびヘッドが傷つ
くことになる。さらに錆の程度が甚しくなると磁性薄膜
が剥離して、記録されていた情報の消失を１０　＜こと
もある。

さらに、非バイングー型磁気記録媒体に係る問題として
耐久性がある。すなわら、Ｖ　Ｔ　ＲＥ　Ａ′３けるス
ヂル耐久性等において非バイングー型磁気記録媒体は塗
布型磁気記録媒体に劣っているため、その改良が実用上
切望されている。

こうした非バイングー型磁気記録媒体の耐候性。

耐久性を改良する方法として、イオンプレーテングによ
り表面窒化処理を施す方法（特開昭５０−３３８０６号
）、スパッタにより窒化硅素膜を設ける方法（特開昭５
３−３０３０４号）、磁性膜を窒素ガス等の雰囲気中で
の放電にさらして非磁性表面層を形成する方法（特開昭
５３〜８５４０３号）、磁性金ＥＳ薄膜上に窒化された
金属薄膜を設ける方法（特開昭５４−１ｌ１３１１１号
）等が知られているが耐１１叉性、耐久性の改良が不十
分で効果を１ｑるには膜厚を大きくせねばならぬ等の欠
点があった。非磁性保護膜は膜厚が大きいと′ｒｉ磁変
換特性上劣化が著しく非バイングー型磁気記録媒体の特
徴が失われてしまう。さらに耐候性にすぐれた非バイン
グー型磁気記録媒体の一つとして、ヨーロッパ特許８３
２８号あるいは特開昭５９〜１１７８０９号に開示され
ているような窒化鉄あるいは鉄および窒化鉄よりなる磁
性薄膜があるが磁気特性が不十分であり、耐久性につい
ても改良が望まれている。

（発明の目的） 本発明の目的は上記従来技術の問題点に鑑み、耐候性Ｊ
５よび耐錆性に侵れ、かつ良好な磁気特性を有する磁気
記録媒体を提供することにある。

（発明の構成） 本発明による磁気記録媒体は非磁性身体上に、コバルト
を主成分とし窒化鉄を含有する強磁性簿膜を設置ノでな
るものである。

本発明に用いられる強磁性薄膜はコバルトを主成分とし
、かつ窒化鉄を含有することを必要とするが、さらに例
えばニッケル、酸素、クロム等を含有してもよい。また
、優れた耐ＩＶｊ、性および１ｉｉ４錆　　性を得るた
めには強磁性薄膜中に含有される鉄原子のｍを３０〜７
５ａｔｏｍｉｃ％、窒素原子の吊を５〜４０ａｔｏｍｉ
ｃ％とすることが好ましい。

この強磁性薄膜は単層としても積層としてもよく、また
そのＩＩＱ厚は磁気記録媒体として充分な出力を与える
厚さ、および高密度記録の充分行える博さを必要とする
ことから、一般には０．０２μＴＩ′Ｌから５．０μｍ
１好ましくは０．０５μ乳から２．０μレンテレフタレ
ート、ポリイミド、ポリアミド。

ポリ塩化ビニル、三酢酸セルロース、ポリカーボネート
、ポリエチレンナフタレートのようなプラスチックベー
ス基体、あるいはＡ９Ｊ、　Ｔｉ　、ステンレス鋼等の
金属ないし合金基体があげられる。

またこの強磁性ｉｔｖ股上に公知の潤滑剤、保ｍＦｆｔ
を設けて耐久性、走行耐久性を向上せしめることらでき
る。

（実　施　例） 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
が本発明は本実施例に限定されるものではない。

図面は本実施例に使用した装置を示す概略図である。図
面に示す装置は真空容器１からなり、真空容器１の内部
は仕切り壁２によって上室３と下至４に仕切られており
、それぞれ排気口５，６により独立に真空排気されるよ
うになっている。上空３にはテープ状基体７の送出しロ
ール８と巻取りロール９が配設されている。テープ状基
体７は送詳省−ル８から送り出され、冷却キャン１０に
沿って下至４へ移動する。下至４には蒸発源１１．１１
′が設置されている。本実施例において蒸発源１１中の
磁性材料１２はｃｏを主成分とするＣｏ合金であって加
熱され、その蒸発流はマスク１３を介してテープ状基体
７の上に到達し蒸着膜中にとりこまれる。一方、蒸発源
１１′　中にはＦｅが収容され、加熱蒸発される。ここ
で、その蒸気流の一部はイオン化銃１５によりイオン化
され、ガス導入口１６より導入されるＮ２ガスと反応す
ることによって、蒸着膜中に窒化鉄が生成される。以上
の如く下室４で作成された磁気テープは冷却キレン１０
に沿って上室３に戻り、巻取りロール９に巻き取られる
。

