JPS6334995A - レ−ザ集光装置 - Google Patents
レ−ザ集光装置Info
- Publication number
- JPS6334995A JPS6334995A JP17966686A JP17966686A JPS6334995A JP S6334995 A JPS6334995 A JP S6334995A JP 17966686 A JP17966686 A JP 17966686A JP 17966686 A JP17966686 A JP 17966686A JP S6334995 A JPS6334995 A JP S6334995A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pedestal
- collimator lens
- housing
- collimating lens
- piezoelectric elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 16
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 4
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 abstract 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体レーザ光をコリメートレンズにより平
行ビームとするレーザ集光装置に関する。
行ビームとするレーザ集光装置に関する。
半導体レーザの発光点は極めて小さいので、コリメート
レンズを前方におき、コリメートレンズの焦点を発光点
と一致させて、レーザ光を平行ビームに集束して利用す
ることが多い。このために用いられるレーザ集光装置に
おいては、コリメートレンズの位置の固定を、μmオー
ダの精度で行なうことが必要である。従来のレンズ位置
固定は、特別の工夫もなく機械的に固定するだけであっ
た。
レンズを前方におき、コリメートレンズの焦点を発光点
と一致させて、レーザ光を平行ビームに集束して利用す
ることが多い。このために用いられるレーザ集光装置に
おいては、コリメートレンズの位置の固定を、μmオー
ダの精度で行なうことが必要である。従来のレンズ位置
固定は、特別の工夫もなく機械的に固定するだけであっ
た。
従来の機械的固定では、半導体レーザとコリメートレン
ズとの位!、を変えていって最適の位置を定めて固定す
るので、両者のどちらかの位置をμmの精度で可変でき
る構造にする必要があった。しかし、これ程の精度が機
械的手段では出ないのが現状である。
ズとの位!、を変えていって最適の位置を定めて固定す
るので、両者のどちらかの位置をμmの精度で可変でき
る構造にする必要があった。しかし、これ程の精度が機
械的手段では出ないのが現状である。
また固定手段として、接着剤・ネジ止で固定した場合、
固定位置が使用中温度・湿度の変化や機械振動により変
化したものは修正出来ない。
固定位置が使用中温度・湿度の変化や機械振動により変
化したものは修正出来ない。
更に、固定位置を可変出来るようにマイクロメーターヘ
ッドを使用すると経済的にも高価になる。
ッドを使用すると経済的にも高価になる。
本発明の目的は、上記事情に鑑み、機械的手段でなく、
電気的手段により、コリメートレンズの位置を可変する
ことのできるレーザ集光装置を提供することにある。
電気的手段により、コリメートレンズの位置を可変する
ことのできるレーザ集光装置を提供することにある。
本発明のレーザ集光装置は筒形のハウジング端部に、該
ハウジング中央軸に発光点を合わせた半導体レーザと、
該半導体レーザ前方のハウジング内壁より突出して設け
た台座上に、載置したコリメートレンズとを設け、前記
台座とコリメートレンズとの間に複数個のチップ状の圧
電素子を介在し、伸縮方向がハウジング軸方向になるよ
うにして、両者とそれぞれ接着させ三者を一体としたも
のである。
ハウジング中央軸に発光点を合わせた半導体レーザと、
該半導体レーザ前方のハウジング内壁より突出して設け
た台座上に、載置したコリメートレンズとを設け、前記
台座とコリメートレンズとの間に複数個のチップ状の圧
電素子を介在し、伸縮方向がハウジング軸方向になるよ
うにして、両者とそれぞれ接着させ三者を一体としたも
のである。
圧電素子は、外部から電気的手段により、その伸縮を制
御することができる。複数個のチップ状の圧1!紫子は
、例えば3個を互いに120゜の間隔になるように配置
し、コリメートレンズの位置を微細に調整する。コリメ
ートレンズは、台座と一体となっているから、半導体レ
ーザの発光点に対して固定されている台座を基準にその
位置を変えることにより発光点と焦点を合わすことがで
きる。
御することができる。複数個のチップ状の圧1!紫子は
、例えば3個を互いに120゜の間隔になるように配置
し、コリメートレンズの位置を微細に調整する。コリメ
ートレンズは、台座と一体となっているから、半導体レ
ーザの発光点に対して固定されている台座を基準にその
位置を変えることにより発光点と焦点を合わすことがで
きる。
以下、図面を参照して、本発明の一実施例につき説明す
る。第1図ta+は、本装置の断面図(集束光の方向)
を示すもので、ハウジング1としては円筒型のものを使
用し、その端部に半導体レーザ2?固定配置している。
る。第1図ta+は、本装置の断面図(集束光の方向)
を示すもので、ハウジング1としては円筒型のものを使
用し、その端部に半導体レーザ2?固定配置している。
