JP3323662B2 - 光送受信モジュールの製造方法及び光送受信モジュール - Google Patents
光送受信モジュールの製造方法及び光送受信モジュールInfo
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- JP3323662B2 JP3323662B2 JP20877894A JP20877894A JP3323662B2 JP 3323662 B2 JP3323662 B2 JP 3323662B2 JP 20877894 A JP20877894 A JP 20877894A JP 20877894 A JP20877894 A JP 20877894A JP 3323662 B2 JP3323662 B2 JP 3323662B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信、光情報処理、
光インターコネクションなどに使用する光モジュール、
より詳細には、光ファイバアレイとレンズアレイの結合
方法、該結合方法に使用して好適な光ファイバ保持部
材、更には、光素子アレイと光ファイバアレイとレンズ
アレイとを一体的に組み合わせた光送受信モジュールに
関する。
光インターコネクションなどに使用する光モジュール、
より詳細には、光ファイバアレイとレンズアレイの結合
方法、該結合方法に使用して好適な光ファイバ保持部
材、更には、光素子アレイと光ファイバアレイとレンズ
アレイとを一体的に組み合わせた光送受信モジュールに
関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来の光ファイバアレイとレン
ズアレイの結合方法の一例を説明するための図で、図
中、４０は光ファイバ、５０は光ファイバ保持部材、６
０はレンズアレイで、周知のように、光ファイバ保持部
材５０には複数本の光ファイバ４０が所定の間隔（ピッ
チ）をもって固定され、光ファイバアレイを構成してい
る。ファイバ保持部材５０の出射端面５１上のファイバ
配列線の延長線上の両端の光ファイバ出光部５３からフ
ァイバ配列ピッチＰに等しい位置に、それぞれ十字マー
ク５２を刻印し、それぞれの十字マーク５２に対応し
て、レンズアレイ６０にダミーレンズ６２（６１はレン
ズ）を配列し、レンズアレイ６０とファイバ保持部材の
出射端面５１との間に所定の厚さのスペーサ７０を介し
て組み合わせ、顕微鏡８０でダミーレンズ６２を通して
十字マーク５２を観察し、十字マーク５２の中心とダミ
ーレンズ６２の中心とが一致するように、レンズアレイ
６０を移動調整した後、光ファイバ保持部材５０とレン
ズアレイ６０とを固定するものである。
ズアレイの結合方法の一例を説明するための図で、図
中、４０は光ファイバ、５０は光ファイバ保持部材、６
０はレンズアレイで、周知のように、光ファイバ保持部
材５０には複数本の光ファイバ４０が所定の間隔（ピッ
チ）をもって固定され、光ファイバアレイを構成してい
る。ファイバ保持部材５０の出射端面５１上のファイバ
配列線の延長線上の両端の光ファイバ出光部５３からフ
ァイバ配列ピッチＰに等しい位置に、それぞれ十字マー
ク５２を刻印し、それぞれの十字マーク５２に対応し
て、レンズアレイ６０にダミーレンズ６２（６１はレン
ズ）を配列し、レンズアレイ６０とファイバ保持部材の
出射端面５１との間に所定の厚さのスペーサ７０を介し
て組み合わせ、顕微鏡８０でダミーレンズ６２を通して
十字マーク５２を観察し、十字マーク５２の中心とダミ
ーレンズ６２の中心とが一致するように、レンズアレイ
６０を移動調整した後、光ファイバ保持部材５０とレン
ズアレイ６０とを固定するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の結合方法で
は、刻印マークの正確な形成やレンズアレイとファイバ
保持部材とを顕微鏡観察などのアライメント作業をおこ
なわなくてはならず、生産性に問題が残る。また、ダミ
ーレンズの作製や刻印マーク形成のためのスペースなど
を設ける必要があるなど材料の有効利用などの点でも問
