JPS63113505A - 光フアイバの固定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光ファイバを用いた機器に係り、特に複数の
光ファイバの端末を高い位置精度で配列する必要のある
機器の製造に好適な光ファイバの固定方法に関する。

〔従来の技術〕

レーザダイオードからの発光を光ファイバに導く部分、
また、光スィッチの前後における光フアイバ端面への光
の入射・出射部においては、ファイバの位置決めおよび
固定が極めて重要である。

従来の装置は特開昭５７−１７２３０９に記載のように
、光ファイバを導く７字形の溝の中にファイバを置く方
法が用いられており、通常ファイバを接着剤あるいは、
はんだで固定している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記の従来技術では、接着剤、はんだ等がＶ溝とファイ
バとの間に入り込んで、ファイバの芯の中心位置が精密
に出しにくいという欠点があった。

更に、これらの材料の耐熱性、長期にわたる耐候性、安
定性にも問題があった。

本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、ファイバの芯の
中心の位置の精度を高めること、また、長期にわたる高
温の環境下でも材料の劣化による変化が生じにくいファ
イバの固定方法を得ることにある。特に、複数のファイ
バの先端を所望の配列位置に正確に固定することは、本
発明の主たる目的である。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、ファイバと固定具のうち、一方の表面を金
属または半導体などの導体面とし、他方の表面をに＋、
Ｎａ十等のイオンを含むガラスで構成し、両者を昇温し
ながら静電界を加えて接合することにより達成される。

〔作用〕

ファイバおよび固定具のそれぞれの表面を覆う金属およ
びガラスは、次のように作用する。すなわち、昇温状態
で金属側を正の電位に、またガラス側を負の電位に保ち
接触を続けると、両者の間にイオン電流が流れ拡散接合
が行われる。この接合プロセスにおいて必要とされる金
属およびガラスの最小厚さは２〜４μｍであり、それ以
外の夾雑物を介さずに接合が行われるので、接合による
ファイバの芯の中心位置の誤差の発生は極めて小さく、
また、接合界面の耐環境性も大である。

〔実施例〕

以下に、本発明の実施例を第１図により説明する。光フ
ァイバ１の表面にボロシリケートガラス（商標名パイレ
ックスガラス）２が４μｍの厚さにスパッタ蒸着しであ
る。図では、同様にして作成された４本のファイバを一
列に等間隔に固定する方法が示されている。ファイバを
固定する基板３の材料はＳｉ単結晶であり、ファイバを
固定する部分にＶ字形の溝４が形成されている。７字形
の溝を形成する方法としては、例えば（１００）方位の
基板表面にストライプ状のマスクを設け。

ＫＯＨ水溶液等による異方性エツチングを行えば、溝の
ピッチ、深さとも、極めて高精度な加工ができることは
良く知られている。

上記の光ファイバ１を基板の溝４に並べたのち、電極５
でファイバに触れ、全体を約４００℃に昇温後、Ｓｉ基
板側を正、電極５側を負極として、約６０ボルトの電圧
を印加すると、Ｓｉ基板とファイバは、静電力により密
着した後、完全に接合される。

第２図に、本発明の第２の実施例を示す。光ファイバ１
１の表面にはＡＱが２μｍの厚さに蒸着しである。ファ
イバを固定する基板１３は、第１の実施例と同様にして
作られたＶ字形の溝を有し、更に溝面を含む基板表面に
はボロシリケートガラス１７が４μｍの厚さにスパッタ
蒸着されている。

光ファイバ１１を基板の溝に並べたのち、電極１５でフ
ァイバに触れ、全体を４００’Ｃに昇温しＳｉ基板側を
負、電極１５側を正極として約６０ボルトの電圧を印加
すると、Ｓｉ基板とファイバは、第１の実施例と同様に
接合される。重要な点は、第１の実施例における直流電
源６が第２の実施例における電源１６と極性を逆にして
いることである。

なお、第２の実施例におけるＳｉ基板１３はボロシリケ
ートガラスに置きかえることもできる。

この場合は、スパッタ蒸着膜１７が不要になる。

本発明の第３の実施例を第３図で説明する。光　・ファ
イバ２１の表面にＡＱ２２を蒸着したものをボロシリケ
ートガラスからなる固定具２３に固定する方法を示して
いる。この図で、正極となる電極２５を矢印２７の方向
に移動することにより、光ファイバを矢印２８の方向に
ガラス上を転勤せしめ、左右方向の適当な位置まで微動
させることができる。しかる後、適当な温度のもとで図
のように電圧を印加すれば、光ファイバは固定される。

以上に述べた実施例の他にも、静電的に接合した後、接
合部を樹脂などで更に適宜コーティングすることは１本
発明に含まれることは自明である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、以下の効果が得られる。

１、ファイバの芯の中心位置を所望の固定位置に精度良
く固定することができる。

２、ファイバと固定具との接合面に、ガラス。

ＡＱ等の耐熱性・耐候性の高い材料しか存在しないので
、横進の長期間にわたる安定性が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明の実施例を示す縦断面図であ
る。 １，１１．２１・・・光ファイバ、２，１７．２３・・
・ボロシリケートガラス、３，１３・・・シリコン、１
２．２２・・・ＡＱ、５，１５．２５・・・電極、６．
　　゛代理人　弁理士　小川勝男＼、−シ／ 第１　図 ３Ｓム臥根

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、光ファイバを固定する基板および光ファイバの間に
   直流電圧を印加し、基板と光ファイバとを接合すること
   を特徴とする光ファイバの固定方法。 ２、光ファイバの外面に予めガラスを蒸着してなること
   を特徴とする第１項記載の光ファイバの固定方法。 ３、光ファイバの外面に予め金属を蒸着し、さらに基板
   の表面にガラスを蒸着してなることを特徴とする第１項
   記載の光ファイバの固定方法。 ４、基板が単結晶Ｓｉからなることを特徴とする第１乃
   至第３項記載の光ファイバの固定方法。