半導体レーザ2の前面には、ハウジングlの内壁より突
出して台座3を設け、この台座3にコリメートレンズ4
を配置する。コリメートレンズ4と台座3との間に第1
図(b)に示すように3個の圧電索子5を配置する。圧
電索子5はチップ状で、その両面5a、5bに電極を有
し、この間に電圧を加えると伸縮する。前記両面5a、
5bを台座3、コリメートレンズ4にそnぞれ接着剤6
で接着することで台座3.圧電索子5.コリメートレン
ズ4は一体となり、圧電素子5に電圧を印加することで
、コリメートレンズ4はその位置を微細調整できる。
出して台座3を設け、この台座3にコリメートレンズ4
を配置する。コリメートレンズ4と台座3との間に第1
図(b)に示すように3個の圧電索子5を配置する。圧
電索子5はチップ状で、その両面5a、5bに電極を有
し、この間に電圧を加えると伸縮する。前記両面5a、
5bを台座3、コリメートレンズ4にそnぞれ接着剤6
で接着することで台座3.圧電索子5.コリメートレン
ズ4は一体となり、圧電素子5に電圧を印加することで
、コリメートレンズ4はその位置を微細調整できる。
なお、ハウジング1はコリメートレンズ4の前方に、そ
の内壁vr−噛合って移動可能な可動体7を設け、その
先端のバッファ材8が、コリメートレンズ4の面に接す
るようにしている。可動体7の位置を調整してコリメー
トレンズ4が適当に抑圧をうけるようにして、圧電素子
5の伸縮によるコリメートレンズ4の変位運動に適切な
ダンピング効果を与えるよりにしである。
の内壁vr−噛合って移動可能な可動体7を設け、その
先端のバッファ材8が、コリメートレンズ4の面に接す
るようにしている。可動体7の位置を調整してコリメー
トレンズ4が適当に抑圧をうけるようにして、圧電素子
5の伸縮によるコリメートレンズ4の変位運動に適切な
ダンピング効果を与えるよりにしである。
第1図(blは可動体7の上面から見た図で、圧電素子
5の配置を示すための図である。120゜の角面で配置
し℃あるので、その軸方向の変位によって、コリメート
レンズ4は前後できるばかりでなく、傾きを調整できる
。これによって半導体レーザ2の発光点にコリメートレ
ンズ4の焦点を合わせて、完全な平行光線9を得ること
ができる。また、使用中に調整がずれても、半導レーザ
2の外部端子の配線は10で、そのピンに直接に行なう
が、圧電索子5への配線はハウジング1に設けた接続端
子部11から4本の導線で行なう。1本を共通として、
他の3本を各圧電索子5の一方の電極に接続して、それ
ぞれに印加電圧を異って加えるようにしである。
5の配置を示すための図である。120゜の角面で配置
し℃あるので、その軸方向の変位によって、コリメート
レンズ4は前後できるばかりでなく、傾きを調整できる
。これによって半導体レーザ2の発光点にコリメートレ
ンズ4の焦点を合わせて、完全な平行光線9を得ること
ができる。また、使用中に調整がずれても、半導レーザ
2の外部端子の配線は10で、そのピンに直接に行なう
が、圧電索子5への配線はハウジング1に設けた接続端
子部11から4本の導線で行なう。1本を共通として、
他の3本を各圧電索子5の一方の電極に接続して、それ
ぞれに印加電圧を異って加えるようにしである。
ただし場合によっては、すべての圧電素子5に共通の電
圧が印加するようにしてもよい。
圧が印加するようにしてもよい。
以上、説明したように、コリメートレンズとハウジング
の台座との間に複数個の圧電素子を配置し、圧電素子の
印加電圧を調整して、コリメートレンズの軸位置、傾き
を変化し、固定的な半導体レーザの発光点に正しく焦点
を合わせて、完全な平行ビームとしてレーザ光を放射す
ることができる。従来、機械的手段によって得らnなか
ったμmの精度の調整が可能である。
の台座との間に複数個の圧電素子を配置し、圧電素子の
印加電圧を調整して、コリメートレンズの軸位置、傾き
を変化し、固定的な半導体レーザの発光点に正しく焦点
を合わせて、完全な平行ビームとしてレーザ光を放射す
ることができる。従来、機械的手段によって得らnなか
ったμmの精度の調整が可能である。
特に初期調整に限らず、使用中の変化に対して容易に再
調整ができる点が極めて有利である。
調整ができる点が極めて有利である。
第1図(alは本発明の一実施例のハウジング軸方向の
断面図、第1図(b)は圧電素子の配置を説明するため
の図である。
断面図、第1図(b)は圧電素子の配置を説明するため
の図である。
l・・・ハウジング、 2・・・半導体レーザ、3
・・・台座、 4・・・コリメートレンズ、
5・・・圧電素子、 5a、5b・・・電極、6
・・・接着剤、 7・・・可動体、8・・・バ
ッファ材。
・・・台座、 4・・・コリメートレンズ、
5・・・圧電素子、 5a、5b・・・電極、6
・・・接着剤、 7・・・可動体、8・・・バ
ッファ材。
Claims (1)
- 筒形のハウジング端部に、該ハウジング中央軸に発光点
を合わせた半導体レーザと、該半導体レーザ前方のハウ
ジング内壁より突出して設けた台座上に、載置したコリ
メートレンズとを設け、前記台座とコリメートレンズと
の間に複数個のチップ状の圧電素子を介在し、伸縮方向
がハウジング軸方向になるようにして、両者とそれぞれ
接着させ三者を一体としていることを特徴とするレーザ