題がある。本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされ
たもので、小型化に有効で生産性の良いレンズアレイと
ファイバ保持部材の結合方法を提案し、さらには、この
方法を用いた光モジュールを提供することにある。
は、刻印マークの正確な形成やレンズアレイとファイバ
保持部材とを顕微鏡観察などのアライメント作業をおこ
なわなくてはならず、生産性に問題が残る。また、ダミ
ーレンズの作製や刻印マーク形成のためのスペースなど
を設ける必要があるなど材料の有効利用などの点でも問
題がある。本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされ
たもので、小型化に有効で生産性の良いレンズアレイと
ファイバ保持部材の結合方法を提案し、さらには、この
方法を用いた光モジュールを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、（１）複数条のＶ溝を所定ピッチで有
し、各Ｖ溝が一方の端部では浅溝に形成され、他方の端
部では深溝に形成されている２枚の基板を用い、該２枚
の基板の浅溝部（又は深溝部）を対向させ、対向した浅
溝部で光ファイバを挟持して該光ファイバと前記２枚の
基板とを一体構成とし、次いで、前記Ｖ溝が対向するこ
とによって形成される前記所定ピッチの深溝側開口端エ
ッジ部に前記所定ピッチと同じピッチでレンズが形成さ
れてレンズアレイのレンズを接触させて位置決めをし、
該レンズアレイを前記基板に固定し、次いで、前記所定
のピッチと同じピッチで光素子が配設された光素子アレ
イの前記光素子を前記レンズに位置合せして固定するこ
と、或いは、（２）複数の光素子が所定のピッチで配設
されている光素子アレイを保持している光素子基板と、
複数のレンズが前記所定のピッチと同一のピッチで配設
されているレンズアレイ及び一方の端面が前記レンズの
各々に対向して配設された複数本の光ファイバから成る
光ファイバアレイを保持する光ファイバ保持部材を固定
した光ファイバアレイ基板部材であって、前記光ファイ
バ保持部材上には前記光ファイバを固定するための光フ
ァイバ固定溝とレンズ位置決め溝とが連続して一本の溝
として前記所定のピッチで複数溝形成され、前記レンズ
には前記レンズ位置決め溝と係合する凸部が形成されて
おり、該凸部と前記レンズ位置決め溝とを一部接触させ
ることにより前記レンズアレイが前記光ファイバ保持部
材に位置決めされて固定されている光ファイバアレイを
固定した前記光ファイバアレイ基板部材とから成り、該
光ファイバアレイ基板部材と前記光素子基板部材とが位
置合わせされ、前記光ファイバアレイ基板部材と光素子
基板部材とが接着もしくは溶接によりその一部が固定さ
れていることを特徴とするものである。
決するために、（１）複数条のＶ溝を所定ピッチで有
し、各Ｖ溝が一方の端部では浅溝に形成され、他方の端
部では深溝に形成されている２枚の基板を用い、該２枚
の基板の浅溝部（又は深溝部）を対向させ、対向した浅
溝部で光ファイバを挟持して該光ファイバと前記２枚の
基板とを一体構成とし、次いで、前記Ｖ溝が対向するこ
とによって形成される前記所定ピッチの深溝側開口端エ
ッジ部に前記所定ピッチと同じピッチでレンズが形成さ
れてレンズアレイのレンズを接触させて位置決めをし、
該レンズアレイを前記基板に固定し、次いで、前記所定
のピッチと同じピッチで光素子が配設された光素子アレ
イの前記光素子を前記レンズに位置合せして固定するこ
と、或いは、（２）複数の光素子が所定のピッチで配設
されている光素子アレイを保持している光素子基板と、
複数のレンズが前記所定のピッチと同一のピッチで配設
されているレンズアレイ及び一方の端面が前記レンズの
各々に対向して配設された複数本の光ファイバから成る
光ファイバアレイを保持する光ファイバ保持部材を固定
した光ファイバアレイ基板部材であって、前記光ファイ
バ保持部材上には前記光ファイバを固定するための光フ
ァイバ固定溝とレンズ位置決め溝とが連続して一本の溝
として前記所定のピッチで複数溝形成され、前記レンズ
