KR100237001B1 - 경사구배를 갖는 광섬유쌍의 제작장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 균일한 길이 및 간격을 갖는 경사구배를 갖는 광섬유쌍을 사용함으로써 종래의 끝면이 연마된 광섬유쌍을 사용하여 모듈을 제작하는 경우에 발생하는 광결합 효율 저하를 막을 수 있는 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치에 관한 것으로, 본 발명의 구성은 본체 평판상의 소정위치에 장착되는 기판홀더; 상기 기판홀더의 상부에 놓여 고정되며 그 상면에 광스위치의 채널과 동일한 간격을 가지는 V홈이 형성된 실리콘 기판; 상기 본체평판상의 일측에 장착되며, 광섬유를 지지,고정하도록 V홈이 형성된 광섬유 홀더; 상기 본체 평판상의 타측에 장착되며, 실리콘 기판의 측면과 광섬유홀더에 지지되어 있는 광섬유의 끝단면이 그 기준면에 평행하게 정렬되도록 조절하는 표면 정렬 조절수단; 상기 표면 정렬 조절수단에 X축방향 이동력을 제공하는 수단; 상기 광섬유가 실리콘 기판의 V홈에 위치되도록 하고, 광섬유 끝면 길이가 정렬되도록 광섬유 홀더에 X,Y,Z축방향의 이동력을 제공하는 수단; 상기 기판 홀더상에 고정된 실리콘 기판을 눌러 광섬유쌍이 고정되도록 하는 프로브; 및 상기 프로브를 X, Y, Z축방향으로 이동시키는 프로브 스테이지를 특징으로 하고 있다. 상기와 같이 구성된 본 발명은 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작 시 광섬유를 한꺼번에 정렬함으로서 공정시간을 단축시킬 뿐 아니라, 광섬유의 끝면을 정확히 맞추어 모듈 제작시의 불량률을 최소화할 수 있으며, 기존의 끝면이 절단된 광섬유에 적용할 경우에는 연마 공정이 필요치 않아 공정시간을 단축시켜 생산성 증대를 가져오게 할 수 있는 효과를 가진다.

Description

경사구배를 갖는 광섬유쌍의 제작장치{Tapered fiber array assembly}

본 발명은 반도체 광스위치 모듈의 제작시 사용되는 경사구배를 갖는 광섬유쌍의 제작장치에 관한 것으로, 특히 끝면이 연마된 광섬유쌍을 이용하여 광 결합할 때 발생하는 광결합의 효율저하를 막기 위해 광섬유 수에 관계없이 광섬유쌍의 끝면 및 간격이 정확히 정렬되도록 제작할 수 있는 경사구배를 갖는 광섬유쌍(tapered fiber array) 제작장치에 관한 것이다.

일반적으로, 광통신 시스템에 사용되는 광모듈 중 광스위치 모듈은 광교환을 위해 중요한 위치를 차지하고 있다. 보통 광스위치는 짝수개의 채널로 구성되어지는데, 모든 채널마다 시스템에서 사용하기에 용이하도록 광섬유가 부착되어진다. 이러한 짝수개의 광섬유를 부착할 때, 종래에는 스위치 소자의 크기가 매우 작아서 광섬유를 낱개로 부착하기가 어렵기 때문에 광섬유쌍(fiber array)을 제작하고, 상기 광섬유쌍과 소자의 채널을 정렬하여 고정시키는 공정을 사용하고 있다.

또한, 종래의 광스위치 소자는 반도체 소자가 아닌 폴리머 혹은 결정체로 제작되고 있는데, 이때 광섬유를 소자의 채널 간격과 같도록 V자형 홈(V-groove)이 파여진 기판 위에 정렬하여 에폭시로 고정시킨 후 끝면을 연마하여 광섬유끝과 광스위치 소자를 접촉시키는 방법으로 광결합에 사용하고 있다. 이 경우 상기 광섬유와 광스위치 소자간에 광신호가 전달되는 도파로의 크기가 유사하여 높은 광결합 효율을 얻을 수 있었다.

여기서, 상기 광스위치 소자(1)라 함은 도1A에 도시한 바와 같이, 입력단의 채널(2) 또는 채널(3)로 입사되는 광신호를 신호전환용 전극(6)에 전류 혹은 전압을 인가하여 반대편 출력단의 첫번째 채널(4) 혹은 두번째 채널(5)중 원하는 곳으로 자유롭게 방출시킬 수 있도록 제작된 것이다. 도1에서는 입력채널과 출력채널이 각각 2개씩인 2x2 광스위치를 나타내고 있지만, 실제로 채널수가 훨씬 많은 소자가 요구되고 있으며, 광스위치 채널간의 간격은 보통 광섬유의 피복 두께인 0.25mm로 제작되고 있다.