第２ガス導入口１４より酸素Ｏｚ、二酸化炭素Ｃ○２、
希ガスＨｅ　、　Ｎ１３　、八ｒ　ｅｔｃ等のガスを導
入しガス中蒸着を行なうこともできる。

以上の装置を用いて１２．５μ面厚のポリエヂレンテレ
フタレートフィルム基体上に強磁性薄膜を形成Ｕ′しめ
磁気テープを作成した。フィルム基体の幅１；Ｌ　１０
０．、フィルム搬送速度は２０ｙｎ、／分とし、ｎ入射
角θｍａｘは９０＠、低入射角θｍｉｎは、蒸発、諒１
１が４０＠、蒸発源１１′　が２５６　となるよう配冒
した。蒸発源１１中にはＣｏＮｉ合金（Ｎｉ：２０市吊
％ンをまた蒸発源１１′　中には＊ＵＦｃ（純度９９．
９９％）を各々収納し、蒸発源１１についてはピアス式
電子銃で、また蒸発源１１′　は磁場偏向型電子銃で各
々独立に加熱し蒸着ぜ゛しめ膜厚１５００△　となるよ
う薄膜を形成した。また、窒化鉄作成反応にあ゛たって
はイオン化銃１５のパワー、あるいはまたガス導入口１
６よりのＮ２ガス導入ｍを変化させ、種々の窒化鉄含有
率を有する磁気テープを作成したこれらの磁気テープ各
々についてオージェ電子分光法（ＡＥＳ）によってテー
プ深さ方向の元素含有率を測定し、それを深さ方向に積
分づ”ることによって各元素の膜全体としての含有率を
求めた。

ここで窒化鉄は物質自体としてＦｅ　ｔ　Ｎ、　Ｆｅ　
２−３　Ｎ、Ｆｅ１６　Ｎ２等々様々の結合形態を取り
得る物質であり、また、薄膜化された窒化鉄は結晶質よ
りむしろ非晶質に近い状態になっているために、各テー
プの窒化鉄含有■を正確に表わずのは困難ではあるが、
ここでは上記ＡＥＳ測定により１９られるＦｅ、Ｎ含有
■を基準どする。その上で各テープの磁気特性ならびに
耐候耐錆特性を測定した。

尿奎気特性としては抗磁力・角型比を振動型磁力ｒｌ（
ＶＳＭ）により測定した。また、防錆特性は５０℃、相
対湿度９０％サーモ中に　１００口間放置した後に、目
視ならびに×５０顕微鏡により錆の観察を行ない１点〜
５点に点数化して判定した。ここで各点数は次の如き愚
昧を有するものである。

５点：顕微鏡でも錆が認められない。４貞二ロ祝て錆が
認められず顕微鏡のみで認められる。３貞二ロ祝ではよ
＜ｌ１１２察しないと錆が認められない。

２点：目視で錆が認められる。１点：目視で若しい錆が
認められる。

作成したテープの作成条件、Ｆ（！、Ｎ含右含有磁気特
性、耐４Ｖ２Ｔｈ錆特性テスト結果を表１に示す。

ここでサンプルＮｏ、　１は従来一般的なＣｏＮｉ蒸着
品である。またサンプルＮα３はＮ２を導入しつつＣｏ
Ｎｉのみを蒸着したもので磁気１、ｒ性は向上するもの
のＮは検出されず、また耐錆性も低いサンプルＮ（１，
４〜６が本発明によるＣＯを主成分どし窒化？久を含む
ものである。各蒸発源よりの蒸発レートをデータ数値の
形で示ずのはテ「シいため、各サンプルはその元素含有
率で区別すべぎである。ここでサンプルＮα４でＮが検
出されないのはＡＥＳの検出積電以下であるためと思わ
れる。このデータよりリーンプルＮｏ、　４〜Ｎ（１６
においては磁気特性を劣化させることなく、耐錆特性が
飛躍的に向上していることが認められた。

表　　　　　１ （発明の効果） 本発明による磁気記録媒体はその記録層が、磁気特性に
優れたコバルトを主成分とし、しかも腐蝕されにくい窒
化鉄を含有する強磁性簿膜より形成されているため、耐
候性および耐錆性に優れ、しかも磁気特性が良好である
。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の磁気記録媒体を製造する際に使用される
装置の１例を示す概略図である。 １・・・真空容器　　　　　２・・・仕　切　壁３・・
・上　　　室　　　　４・・・下　　　室５．６・・・
排　気　孔　　７・・・テープ状基体８・・・送出しロ
ール　　　９・・・巻取りロール１０・・・冷却キャン
　　　　１１・・・蒸　発　源１２・・・磁性材料　　
　　　１３・・・マ　ス　り１４・・・第１ガス導入口
　　１５・・・イオン化銃１６・・・第２ガス導入口 （自発）手続補正力 特許庁長官　殿　　　　　　　　　　昭和５９年１１月
３０８１、事件の表示 特願昭５９−１７６１６５号 ２、発明の名称 磁気記録媒体 ３、補正をする者 事件との関係　　　　　特許出願人 任　所　　　神奈川県南足柄市中沼２１０番地名　称　
　　　富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 ＼Ｊ〕 ８、ｔｉｌｉ正の内容 １）明細書第４＠第１２〜１３行 ［イオンプレーテング」を１イオンブレーテイング」と
訂正する。 ２）同第５頁第２行 「電磁変換特性上劣化」を［電磁変換特性劣化Ｊと訂正
する。 ３）同第６頁第１〜４行 「また、優れた・・・ことが好ましい。」を削除する。 ４）同第９頁第１６行 「１００日」を「５０日」と訂正する。 ５）同第１０頁第１０行 「耐錆性も低いナン」を［耐錆性も低い。サンＪど訂正
りる。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）非磁性基体上に強磁性薄膜を設けてなる磁気記録媒
   体において、該強磁性薄膜がコバルトを主成分とし、か
   つ窒化鉄を含有していることを特徴とする磁気記録媒体
   。