集光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17966686A JPS6334995A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | レ−ザ集光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17966686A JPS6334995A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | レ−ザ集光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6334995A true JPS6334995A (ja) | 1988-02-15 |
Family
ID=16069752
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17966686A Pending JPS6334995A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | レ−ザ集光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6334995A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0288912U (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-13 | ||
JPH02288389A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-28 | Komatsu Ltd | 半導体レーザモジュール |
JP2006013443A (ja) * | 2004-05-27 | 2006-01-12 | Sunx Ltd | レーザ光出射装置およびその製造方法並びに光電センサおよびその製造方法 |
-
1986
- 1986-07-29 JP JP17966686A patent/JPS6334995A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0288912U (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-13 | ||
JPH02288389A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-28 | Komatsu Ltd | 半導体レーザモジュール |
JP2006013443A (ja) * | 2004-05-27 | 2006-01-12 | Sunx Ltd | レーザ光出射装置およびその製造方法並びに光電センサおよびその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6710950B2 (en) | Piezoelectric actuator for digital camera optical system | |
US4639630A (en) | Piezoceramic servo-drive for producing translational motion, especially for application to ring laser mirrors | |
JP2645862B2 (ja) | 半導体発光装置およびその応用製品 | |
CN104111514B (zh) | 反射镜装置、光幕、反射镜装置的调节方法及装配方法 | |
US6636368B2 (en) | Tilting device for lens | |
WO2005102909A1 (ja) | アクチュエータ | |
JP2007526518A (ja) | エレクトレットを用いた微小電気機械システムを基礎とするアクチュエータデバイス | |
CN105572861A (zh) | 可变形快速控制一体化反射镜装置 | |
JP4432839B2 (ja) | 形状可変ミラー及びそれを備えた光ピックアップ装置 | |
JP2002014269A (ja) | 光学装置 | |
JP2005049742A (ja) | 可変光減衰器 | |
US4319804A (en) | Adjustable hollow retroflector | |
US7329015B2 (en) | Variable shape mirror and optical pickup device having the same | |
JPS6334995A (ja) | レ−ザ集光装置 | |
JPH07249802A (ja) | 密封式超精密微動装置 | |
JPH0264401A (ja) | 精密3次元形状測定装置 | |
JPS61212861A (ja) | 光源装置 | |
JPH0386434A (ja) | 精密ステージ装置 | |
JP2007109979A (ja) | 半導体光源モジュール | |
US11647287B1 (en) | Autofocus actuator | |
JP3720650B2 (ja) | 光結合装置 | |
JPS63276288A (ja) | 半導体レ−ザ光学装置 | |
US20030116704A1 (en) | Apparatus and method for controlling the spatial beam position of laser beams and an actuator for use with this apparatus and method | |
JPH02130510A (ja) | 光半導体モジュール | |
JP2955703B2 (ja) | 光路長制御用圧電アクチュエータ構造体 |