には前記レンズ位置決め溝と係合する凸部が形成されて
おり、該凸部と前記レンズ位置決め溝とを一部接触させ
ることにより前記レンズアレイが前記光ファイバ保持部
材に位置決めされて固定されている光ファイバアレイを
固定した前記光ファイバアレイ基板部材とから成り、該
光ファイバアレイ基板部材と前記光素子基板部材とが位
置合わせされ、前記光ファイバアレイ基板部材と光素子
基板部材とが接着もしくは溶接によりその一部が固定さ
れていることを特徴とするものである。
【０００５】
【作用】複数条のＶ溝を所定ピッチで有し、各Ｖ溝が一
方の端部では浅溝に形成され、他方の端部では深溝に形
成されている２枚の基板を用い、該２枚の基板の浅溝部
（又は深溝部）を対向させ、対向した浅溝部で光ファイ
バを狭い持して該光ファイバと前記２枚の基板とを一体
構成とし、次いで、前記Ｖ溝が対向することによって形
成される前記所定ピッチの深溝側開口端エッジ部に前記
所定ピッチと同じピッチでレンズが形成されてレンズア
レイのレンズを接触させて位置決めをし、該レンズアレ
イを前記基板に固定し、次いで、前記所定のピッチと同
じピッチで光素子が配設された光素子アレイの前記光素
子を前記レンズに位置合せして固定するようにし、もっ
て、小形化に有効で、生産性の良い光送受信モジュール
の製造方法を提供する。
方の端部では浅溝に形成され、他方の端部では深溝に形
成されている２枚の基板を用い、該２枚の基板の浅溝部
（又は深溝部）を対向させ、対向した浅溝部で光ファイ
バを狭い持して該光ファイバと前記２枚の基板とを一体
構成とし、次いで、前記Ｖ溝が対向することによって形
成される前記所定ピッチの深溝側開口端エッジ部に前記
所定ピッチと同じピッチでレンズが形成されてレンズア
レイのレンズを接触させて位置決めをし、該レンズアレ
イを前記基板に固定し、次いで、前記所定のピッチと同
じピッチで光素子が配設された光素子アレイの前記光素
子を前記レンズに位置合せして固定するようにし、もっ
て、小形化に有効で、生産性の良い光送受信モジュール
の製造方法を提供する。
【０００６】
【０００７】
【０００８】
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【実施例】図１は、光ファイバアレイとレンズアレイの
結合方法の一例を説明するための図で、１０はレンズア
レイ、２０は光ファイバアレイで、レンズアレイ１０に
は、一方の面又は両方の面（図示例の場合、一方の面）
に複数個（図示例の場合、４個）のレンズ１１が所定の
ピッチで設けられている。また、光ファイバアレイ２０
は、複数本の光ファイバ２１が所定ピッチで配設されて
いる光ファイバケーブル２２と光ファイバ保持部材２３
とから成り、該光ファイバ保持部材２３により光ファイ
バ２１を所定ピッチで挟持固定している。なお、光ファ
イバ保持部材２３は、対向する面に、それぞれ光ファイ
バ保持用のＶ字型の溝２３ａ，２３ｂを有する２つの基
板２３1，２３2とから成り、これら２つの基板２３1，
２３2のＶ溝２３ａ，２３ｂ内に光ファイバ２１を挟
持、固定するようにしている。なお、図１において、図
１（ａ）は、前記レンズアレイ２０の斜視図、図１
（ｂ）は、前記光ファイバアレイの斜視図、図１（ｃ）
は、光ファイバアレイの入射光端の正面図、図１（ｄ）
は図１（ｃ）のＤ−Ｄ線断面図である（ただし、図１
（ｃ），（ｄ）において、レンズアレイ１０及び光ファ
イバ２１，光ファイバケーブルは破線にて示してあ
る）。
結合方法の一例を説明するための図で、１０はレンズア
レイ、２０は光ファイバアレイで、レンズアレイ１０に
は、一方の面又は両方の面（図示例の場合、一方の面）
に複数個（図示例の場合、４個）のレンズ１１が所定の
ピッチで設けられている。また、光ファイバアレイ２０
は、複数本の光ファイバ２１が所定ピッチで配設されて
いる光ファイバケーブル２２と光ファイバ保持部材２３
とから成り、該光ファイバ保持部材２３により光ファイ
バ２１を所定ピッチで挟持固定している。なお、光ファ
イバ保持部材２３は、対向する面に、それぞれ光ファイ
バ保持用のＶ字型の溝２３ａ，２３ｂを有する２つの基