미설명부호 7, 8은 신호 입력용 광섬유, 9, 10은 신호 출력용 광섬유, 11, 12는 입력 및 출력단의 광섬유쌍을 각각 나타낸다.

또한, 상기 광섬유는 도1B에 도시한 바와 같이 직경이 약 0.01mm인 광섬유 코어(14)가 그의 굴절율 보다 약간 작은 재질로 직경이 0.125mm가 되도록 클래딩(cladding)(13)으로 감싸여지며, 상기 광섬유를 보호하기 위해서 보통 전체 광섬유의 직경이 0.25mm가 되도록 클래딩(13)위에 플라스틱 피복(15)이 입혀져 있는 구조로 되어 있다.

광신호는 직경 0.01mm의 코어 부분(14)으로만 전달되어지므로 모듈 제작시 소자에서 발생한 신호를 직경 0.01mm의 코어에 가능한 한 많이 집속시키는 것이 최대 과제이다. 유기물을 이용하여 제작한 소자의 경우에는 광도파로 영역이 광섬유 코어와 같도록 제작하는 것이 가능하기 때문에 광섬유 끝면을 단순히 자른 후 광결합을 수행하여도 광결합 효율이 매우 크며, 이때 광섬유 끝면과 광스위치 소자는 접촉을 하게 된다. 이에 사용되는 종래의 4채널 광섬유쌍은 도2에 도시한 바와 같이 서로 대향하는 면에 V홈(16a, 18a)이 형성된 실리콘 아래기판 및 상부덮개(16, 18)을 구비하며, 그들의 각 V홈(16a, 18a)에 광섬유(17)가 돌출되도록 삽입한 후, 기판의 끝면을 연마하여 정렬하고 있다.

상기와 같은 4채널 광섬유쌍의 제작공정을 설명하면 다음과 같다.

실리콘 아래기판(16) 표면에 화학적인 방법으로 에칭되는 소정간격의 V홈(16a)에 광섬유의 끝면이 적당히 돌출되도록 차례로 위치시킨다. 이때에는 광섬유들의 끝면이 가지런히 정렬될 필요는 없다.

그리고, 광섬유가 위치하고 있는 실리콘 기판 위에 에폭시를 첨가하고 역시 V자 홈(18a)이 파여진 실리콘 상부덮개(18)를 눌러 덮은 후, 열을 가해 에폭시를 경화시켜 광섬유와 실리콘 기판을 고정시킨다.

다음에 돌출된 광섬유 끝면을 예리한 칼을 사용하여 절단한 후, 실리콘 끝면을 광섬유와 함께 연마함으로써 광섬유 끝면을 가지런히 정렬하여 제작한다.

상기와 같이 광섬유 끝면 연마 기술을 이용하여 제작한 광섬유쌍을 사용하여 반도체 광스위치 모듈을 제작할 경우, 광섬유쌍의 광섬유 도파로와 반도체 스위치의 도파로가 커다란 차이를 갖기 때문에 끝면이 연마된 광섬유쌍을 결합할 때에는 광결합 효율이 매우 떨어지는 단점이 있다.

즉, 반도체 스위치 소자의 광도파로 영역이 광섬유 코어에 비해 약 10배 정도 작으므로 높은 광결합 효율을 얻을 수 없다. 이러한 단점을 보완하기 위해서 현재는 광섬유 끝이 뾰족하게 가공된 경사구배를 갖는 광섬유(tapered fiber)를 쌍으로 제작하여 광결합 효율을 높이려는 노력이 이루어지고 있다. 이때 광섬유 끝면과 광스위치 소자는 10에서 20미크론의 간격을 유지하게 된다.

그러나, 경사구배를 갖는 광섬유를 사용할 경우, 높은 광결합 효율을 얻을수는 있지만, 스위치 소자와 광섬유 끝과의 간격이 10에서 20미크론의 거리에서 광결합이 최대가 되고 광섬유 끝면과 스위치 소자간의 거리에도 매우 작은 정렬 허용오차를 보유하므로 5∼7 미크론의 오차로도 광신호의 반(-3dB)을 잃어버리게 된다. 따라서, 광섬유쌍을 제작할 때 광섬유간의 간격 뿐 아니라, 각각의 광섬유 길이를 똑같이 맞추어야 만 스위치 소자의 채널간에 균일한 신호를 전달할 수 있다는 어려움이 있다.

한편, 스위치 소자의 채널 수가 증가하여 광섬유의 수가 늘어나는 경우, 광섬유의 길이를 균일하게 맞추는 어려움이 훨씬 증가하게 되는 문제점을 내포하고 있다.

따라서, 본 발명은 상기의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 균일한 길이 및 간격을 갖는 경사구배를 갖는 광섬유쌍을 사용함으로써 종래의 끝면이 연마된 광섬유쌍을 사용하여 모듈을 제작하는 경우에 발생하는 광결합 효율 저하를 막을 수 있는 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치를 제공함에 그 목적이 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 기존의 끝면이 절단된 광섬유에 적용시키는 경우, 끝면을 연마하는 공정 없이도 끝면이 연마된 광섬유쌍과 같은 정밀도를 갖도록 광섬유를 정렬하여 광섬유쌍을 손쉽게 제작할 수 있는 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치를 제공함에 있다.

도1A는 일반적인 광스위치 모듈의 구성을 나타낸 개략도.

도1B는 도1A의 광스위치 모듈 제작에 사용되는 일반 광섬유의 구조도.

도2는 일반적인 광섬유 끝면이 연마된 광섬유쌍의 구성을 나타낸 사시도.

도3A는 본 발명에 의해 제작되어진 경사구배를 갖는 광섬유쌍을 나타낸 사시도.

도3B는 도3A의 광섬유를 위치시키기 위한 실리콘 V홈 기판의 평면 구성도.

도4A는 본 발명에 의한 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치의 일실시예 구성을 나타낸 측면도.

도4B는 본 발명에 의한 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치의 평면도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

31 : 실리콘 기판 32 : V홈

33 : 광섬유쌍 34 : 에폭시

35 : 광섬유쌍 덮개 41 : 본체 평판

42 : 마이크로 스테이지 43 : X축 조절손잡이

44 : 고정볼트 45 : 표면 정렬용 조절판

46 : 기판 홀더 47 : 진공라인

48 : 진공호스 49 : 광섬유 홀더

50 : 보조 광섬유 홀더 49a, 50a : 밑판

49c, 50c: 상부덮개 49b, 50b : 고무

49d : 밑판의 V홈 51 : 3축 스테이지

52a, 52b, 52c : X,Y,Z축 조절손잡이

53 : 프로브 54 : 프로브 스테이지

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 본체 평판상의 소정위치에 장착되는 기판홀더; 상기 기판홀더의 상부에 놓여 고정되며 그 상면에 광스위치의 채널과 동일한 간격을 가지는 V홈이 형성된 실리콘 기판; 상기 기판 홀더의 일측에 위치하도록 본체평판상에 장착되며, 실리콘 기판의 측면이 기준면에 평행하게 정렬되도록 조절하는 표면 정렬 조절수단; 상기 표면정렬 조절수단에 X축방향 이동력을 제공하는 수단; 상기 기판 홀더의 타측에 위치하도록 본체평판상에 장착되며, 광섬유를 지지,고정하는 광섬유 홀더; 및 상기 광섬유가 실리콘 기판의 V홈에 위치되도록 하고, 광섬유 끝면 길이가 정렬되도록 광섬유 홀더에 X,Y,Z축방향의 이동력을 제공하는 수단을 포함하는 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치를 제공한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

도3A는 본 발명에 의해 제작되어진 경사구배를 갖는 광섬유쌍을 나타낸 사시도; 도3B는 도3A의 광섬유를 위치시키기 위한 실리콘 V홈 기판의 평면 구성도; 도4A는 본 발명에 의한 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치의 일실시예 구성을 나타낸 측면도; 도4B는 본 발명에 의한 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치의 평면도이다.

도면에서 31은 실리콘 기판, 32는 V홈, 33은 광섬유쌍, 34는 에폭시, 35는 광섬유쌍 덮개, 41은 본체 평판, 42는 마이크로 스테이지, 43은 X축 조절손잡이, 44는 고정볼트, 45는 표면 정렬용 조절판, 46은 기판 홀더, 47은 진공라인, 48은 진공호스, 49는 광섬유 홀더, 50은 보조 광섬유 홀더, 49a, 50a는 밑판, 49c, 50c는 상부덮개, 49b, 50b는 고무, 49는 밑판의 V홈, 51은 3축 스테이지, 52a, 52b, 52c는 X,Y,Z축 조절손잡이, 53은 프로브, 54는 프로브 스테이지를 각각 나타낸 것이다.