板２３1，２３2とから成り、これら２つの基板２３1，
２３2のＶ溝２３ａ，２３ｂ内に光ファイバ２１を挟
持、固定するようにしている。なお、図１において、図
１（ａ）は、前記レンズアレイ２０の斜視図、図１
（ｂ）は、前記光ファイバアレイの斜視図、図１（ｃ）
は、光ファイバアレイの入射光端の正面図、図１（ｄ）
は図１（ｃ）のＤ−Ｄ線断面図である（ただし、図１
（ｃ），（ｄ）において、レンズアレイ１０及び光ファ
イバ２１，光ファイバケーブルは破線にて示してあ
る）。
【００１２】図１（ｄ）に示すように、前記Ｖ溝２３
ａ，２３ｂは、光ファイバ２１を保持する浅溝のＶ字部
２３ａ1，２３ｂ1と、レンズ１１が係合される深溝のＶ
字部２３ａ2，２３ｂ2とから成り、これら基板２３1，
２３2の浅溝のＶ溝２３ａ1と２３ｂ1とにより光ファイ
バ２１を挟持し、深溝のＶ溝２３ａ2，２３ｂ2とによっ
て形成される開口にレンズ１１を係合させるようにして
いる。而して、光ファイバのピッチ、Ｖ溝のピッチ、及
びレンズのピッチは等しく形成されており、前述のよう
にして、光ファイバ２１を光ファイバ保持部材２３1，
２３2にて挟持、固定して光ファイバアレイ２０を一体
構成し、この光ファイバアレイの開口部にレンズアレイ
１０のレンズを係合させると、該開口にレンズが係合さ
れ、該レンズアレイ１０は光ファイバアレイ２０に整合
よく結合される。
ａ，２３ｂは、光ファイバ２１を保持する浅溝のＶ字部
２３ａ1，２３ｂ1と、レンズ１１が係合される深溝のＶ
字部２３ａ2，２３ｂ2とから成り、これら基板２３1，
２３2の浅溝のＶ溝２３ａ1と２３ｂ1とにより光ファイ
バ２１を挟持し、深溝のＶ溝２３ａ2，２３ｂ2とによっ
て形成される開口にレンズ１１を係合させるようにして
いる。而して、光ファイバのピッチ、Ｖ溝のピッチ、及
びレンズのピッチは等しく形成されており、前述のよう
にして、光ファイバ２１を光ファイバ保持部材２３1，
２３2にて挟持、固定して光ファイバアレイ２０を一体
構成し、この光ファイバアレイの開口部にレンズアレイ
１０のレンズを係合させると、該開口にレンズが係合さ
れ、該レンズアレイ１０は光ファイバアレイ２０に整合
よく結合される。
【００１３】図２は、前記ファイバ保持部材２３の製作
方法の一例を説明するための図で、該ファイバ保持部材
の製作には、まず、結晶基板に〔１００〕面を有するｎ
型のＳｉ結晶基板を用い、ファイバ固定溝２３ａ1とレ
ンズの位置決め用溝２３ａ2をエッチングにより形成す
る。そのため、水蒸気酸化等を用いて結晶表面に酸化膜
を形成後、フォトリソグラフィの手法とエッチングによ
り酸化膜に異方性エッチング用の所定の形状を有するマ
スク開口部２３ａ1′，２３ａ2′を形成して（図２
（ａ））、ＫＯＨやＥＰＷ（エチレンジアミンピテカテ
ロール水溶液）などのエッチング液を用いて異方性エッ
チングを行い、ファイバ固定用溝２３ａ1及び位置決め
用溝２３ａ2を作製する（図２（ｂ））。その後、ダイ
シングソー等によりカッテングして（図２（ｃ）），フ
ァイバ保持部材２３1，２３2を作成する。
方法の一例を説明するための図で、該ファイバ保持部材
の製作には、まず、結晶基板に〔１００〕面を有するｎ
型のＳｉ結晶基板を用い、ファイバ固定溝２３ａ1とレ
ンズの位置決め用溝２３ａ2をエッチングにより形成す
る。そのため、水蒸気酸化等を用いて結晶表面に酸化膜
を形成後、フォトリソグラフィの手法とエッチングによ
り酸化膜に異方性エッチング用の所定の形状を有するマ
スク開口部２３ａ1′，２３ａ2′を形成して（図２
（ａ））、ＫＯＨやＥＰＷ（エチレンジアミンピテカテ
ロール水溶液）などのエッチング液を用いて異方性エッ
チングを行い、ファイバ固定用溝２３ａ1及び位置決め
用溝２３ａ2を作製する（図２（ｂ））。その後、ダイ
シングソー等によりカッテングして（図２（ｃ）），フ
ァイバ保持部材２３1，２３2を作成する。
【００１４】なお、図２には、Ｓｉ結晶基板を用いて光
ファイバ保持部材を製作する場合の例について説明した
が、Ｓｉ結晶基板に代って樹脂を用いて製作するように
すれば、より安価に光ファイバ保持部材を製作すること