본 발명에 의한 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치는 광섬유간의 간격 및 광섬유 끝면의 길이를 균일하고 정확하게 맞추어 제작할 수 있도록 구현한 것으로, 도3A는 본 발명의 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치를 사용하여 궁극적으로 제작하고자 하는 4채널 광섬유쌍을 나타내고 있다. 도면에 도시한 바와 같이, 실리콘 기판(31)은 그의 상면에 광스위치 소자의 채널과 동일한 간격(ℓ₂)을 가지는 다수의 V홈(32)이 화학적 에칭에 의해 형성되고, 상기 V홈(32)에는 광섬유 끝면의 길이(ℓ₁)가 일정하게 정렬된 광섬유쌍(33)이 장착되며, 실리콘 기판(31)의 상부에는 에폭시(34)를 매개로 접착하는 광섬유쌍 덮개(35)가 장착된다.

상기와 같은 광섬유쌍을 제작하기 위하여 본 실시예에서는 도4A 및 도4B에 도시한 바와 같이, 소정크기를 가지는 본체 평판(41)위의 중앙부에 기판 홀더(46)가 장착되며, 상기 기판 홀더(46)에는 그의 상측으로 연결되는 진공라인(47)과, 진공호스(48)를 구비한다. 또한, 상기 기판 홀더(46)의 상부에는 실리콘 기판(31)이 놓여져 진공호스(48)에서 흡입하는 진공에 의해 밀착,고정된다.

상기 본체 평판(41)위의 좌측에는 X방향으로 좌우 구동하는 마이크로 스테이지(42)와, 상기 마이크로 스테이지(42)의 일측면에 장착되어 좌,우이동을 조절하는 조절손잡이(43)가 구비된다.

상기 마이크로 스테이지(42)의 상면에는 그와 함께 이동되도록 고정볼트(44)를 매개로 고정된 표면 정렬용 조절판(45)이 장착되며, 상기 표면 정렬용 조절판(45)의 일면에 실리콘 기판(31)의 일측면이 정렬되도록 접촉한다.

이때, 상기 표면 정렬용 조절판(45)의 접촉면은 거울면과 같이 매끄럽게 연마가공되어 실리콘 기판(31)의 V홈에 장착되는 광섬유 끝표면과의 접촉에 따른 손상을 방지하도록 한다.

상기 본체 평판(41)의 우측에는 X,Y,Z축으로 이동가능한 3축스테이지(51)가 장착되며, 상기 X,Y,Z축 스테이지(51)는 그의 일측에 장착된 X,Y,Z축 조절손잡이(52a,52b,52c)에 의해 3축이동이 가능하게 된다. 그리고, 상기 3축 스테이지(51)의 상면에는 광섬유(33)를 위치시킨 후, 그의 끝면 길이를 맞추고 광섬유를 원하는 실리콘 V홈에 위치시키는 광섬유 홀더(49) 및 보조 광섬유 홀더(50)가 장착된다.

상기 광섬유 홀더(49)의 상부덮개(49c) 및 밑판(49a)에는 V홈(49d)이 형성되어 있으며, 상기 상부덮개(49c) 및 밑판(49a)의 V홈(49d)에는 광섬유가 끼워져 신뢰성있게 지지되도록 한다.

이때, 상기 광섬유 홀더(49) 및 보조광섬유 홀더(50) 각각의 상부덮개(49c, 50c) 밑에는 고무(49b, 50b)가 장착되어 이들이 광섬유(33)와 마찰력을 발생시켜 고정력을 제고시키면서, 상기 밑판(49a, 50a)상에 놓여진 여러가닥의 광섬유에 고른 가압력을 제공한다.

상기 실리콘 기판(31)의 상부에는 그의 V홈에 장착되는 광섬유(33)를 자외선 경화 에폭시를 사용하여 고정시키기 위한 투명한 커버글라스로 이루어진 광섬유쌍 덮개(35)가 장착된다.