ができる。そのためには、例えば、所定の結晶方位を有
する結晶基板上にフォトリソグラフィ及び異方性エッチ
ングの手法により光ファイバ固定溝及びレンズ位置決め
溝を形成した基板を作成し、この基板をもとに、例え
ば、該基板に金属蒸着を施こした後、電鋳の手法により
金属金型を作用し、この金属金型を型に熱もしくは光に
より硬化する樹脂で複製もしくは成形することにより、
或いは、精密機械加工により光ファイバ固定溝及びレン
ズ位置決め溝を形成した金型を作成し、この金型を型に
熱もしくは光により硬化する樹脂で複製もしくは成形す
ることにより、より安価な樹脂でしかも精度よく光ファ
イバ保持部材を製作することができる。
ファイバ保持部材を製作する場合の例について説明した
が、Ｓｉ結晶基板に代って樹脂を用いて製作するように
すれば、より安価に光ファイバ保持部材を製作すること
ができる。そのためには、例えば、所定の結晶方位を有
する結晶基板上にフォトリソグラフィ及び異方性エッチ
ングの手法により光ファイバ固定溝及びレンズ位置決め
溝を形成した基板を作成し、この基板をもとに、例え
ば、該基板に金属蒸着を施こした後、電鋳の手法により
金属金型を作用し、この金属金型を型に熱もしくは光に
より硬化する樹脂で複製もしくは成形することにより、
或いは、精密機械加工により光ファイバ固定溝及びレン
ズ位置決め溝を形成した金型を作成し、この金型を型に
熱もしくは光により硬化する樹脂で複製もしくは成形す
ることにより、より安価な樹脂でしかも精度よく光ファ
イバ保持部材を製作することができる。
【００１５】図３は、レンズアレイ１０の製作方法の一
例を説明するための図で、レンズアレイ１０は、図３に
示すように、通常の光学ガラス１０上にレジスト１３を
塗布後、フォトリソグラフィの手法により円形のメサ形
状にパターニングを行う（図３（ａ））。その後、百数
十度に加熱してレジスト１３を溶解して該レジスト１３
をドーム型に成形した後（図３（ｂ）），これをマスク
にドライエッチング（図３（ｃ））の手法によりガラス
基板１０に形状を転写し（図３（ｄ））、ガラス基板１
０にガラス基板１０と同質のレンズ１１を形成する。ま
た、上記レンズ作製方法において、図３（ｂ）で作製さ
れたレジスト１３を即レンズ１１として用いることも可
能であり、更には上記作製方法で基板表裏面にレンズを
形成したものや上記レンズアレイを張り合わせて表裏面
にレンズを設けたものなどもレンズアレイとして用いる
ことが可能である。
例を説明するための図で、レンズアレイ１０は、図３に
示すように、通常の光学ガラス１０上にレジスト１３を
塗布後、フォトリソグラフィの手法により円形のメサ形
状にパターニングを行う（図３（ａ））。その後、百数
十度に加熱してレジスト１３を溶解して該レジスト１３
をドーム型に成形した後（図３（ｂ）），これをマスク
にドライエッチング（図３（ｃ））の手法によりガラス
基板１０に形状を転写し（図３（ｄ））、ガラス基板１
０にガラス基板１０と同質のレンズ１１を形成する。ま
た、上記レンズ作製方法において、図３（ｂ）で作製さ
れたレジスト１３を即レンズ１１として用いることも可
能であり、更には上記作製方法で基板表裏面にレンズを
形成したものや上記レンズアレイを張り合わせて表裏面
にレンズを設けたものなどもレンズアレイとして用いる
ことが可能である。
【００１６】上述のようにして、光ファイバアレイとレ
ンズアレイを作製した後、図１に示したように、レンズ
アレイ１０の凸部（レンズ１１）の一部と光ファイバ保
持部材２３のレンズ位置決め溝２３ａ2，２３ｂ2のエッ
ジとを接触させることにより、ＸＹＺ方向の位置決めを
し、その後、光硬化型や熱硬化型の接着剤による接着法
等を用いて固定すると、自己整合的にアライメントがな
される。
ンズアレイを作製した後、図１に示したように、レンズ
アレイ１０の凸部（レンズ１１）の一部と光ファイバ保
持部材２３のレンズ位置決め溝２３ａ2，２３ｂ2のエッ
ジとを接触させることにより、ＸＹＺ方向の位置決めを
し、その後、光硬化型や熱硬化型の接着剤による接着法
等を用いて固定すると、自己整合的にアライメントがな
される。
【００１７】図４は、本発明による光送受信モジュール
の構成の実施例を示す図で、図４（ａ），（ｂ）は上述
のごとくしてレンズアレイ１０と光ファイバアレイ２０
とを上述のごとくして組み合せた光ファイバモジュール
と光素子３０とを結合させて光送受信モジュールを構成
したもので、図４（ａ）は、光素子３０に端面発光型の
ＬＥＤやＬＤなどの発光素子を結合させたもの、また、
図４（ｂ）は、面発光型のＬＥＤやＬＤ、ＰＤなどの受
光素子等の光素子３１とを結合させてモジュールを構成
したものであり、電気回路基板３２とワイヤボンディン
グ３３で接続された光素子３０もしくは３１を固定した
基板部材３４もしくは３５と、上述のように製作された
光ファイバアレイモジュールを固定した基板部材３６も
しくは３７とを光軸合わせした後、その一部を接着やレ
ーザ溶液などにより固定することにより、光素子、光フ
ァイバ及びレンズとの位置合わせが容易になり生産性が
改善される。
の構成の実施例を示す図で、図４（ａ），（ｂ）は上述
のごとくしてレンズアレイ１０と光ファイバアレイ２０
とを上述のごとくして組み合せた光ファイバモジュール
と光素子３０とを結合させて光送受信モジュールを構成
したもので、図４（ａ）は、光素子３０に端面発光型の
ＬＥＤやＬＤなどの発光素子を結合させたもの、また、
図４（ｂ）は、面発光型のＬＥＤやＬＤ、ＰＤなどの受
光素子等の光素子３１とを結合させてモジュールを構成
したものであり、電気回路基板３２とワイヤボンディン
グ３３で接続された光素子３０もしくは３１を固定した
基板部材３４もしくは３５と、上述のように製作された
光ファイバアレイモジュールを固定した基板部材３６も
しくは３７とを光軸合わせした後、その一部を接着やレ
ーザ溶液などにより固定することにより、光素子、光フ
ァイバ及びレンズとの位置合わせが容易になり生産性が
改善される。
【００１８】本発明は、上記のものに限らず種々の変形
が可能であり、例えば、図４（ｃ）に示すように、分布
屈折率型のようなフラットなレンズ面を有するレンズ１
１ａには所定の位置に位置きめ用の凸部として円形メサ
形状の膜を通常の薄膜作製法とフォトリソグラフィの手
法により形成しても良く、また、位置ぎめ用溝２３
ａ2，２３ｂ2は、図４（ｄ）に示すように、両端のレン
ズ凸部により位置ぎめがなされるように光ファイバ配列
方向に一体化して作製しても良い。
が可能であり、例えば、図４（ｃ）に示すように、分布
屈折率型のようなフラットなレンズ面を有するレンズ１
１ａには所定の位置に位置きめ用の凸部として円形メサ
形状の膜を通常の薄膜作製法とフォトリソグラフィの手
法により形成しても良く、また、位置ぎめ用溝２３
ａ2，２３ｂ2は、図４（ｄ）に示すように、両端のレン
ズ凸部により位置ぎめがなされるように光ファイバ配列
方向に一体化して作製しても良い。
【００１９】
【発明の効果】複数条のＶ溝を所定ピッチで有し、各Ｖ
溝が一方の端部では浅溝に形成され、他方の端部では深
溝に形成されている２枚の基板を用い、該２枚の基板の
浅溝部（又は深溝部）を対向させ、対向した浅溝部で光
ファイバを狭い持して該光ファイバと前記２枚の基板と
を一体構成とし、次いで、前記Ｖ溝が対向することによ
って形成される前記所定ピッチの深溝側開口端エッジ部
に前記所定ピッチと同じピッチでレンズが形成されてレ
ンズアレイのレンズを接触させて位置決めをし、該レン
ズアレイを前記基板に固定し、次いで、前記所定のピッ
チと同じピッチで光素子が配設された光素子アレイの前
記光素子を前記レンズに位置合せして固定するようにし
たので、小型化に有効でかつ生産性の良いレンズアレイ
と光ファイバアレイの結合方法を提供することが可能で
ある。
溝が一方の端部では浅溝に形成され、他方の端部では深
溝に形成されている２枚の基板を用い、該２枚の基板の
浅溝部（又は深溝部）を対向させ、対向した浅溝部で光
ファイバを狭い持して該光ファイバと前記２枚の基板と
を一体構成とし、次いで、前記Ｖ溝が対向することによ
って形成される前記所定ピッチの深溝側開口端エッジ部
に前記所定ピッチと同じピッチでレンズが形成されてレ
ンズアレイのレンズを接触させて位置決めをし、該レン