또한, 상기 기판홀더(46)의 상부에는 X,Y,Z축 방향으로 이동이 가능한 프로브 스테이지(54)가 장착되며, 상기 프로브 스테이지(54)의 일측에는 광섬유 정렬 후 에폭시를 바르고 광섬유쌍 덮개(35)표면을 눌러 실리콘 기판(31)에 고정하기 위한 프로브(53)가 장착된다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 장치를 이용하여 광섬유 끝면이 균일한 광섬유쌍을 제작하기 위한 상태를 설명하면 다음과 같다.

상기 기판홀더(46)상에서 실리콘 기판(31)이 좌측으로 약간 돌출되도록 놓여진 후, 진공호스(48) 및 진공라인(47)을 매개로 실리콘 기판(31)을 흡착하여 고정한다.

그리고, 상기 X축 조절손잡이(43)를 돌려서 마이크로 스테이지(42)와 표면 정렬용 조절판(45)을 전진시켜 그의 우측면에 위치한 실리콘 기판(31)의 측면을 접촉시키고, 계속해서 민다. 이에따라 진공에 의해 고정되어 있는 상기 실리콘기판(31)이 조금씩 밀려 표면 정렬용 조절판(45)의 우측면과 실리콘 기판(31)의 좌측면이 밀착되어 평행하게 정렬된다.

이때, 다시 마이크로 스테이지(42)의 X축 조절 손잡이(43)를 반대로 움직여 표면 정렬용 조절판(45)을 실리콘 기판(31)으로부터 적당한 간격으로 이격시킨다. 이와 같이 하여 상기 표면 정렬용 조절판(45)의 우측면과 실리콘 기판(31)의 좌측면은 완전한 평행을 이루게 된다.

스위치의 채널 간격과 같은 V홈(49d)을 갖도록 가공된 광섬유 홀더(49)의 밑판(49a)에 상기 광섬유(33)를 차례로 올려 놓은 후, 광섬유 홀더의 덮개(49c)를 덮으며, 상기 덮개(49c)의 무게 자체만으로 광섬유(31)가 적당히 고정되도록 한다. 초기에 우측에 위치한 3축 마이크로 스테이지(51)를 이동시켜 광섬유 홀더(49)의 밑판(49a) 높이를 실리콘 기판(31)보다 높게함으로써 광섬유(33)를 올려 놓을 때, 광섬유(33)가 실리콘 기판(31)에 닿지 않도록 주의한다. 상기 광섬유 홀더(49)의 밑판(49a)에는 기계적인 가공으로 V홈(49d)이 형성되어 있어서 1미크론 이내의 정렬도를 만족시킬 수는 없으나, 추후 1미크론 이내의 정확도를 갖는 실리콘 기판(31)에 광섬유를 위치시키는데 도움이 되며, 광섬유의 끝면도 정확히 맞지 않은 상태이다. 또한, 적당한 무게를 갖고 있는 광섬유 홀더(49)의 상부덮개(49c) 밑에는 고무판(49b)이 부착되어 있으므로 고무의 신축성을 이용하여 여러 가닥의 광섬유를 골고루 눌러 고정할 수 있도록 한다.

상기 광섬유 홀더(49)를 지지하는 3축 마이크로 스테이지(51)를 좌로 움직여 광섬유 끝면이 표면 정렬용 조절판(45)의 우측면에 닿도록 한 후, 계속해서 밀면 광섬유 홀더(49)의 덮개(49c) 무게로 고정된 광섬유들이 조금씩 밀려나면서 광섬유 끝면이 모두 표면 정렬용 조절판(45)의 표면에 정렬되므로 먼저 정렬된 실리콘 기판(31)과 나중에 정렬된 광섬유쌍의 끝면은 정확하게 평행한 특성을 지니게 된다.

여기서, 상기 표면 정렬용 조절판(45)의 접촉면은 거울면으로 연마 가공되어 있으므로 광섬유가 닿아도 광섬유표면이 손상되지 않는다. 최종적으로 상기 보조 광섬유 홀더 덮개(50c)를 덮어 광섬유쌍을 더욱더 견고히 고정시킨다.

상기 광섬유 홀더(49)를 장착한 3축 마이크로 스테이지(52a)를 좌우(x) 방향으로 움직여서 광섬유(33) 끝면과 실리콘 기판(31)의 끝면과의 거리(l1)를 원하는 만큼 띄운 상태에서 다시 마이크로 스테이지(52b, 52c)를 전후(y), 상하(z)로 움직여서 광섬유쌍(33)을 실리콘 기판(31)상에 형성되어 있는 V홈(32)에 위치시킨다. 이때에는 아직 광섬유쌍이 실리콘 기판(31)의 V홈에 정확히 밀착된 상태는 아니다.