ズアレイを前記基板に固定し、次いで、前記所定のピッ
チと同じピッチで光素子が配設された光素子アレイの前
記光素子を前記レンズに位置合せして固定するようにし
たので、小型化に有効でかつ生産性の良いレンズアレイ
と光ファイバアレイの結合方法を提供することが可能で
ある。
【図１】光ファイバアレイとレンズアレイとの結合方法
の一例を説明するための図である。
の一例を説明するための図である。
【図２】光ファイバ保持部材の製作方法の一例を説明す
るための図である。
るための図である。
【図３】レンズアレイの製作方法の一例を説明するため
の図である。
の図である。
【図４】本発明による光送受信モジュールの一構成例を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図５】従来の光ファイバアレイとレンズアレイとの結
合方法の一例を説明するための図である。
合方法の一例を説明するための図である。
１０…レンズアレイ、１１…レンズ、１３…レジスト、
２０…光ファイバアレイ、２１…光ファイバ、２２…光
ファイバケーブル、２３，２３1，２３2…光ファイバ保
持部材、２３ａ，２３ｂ…Ｖ溝、３０，３１…光素子、
３２…電気回路基板、３３…ワイヤボンデング、３４，
３５…光素子用基板、３６，３７…光ファイバアレイ用
基板、４０…光ファイバ、５０…光ファイバ保持部材、
６０…レンズアレイ、７０…スペーサ、８０…顕微鏡。
２０…光ファイバアレイ、２１…光ファイバ、２２…光
ファイバケーブル、２３，２３1，２３2…光ファイバ保
持部材、２３ａ，２３ｂ…Ｖ溝、３０，３１…光素子、
３２…電気回路基板、３３…ワイヤボンデング、３４，
３５…光素子用基板、３６，３７…光ファイバアレイ用
基板、４０…光ファイバ、５０…光ファイバ保持部材、
６０…レンズアレイ、７０…スペーサ、８０…顕微鏡。
Claims (2)
- 【請求項１】 複数条のＶ溝を所定ピッチで有し、各Ｖ
溝が一方の端部では浅溝に形成され、他方の端部では深
溝に形成されている２枚の基板を用い、該２枚の基板の
浅溝部（又は深溝部）を対向させ、対向した浅溝部で光
ファイバを挟持して該光ファイバと前記２枚の基板とを
一体構成とし、次いで、前記Ｖ溝が対向することによっ
て形成される前記所定ピッチの深溝側開口端エッジ部に
前記所定ピッチと同じピッチでレンズが形成されてレン
ズアレイのレンズを接触させて位置決めをし、該レンズ
アレイを前記基板に固定し、次いで、前記所定のピッチ
と同じピッチで光素子が配設された光素子アレイの前記
光素子を前記レンズに位置合せして固定することを特徴
とする光送受信モジュールの製造方法。 - 【請求項２】 複数の光素子が所定のピッチで配設され
ている光素子アレイを保持している光素子基板と、複数
のレンズが前記所定のピッチと同一のピッチで配設され
ているレンズアレイ及び一方の端面が前記レンズの各々
に対向して配設された複数本の光ファイバから成る光フ
ァイバアレイを保持する光ファイバ保持部材を固定した
光ファイバアレイ基板部材であって、前記光ファイバ保
持部材上には前記光ファイバを固定するための光ファイ
バ固定溝とレンズ位置決め溝とが連続して一本の溝とし
て前記所定のピッチで複数溝形成され、前記レンズには
前記レンズ位置決め溝と係合する凸部が形成されてお
り、該凸部と前記レンズ位置決め溝とを一部接触させる
ことにより前記レンズアレイが前記光ファイバ保持部材
に位置決めされて固定されている光ファイバアレイを固
定した前記光ファイバアレイ基板部材とから成り、該光
ファイバアレイ基板部材と前記光素子基板部材とが位置
合わせされ、前記光ファイバアレイ基板部材と光素子基
板部材とが接着もしくは溶接によりその一部が固定され