자외선 경화 에폭시(UV curable epoxy)(34)를 실리콘 기판(31)위의 광섬유쌍에 첨가한 후 투명한 커버글라스로 이루어진 광섬유쌍 덮개(35)를 광섬유쌍 위에 올려 놓은 후, 프로브 스테이지(54)를 x, y, z축 방향으로 움직여 프로브(53)를 사용해 광섬유쌍 덮개(35)를 꼭 누름으로써 실리콘 기판(31)의 V홈의 정확한 위치로 광섬유쌍이 움직여 들어가 실리콘 기판(31)의 V홈 정밀도로 광섬유쌍이 정렬하게 된다.

이와같이 하여 광섬유쌍이 실리콘 기판의 V홈에 정확히 정렬되면, 자외선 경화 에폭시(34)를 자외선 램프(도면에 도시하지 않음)를 사용하여 경화시킴으로서 광섬유쌍을 제작하는 것이다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

전술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 경사구배를 갖는 광섬유 수에 관계 없이 광섬유 끝면 및 간격이 정확히 정렬되도록 광섬유쌍을 제작할 수 있어 기존의 끝면이 연마된 광섬유쌍을 사용하여 모듈을 제작하는 경우에 발생하는 광결합효율 저하를 방지할 수 있으며, 또한 본 발명을 기존의 끝면이 절단된 광섬유에 적용시키는 경우, 끝면을 연마하는 공정 없이도 끝면이 연마된 광섬유쌍과 같은 정밀도를 갖도록 광섬유를 정렬하여 손쉽게 광섬유쌍을 제작할 수 있다.

따라서, 본 발명은 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작 시 광섬유를 한꺼번에 정렬함으로서 공정시간을 단축시킬 뿐 아니라, 광섬유의 끝면을 정확히 맞추어 모듈 제작시의 불량률을 최소화할 수 있으며, 기존의 끝면이 절단된 광섬유에 적용할 경우에는 연마 공정이 필요치 않아 공정시간을 단축시켜 생산성 증대를 가져오게 할 수 있는 효과를 가진다.

Claims (6)

1. 본체 평판상의 소정위치에 장착되는 기판홀더;

   상기 기판홀더의 상부에 놓여 고정되며 그 상면에 광스위치의 채널과 동일한 간격을 가지는 V홈이 형성된 실리콘 기판;

   상기 본체평판상의 일측에 장착되며, 광섬유를 지지,고정하도록 V홈이 형성된 광섬유 홀더;

   상기 본체 평판상의 타측에 장착되며, 실리콘 기판의 측면과 광섬유홀더에 지지되어 있는 광섬유의 끝단면이 그 기준면에 평행하게 정렬되도록 조절하는 표면 정렬 조절수단;

   상기 표면 정렬 조절수단에 X축방향 이동력을 제공하는 수단;

   상기 광섬유가 실리콘 기판의 V홈에 위치되도록 하고, 광섬유 끝면 길이가 정렬되도록 광섬유 홀더에 X,Y,Z축방향의 이동력을 제공하는 수단;

   상기 기판 홀더상에 고정된 실리콘 기판을 눌러 광섬유쌍이 고정되도록 하는 프로브; 및

   상기 프로브를 X, Y, Z축방향으로 이동시키는 프로브 스테이지

   를 포함하는 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 실리콘 기판의 측면과 접촉하는 표면 정렬 조절수단의 기준면은 거울면으로 연마되는 것을 특징으로 하는 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 광섬유 홀더는

   광섬유가 끼워지도록 서로 대향되도록 V홈이 각각 형성되어 있는 밑판 및 상부덮개

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치.
4. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,

   광섬유와의 마찰을 증가시켜 고정할 수 있도록 하기 위하여 상기 광섬유 홀더의 상부덮개 저면에 덧붙여진 고무을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치.
5. 제 3 항에 있어서,

   상기 밑판의 V홈 간격은 광스위치 간격과 일치되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치.
6. 제 1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 광섬유 홀더의 일측에 장착되며 그에 지지,고정되는 광섬유를 좀더 견고히 고정하기 위하여, 밑판과 상부덮개 및 상기 상부덮개의 저면에 덧붙여진 고무로 이루어진 광섬유 보조홀더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 경사구배를 갖는 광섬유쌍 제작장치.