ていることを特徴とする光送受信モジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20877894A JP3323662B2 (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | 光送受信モジュールの製造方法及び光送受信モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20877894A JP3323662B2 (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | 光送受信モジュールの製造方法及び光送受信モジュール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0875950A JPH0875950A (ja) | 1996-03-22 |
| JP3323662B2 true JP3323662B2 (ja) | 2002-09-09 |
Family
ID=16561947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20877894A Expired - Fee Related JP3323662B2 (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | 光送受信モジュールの製造方法及び光送受信モジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3323662B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| US6621976B2 (en) | 1999-11-05 | 2003-09-16 | Digital Optics Corp. | Integration of array on non-rod shaped optical elements with array of fibers in a structure and associated methods |
| DE10029206A1 (de) * | 2000-06-20 | 2002-01-10 | Schleifring Und Appbau Gmbh | Vorrichtung zur Übertragung optischer Signale |
| JP2002243988A (ja) * | 2001-02-13 | 2002-08-28 | Sony Corp | ライトガイド |
| JP4984354B2 (ja) * | 2001-07-10 | 2012-07-25 | ソニー株式会社 | 光通信接続装置、光通信方法 |
| JP4742729B2 (ja) * | 2005-08-02 | 2011-08-10 | ソニー株式会社 | 光結合器及び光コネクタ |
| JP5294148B2 (ja) * | 2006-09-08 | 2013-09-18 | 日立化成株式会社 | 光デバイス、光システム及び光デバイス製造方法 |
| JP6390265B2 (ja) * | 2014-08-22 | 2018-09-19 | 住友電気工業株式会社 | レンズ付きコネクタ |
| CN108089268A (zh) * | 2018-02-09 | 2018-05-29 | 苏州德睿电力科技有限公司 | 一种带有透镜的光纤阵列-光波导阵列平行耦合适配器 |
| WO2021193906A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | 日東電工株式会社 | 光コネクタ |
| CN112558245A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-03-26 | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 | 一种光耦合结构及其制备方法 |
-
1994
- 1994-09-01 JP JP20877894A patent/JP3323662B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0875950A (ja) | 1996-03-22 |
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